JP7379813B2 - 接合体及び接合体の製造方法 - Google Patents
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Description
(実施例1)
セラミックス基板20としてAlN(窒化アルミニウム)を用いた。活性金属としてTiを用いた。一の金属としてCuを用いた。他の金属としてSnを用いた。スパッタ装置を用いてセラミックス基板20上に活性金属、一の金属及び他の金属の成膜を行った。
セラミックス基板20としてAlN(窒化アルミニウム)を用いた。アセトン洗浄したセラミックス基板20に、金属ろう、銅板50の順番で重ねた。金属ろう及び銅板50を含むセラミックス基板20を加熱炉に設置し、10-4Pa以下まで真空引きを行った後に、接合温度1000℃、接合時間10分で加熱を行って接合体を得た。
(実施例2)
図4Aに示すように、1辺が10mmで高さが1mmの矩形板状のセラミックス基板20に、銅板50として直径2mmで高さが5mmの円筒状の銅のピン50aを、実施例1で説明した工程で接合して接合体を得た。すなわち、セラミックス基板20上に、実施例1と同様な方法で、Ti,Cu,Snの順番で、膜厚Ti=1μm,Cu=2μm,Sn=2μmで成膜を行った後、銅のピン50aの一端をSn膜上に当接させ、上方から加圧した状態で、ギ酸雰囲気中(大気圧)で、接合温度400℃、接合時間10分で加熱を行って接合体を得た。
上記で得られた接合体のセラミックス基板20とピン50aとの接合強度を、図4Bに示す試験方法で測定した。図4Bにおいて、第1の冶具TL1は、セラミックス基板20を固定する冶具である。第1の冶具TL1は、矩形の板状に形成されている。第1の冶具TL1の一方の面には、この一方の面から反対側の面に向かって窪んで形成された溝GVが形成されている。溝GVは、一方の面からみて正方形に形成され、セラミックス基板20と嵌合可能に形成されている。
10 回路部品
20 セラミックス基板
30 第1の金属層
40 第2の金属層
50 銅板
70 活性金属層
80 一の金属層
90 他の金属層
Claims (4)
- AlN又はAl 2 O 3 からなるセラミックス部材と、
前記セラミックス部材上に形成され、前記セラミックス部材がAlNの場合はTiN、前記セラミックス部材がAl 2 O 3 の場合はTiO 2 からなる活性金属化合物を含む第1の金属層と、
前記第1の金属層上に形成され、CuとSnとによって構成された金属間化合物を含む第2の金属層と、
前記第2の金属層上に形成された、Cuからなる金属部材とを含み、
前記第2の金属層の金属間化合物は、CuとSnとが接した状態で、前記セラミックス部材とTiとの反応開始温度以上で、かつ、Cuの融点よりも低い温度で、SnをCuに拡散させて反応させることによって形成されていることを特徴とする接合体。 - 請求項1に記載された接合体を回路部品として含むことを特徴とするパワーモジュール。
- AlN又はAl 2 O 3 からなるセラミックス部材上に、Tiからなる活性金属層を形成する工程と、
前記活性金属層上に、Cuからなる一の金属層を形成する工程と、
前記一の金属層上にSnからなる他の金属層を形成する工程と、
前記他の金属層上にCuからなる金属部材を載置する工程と、
前記セラミックス部材とTiとの反応開始温度以上で、かつ、Cuの融点よりも低い温度に加熱する工程と、
を含むことを特徴とする接合体の製造方法。 - 前記加熱する工程は、前記セラミックス部材とTiとの反応開始温度以上で、かつ、600℃未満で行う、請求項3に記載の接合体の製造方法。
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