JP6237058B2 - 銅板付きパワーモジュール用基板、及び銅板付きパワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
このようなパワーモジュール基板では、回路層の上に、はんだ材を介してパワー素子の半導体素子が搭載される。
そして、金属層の他方の面側に、パワーモジュール用基板を冷却するためのヒートシンクが接合される。なお、上述のようなパワーモジュール用基板においては、セラミックス基板の他方の面側に金属層を形成せず、直接セラミックス基板の他方の面にヒートシンクが接合されることもある。
この構成のパワーモジュール用基板においては、特許文献1に記載されたパワーモジュール用基板と同様に、回路層が銅板で構成されているので、電気部品等の発熱体からの熱を十分に拡げて放散させることが可能となる。また、金属層がアルミニウム板で構成されているので、ヒートシンクとセラミックス基板との熱膨張係数の差に起因する熱歪みを、金属層において十分に緩和することができ、セラミックス基板の割れを抑制することが可能となる。
また、セラミックス基板の他方の面側に直接ヒートシンクを接合する場合においても、同様に、ヒートシンクとセラミックス基板の接合を良好に行うことができないおそれがあった。
また、上述の銅板付きパワーモジュール用基板においては、セラミックス基板の一方の面にアルミニウム層が配設されているので、熱サイクルが負荷された場合に、銅板付きパワーモジュール用基板に発生する熱歪みをアルミニウム層によって緩和してセラミックス基板に割れが発生することを抑制できる。
さらに、アルミニウム層の一方の面に、比較的変形抵抗の大きい銅板が接合されていることにより、パワーサイクルが負荷された場合に、回路層の変形を抑制することができる。そのため、パワーサイクルに対する高い信頼性も得られる。
また、アルミニウム層とダイパッドとが、固相拡散接合によって接合されているので、ヒートサイクルが負荷された場合に、アルミニウム層と銅板との間に剥離が生じることが抑制され、回路層の熱伝導性及び導電性を維持することができる。
なお、本発明において、アルミニウム層は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる。また、本発明において、銅板は、銅又は銅合金からなる。
この場合、銅板が帯状に形成されており、その長手方向に複数のダイパッドを有していることから、ダイパッド上に半導体素子を搭載し、リード部をガイド枠から切断することによって、連続的に半導体装置を製造することが可能となる。
この場合、銅板付きパワーモジュール用基板の金属層側にヒートシンクを接合する際に、セラミックス基板とヒートシンクとの間に生じる熱応力を、比較的変形抵抗が小さいアルミニウム又はアルミニウム合金からなる金属層によって緩和し、セラミックス基板に割れが発生することを抑制できる。
また、銅板接合工程において、アルミニウム層と銅板のダイパッドとを固相拡散接合により接合する構成とされているので、アルミニウム層と銅板のダイパッドとが固相拡散によって接合された回路層を備えた銅板付きパワーモジュール用基板を得ることができる。
図1に、本発明の実施形態である銅板付きパワーモジュール用基板10、及びこの銅板付きパワーモジュール用基板10を用いたパワーモジュール1を示す。
ここで、はんだ層2は、例えばSn−Ag系、Sn−In系、若しくはSn−Ag−Cu系のはんだ材とされている。なお、本実施形態では、回路層12とはんだ層2との間にNiめっき層(図示なし)が設けられている。
セラミックス基板11は、回路層12と金属層13との間の電気的接続を防止するものである。本実施形態では、絶縁性の高いAlN(窒化アルミ)で構成されている。また、セラミックス基板11の厚さは、0.2〜1.5mmの範囲内に設定されており、本実施形態では、0.635mmに設定されている。
なお、本実施形態においては、銅板12Bとして、図3に示すように、複数のダイパッド32がガイド枠31の延在方向に連結された帯材を用いている。
拡散層12Cは、アルミニウム層12Aのアルミニウム原子と、銅板12Bの銅原子とが相互拡散することによって形成されるものである。この拡散層12Cにおいては、アルミニウム層12Aから銅板12Bに向かうにしたがい、漸次アルミニウム原子の濃度が低くなり、かつ銅原子の濃度が高くなる濃度勾配を有している。
本実施形態において拡散層12Cは、図4に示すように、3種の金属間化合物が積層された構造とされており、アルミニウム層12A側から銅板12B側に向けて順に、θ相16、η2相17が積層され、さらにζ2相18a、δ相18b、及びγ2相18cのうち少なくとも一つの相が積層された構造とされている。
