JP2013179263A5 - パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法、並びに、銅部材接合用ペースト - Google Patents
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この発明は、大電流、高電圧を制御する半導体装置に用いられるパワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法、並びに、銅部材接合用ペーストに関するものである。
この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、セラミックス基板に銅または銅合金からなる銅板が接合されてなり、冷熱サイクル負荷時におけるセラミックス基板の割れの発生を抑制できるパワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法、並びに、銅部材接合用ペーストを提供することを目的とする。
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明のパワーモジュール用基板は、セラミックス基板の表面に銅または銅合金からなる銅板が積層されて接合されたパワーモジュール用基板であって、前記銅板と前記セラミックス基板との間において、前記セラミックス基板の表面に窒化物層が形成されているとともに、Ag−Cu共晶組織層の厚さが14μm以下とされていることを特徴としている。
この構成のパワーモジュール用基板においては、銅または銅合金からなる銅板とセラミックス基板との接合部において、Ag−Cu共晶組織層の厚さが14μm以下とされているので、冷熱サイクル負荷時にセラミックス基板と銅板との熱膨張係数の差に起因するせん断応力が作用した場合であっても、銅板側が適度に変形することになり、セラミックス基板の割れを抑制することができる。
また、前記セラミックス基板の表面に窒化物層が形成されているので、セラミックス基板と銅板とを確実に接合することができる。
また、前記セラミックス基板の表面に窒化物層が形成されているので、セラミックス基板と銅板とを確実に接合することができる。
この構成のパワーモジュール用基板の製造方法によれば、前記加熱工程において、Agを前記銅板側に拡散させることにより前記セラミックス基板と前記銅板との界面に前記溶融金属領域を形成しているので、溶融金属領域の厚さを薄く抑えることができ、Ag−Cu共晶組織層の厚さを14μm以下とすることができる。また、前記加熱工程において、前記セラミックス基板の表面に窒化物層を形成する構成としているので、セラミックス基板と銅板とを強固に接合することができる。
前記Ag及び窒化物形成元素層形成工程では、Ag及び窒化物形成元素を含有する銅部材接合用ペーストを塗布することが好ましい。
この場合、銅部材接合用ペーストを塗布することで、前記セラミックス基板の接合面及び前記銅板の接合面のうち少なくとも一方に、確実にAg及び窒化物形成元素層を形成することが可能となる。
この場合、銅部材接合用ペーストを塗布することで、前記セラミックス基板の接合面及び前記銅板の接合面のうち少なくとも一方に、確実にAg及び窒化物形成元素層を形成することが可能となる。
前記銅部材接合用ペーストは、前記窒化物形成元素の水素化物を含有していてもよい。
この場合、窒化物形成元素の水素化物の水素が還元剤として作用するので、銅板の表面に形成された酸化膜等を除去でき、Agの拡散及び窒化物層の形成を確実に行うことができる。
本発明の銅部材接合用ペーストは、前述のパワーモジュール用基板の製造方法で使用されるAg及び窒化物形成元素層含有ペーストであって、Ag及び窒化物形成元素を含む粉末成分と、樹脂と、溶剤と、を含むことを特徴とする。
この場合、窒化物形成元素の水素化物の水素が還元剤として作用するので、銅板の表面に形成された酸化膜等を除去でき、Agの拡散及び窒化物層の形成を確実に行うことができる。
本発明の銅部材接合用ペーストは、前述のパワーモジュール用基板の製造方法で使用されるAg及び窒化物形成元素層含有ペーストであって、Ag及び窒化物形成元素を含む粉末成分と、樹脂と、溶剤と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、セラミックス基板に銅または銅合金からなる銅板が接合されてなり、冷熱サイクル負荷時におけるセラミックス基板の割れの発生を抑制できるパワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法、並びに、銅部材接合用ペーストを提供することができる。
図2に、セラミックス基板11と回路層12との接合界面の拡大図を示す。セラミックス基板11の表面には、銅部材接合用ペーストに含有された窒化物形成元素の窒化物からなる窒化物層31が形成されている。
そして、この窒化物層31に積層するようにAg−Cu共晶組織層32が形成されている。ここで、Ag−Cu共晶組織層32の厚さは14μm以下とされている。
そして、この窒化物層31に積層するようにAg−Cu共晶組織層32が形成されている。ここで、Ag−Cu共晶組織層32の厚さは14μm以下とされている。
以上のような構成とされた本実施形態であるパワーモジュール用基板10によれば、銅板22からなる回路層12とセラミックス基板11との接合部において、Ag−Cu共晶組織層32の厚さが14μm以下とされているので、冷熱サイクル負荷時にセラミックス基板11と回路層12との熱膨張係数の差に起因するせん断応力が作用した場合であっても、回路層12側が適度に変形することになり、セラミックス基板11の割れを抑制することができる。
また、セラミックス基板11の表面に窒化物層31が形成されているので、セラミックス基板11と回路層12とを確実に接合することができる。
また、セラミックス基板11の表面に窒化物層31が形成されているので、セラミックス基板11と回路層12とを確実に接合することができる。
また、本実施形態においては、セラミックス基板11の接合面にAgと窒化物形成元素とを含有するAg及び窒化物形成元素層24を形成するAg及び窒化物形成元素層形成工程S11と、このAg及び窒化物形成元素層24を介してセラミックス基板11と銅板22と積層する積層工程S12と、積層されたセラミックス基板11と銅板22を積層方向に加圧するとともに加熱し、セラミックス基板11と銅板22との界面に溶融金属領域27を形成する加熱工程S13と、この溶融金属領域27を凝固させることによってセラミックス基板11と銅板22とを接合する凝固工程S14と、を有しており、加熱工程S13において、Agを銅板22側に拡散させることによりセラミックス基板11と銅板22との界面に溶融金属領域27を形成しているので、溶融金属領域27の厚さを薄く抑えることができ、Ag−Cu共晶組織層32の厚さを14μm以下とすることができる。さらに、加熱工程S13において、セラミックス基板11の表面に窒化物層31を形成する構成としているので、セラミックス基板11と銅板22とを強固に接合することができる。
以上のような構成とされた本実施形態であるパワーモジュール用基板110によれば、銅板122からなる回路層112とセラミックス基板111との接合部において、Ag−Cu共晶組織層の厚さが14μm以下とされており、本実施形態では、明確に観察されなくなっているので、冷熱サイクル負荷時にセラミックス基板111と回路層112との熱膨張係数の差に起因するせん断応力が作用した場合であっても、回路層112側が適度に変形することになり、セラミックス基板111の割れを抑制することができる。
また、セラミックス基板111の表面に窒化物層131が形成されているので、セラミックス基板111と回路層112とを確実に接合することができる。
また、セラミックス基板111の表面に窒化物層131が形成されているので、セラミックス基板111と回路層112とを確実に接合することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、窒化物形成元素としてTi、Zrを用いたものとして説明したが、これに限定されることはなく、Hf,Nb等の他の窒化物形成元素であってもよい。
また、銅部材接合用ペーストに含まれる粉末成分が、TiH2、ZrH2等の窒化物形成元素の水素化物を含んでいてもよい。この場合、窒化物形成元素の水素化物の水素が還元剤として作用するので、銅板の表面に形成された酸化膜等を除去でき、Agの拡散及び窒化物層の形成を確実に行うことができる。
また、第二の実施形態において、添加元素としてSnを添加したものとして説明したが、これに限定されることはなく、In、Sn、Al、Mn及びZnから選択される1種又は2種以上の添加元素を用いてもよい。
例えば、窒化物形成元素としてTi、Zrを用いたものとして説明したが、これに限定されることはなく、Hf,Nb等の他の窒化物形成元素であってもよい。
また、銅部材接合用ペーストに含まれる粉末成分が、TiH2、ZrH2等の窒化物形成元素の水素化物を含んでいてもよい。この場合、窒化物形成元素の水素化物の水素が還元剤として作用するので、銅板の表面に形成された酸化膜等を除去でき、Agの拡散及び窒化物層の形成を確実に行うことができる。
また、第二の実施形態において、添加元素としてSnを添加したものとして説明したが、これに限定されることはなく、In、Sn、Al、Mn及びZnから選択される1種又は2種以上の添加元素を用いてもよい。
比較例1、2、51においては、共晶組織厚さが14μmを超えており、少ないサイクル数でセラミックス基板にクラックが発生した。
また、従来例1及び従来例51では、共晶組織厚さが15μmを超えており、比較例と同様に少ないサイクル数でセラミックス基板にクラックが発生した。
一方、共晶組織厚さが14μm以下とされた本発明例1−23、51−70,72、81−90においては、セラミックス基板におけるクラックの発生が抑制されていることが確認される。また、4000サイクル後の接合率も91%以上と高かった。
以上の結果から、本発明例によれば、冷熱サイクル負荷時におけるセラミックス基板の割れの発生を抑制できるパワーモジュール用基板を提供できることが確認された。
また、従来例1及び従来例51では、共晶組織厚さが15μmを超えており、比較例と同様に少ないサイクル数でセラミックス基板にクラックが発生した。
一方、共晶組織厚さが14μm以下とされた本発明例1−23、51−70,72、81−90においては、セラミックス基板におけるクラックの発生が抑制されていることが確認される。また、4000サイクル後の接合率も91%以上と高かった。
以上の結果から、本発明例によれば、冷熱サイクル負荷時におけるセラミックス基板の割れの発生を抑制できるパワーモジュール用基板を提供できることが確認された。
Claims (11)
- セラミックス基板の表面に銅または銅合金からなる銅板が積層されて接合されたパワーモジュール用基板であって、
前記銅板と前記セラミックス基板との間において、前記セラミックス基板の表面に窒化物層が形成されているとともに、Ag−Cu共晶組織層の厚さが14μm以下とされていることを特徴とするパワーモジュール用基板。 - 前記セラミックス基板は、AlN又はSi3N4のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板。
- 前記窒化物層は、Ti、Hf、Zr、Nbから選択される1種又は2種以上の元素の窒化物を含有していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のパワーモジュール用基板。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板と、このパワーモジュール用基板を冷却するヒートシンクと、を備えたことを特徴とするヒートシンク付パワーモジュール用基板。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板と、該パワーモジュール用基板上に搭載される電子部品と、を備えたことを特徴とするパワーモジュール。
- セラミックス基板の表面に銅または銅合金からなる銅板が積層されて接合されたパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記セラミックス基板の接合面及び前記銅板の接合面のうち少なくとも一方に、Agと窒化物形成元素とを含有するAg及び窒化物形成元素層を形成するAg及び窒化物形成元素層形成工程と、
このAg及び窒化物形成元素層を介して前記セラミックス基板と前記銅板と積層する積層工程と、
積層された前記セラミックス基板と前記銅板を積層方向に加圧するとともに加熱し、前記セラミックス基板と前記銅板との界面に溶融金属領域を形成する加熱工程と、
この溶融金属領域を凝固させることによって、前記セラミックス基板と前記銅板とを接合する凝固工程と、を有し、
前記加熱工程において、Agを前記銅板側に拡散させることにより前記セラミックス基板と前記銅板との界面に前記溶融金属領域を形成するとともに、前記セラミックス基板の表面に窒化物層を形成することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 前記窒化物形成元素は、Ti、Hf、Zr、Nbから選択される1種又は2種以上の元素であることを特徴とする請求項6に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記Ag及び窒化物形成元素層形成工程では、Ag及び窒化物形成元素以外に、In、Sn、Al、Mn及びZnから選択される1種又は2種以上の添加元素を配設させることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記Ag及び窒化物形成元素層形成工程では、Ag及び窒化物形成元素を含有する銅部材接合用ペーストを塗布することを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記銅部材接合用ペーストは、前記窒化物形成元素の水素化物を含有していることを特徴とする請求項9に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 請求項9または請求項10に記載のパワーモジュール用基板の製造方法で使用される銅部材接合用ペーストであって、
Ag及び窒化物形成元素を含む粉末成分と、樹脂と、溶剤と、を含むことを特徴とする銅部材接合用ペースト。
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