さらに、本実施形態では、銅板12Bのうち固相拡散接合したダイパッド32の部分の平均結晶粒径が50μm以上200μm以下の範囲内とされ、アルミニウム層12Aの平均結晶粒径が500μm以上とされている。
本実施形態においては、金属層13となるアルミニウム板23は、純度が99.99質量%以上のアルミニウム(いわゆる4Nアルミニウム)の圧延板とされている。なお、このアルミニウム板23は、0.2%耐力が30N/mm2以下とされている。
本実施形態においては、ヒートシンク41は、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成されており、具体的にはA6063合金の圧延板とされている。また、ヒートシンク41の厚さは1mm以上10mm以下の範囲内に設定されており、本実施形態では、5mmに設定されている。なお、ヒートシンク41と金属層13とは、例えばはんだ材やAl−Si系のろう材を用いて接合されている。
まず、回路層12を構成するアルミニウム板22A、銅板12B、及び金属層13を構成するアルミニウム板23を準備する(アルミニウム板及び銅板準備工程S01)。
そして、銅板12B側及び金属層13側から荷重を負荷し、真空加熱炉の中に配置する。本実施形態においては、アルミニウム層12A及び銅板12Bに負荷される圧力が、29.4×104Pa(3kgf/cm2)以上343×104Pa(35kgf/cm2)以下とされている。そして、真空加熱の加熱温度を、400℃以上548℃未満とし、5分以上240分以下保持して固相拡散接合を行い、アルミニウム層12Aに銅板12B(ダイパッド32)を接合する(銅板接合工程S05)。
なお、アルミニウム層12Aと銅板12Bとを接合する際の加熱温度の好ましい温度は、アルミニウムと銅との共晶温度より5℃低い温度から、共晶温度未満の温度範囲内とされている。
上述のようにして、本実施形態であるセラミックス基板11の一方の面に回路層12が形成され、他方の面に金属層13が形成された銅板付きパワーモジュール用基板10が製造される。
また、アルミニウム層12Aとダイパッド32とが、固相拡散接合によって接合されているので、ヒートサイクルが負荷された場合に、アルミニウム層12Aとダイパッド(32)との間に剥離が生じることが抑制され、回路層12の熱伝導性及び導電性を維持することができる。
具体的には、拡散層12Cは、アルミニウム層12A側から銅板12B側に向けて順に、θ相16、η2相17が積層され、さらにζ2相18a、δ相18b、及びγ2相18cのうち少なくとも一つの相が積層された構造とされているので、拡散層12C内部における体積変動が小さくなり、内部歪みが抑えられることになる。
さらに、外装樹脂、ヒートシンク等の構造についても、本実施形態に限定されることはなく、他の構造のものであってもよい。
11 セラミックス基板
12 回路層
12A アルミニウム層
12B 銅板
13 金属層
23 アルミニウム板
31 ガイド枠
32 ダイパッド
33 リード部
Claims (4)
- セラミックス基板と、該セラミックス基板の一方の面に形成された回路層と、を備え、
前記回路層は、前記セラミックス基板の一方の面に配設されたアルミニウム層と、このアルミニウム層の一方側に配設された銅板と、を有し、
前記銅板は、半導体素子が接合されるダイパッドと、前記ダイパッドから延出するリード部と、前記リード部を連結するガイド枠と、を有しており、
前記アルミニウム層と、前記銅板の前記ダイパッドとが、固相拡散接合され、前記アルミニウム層と前記ダイパッドとの界面には拡散層が形成されており、
前記拡散層は、複数の金属間化合物が接合界面に沿って積層しており、前記アルミニウム層側から前記ダイパッド側に向けて順に、θ相、η2相が積層され、さらにζ2相、δ相、及びγ2相のうち少なくとも一つの相が積層された構造とされており、
前記ダイパッドの平均結晶粒径が50μm以上200μm以下の範囲内とされ、前記アルミニウム層の平均結晶粒径が500μm以上とされていることを特徴とする銅板付きパワーモジュール用基板。 - 前記銅板は、帯状に形成されており、その長手方向に複数のダイパッドを有しており、前記ダイパッドに前記アルミニウム層が固相拡散接合されていることを特徴とする請求項1に記載の銅板付きパワーモジュール用基板。
- 前記セラミックス基板の他方の面に、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる金属層が配設されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の銅板付きパワーモジュール用基板。
- セラミックス基板と、前記セラミックス基板の一方の面に形成された回路層と、を備えた銅板付きパワーモジュール用基板の製造方法であって、
ダイパッドと、前記ダイパッドから延出するリード部と、前記リード部を連結するガイド枠と、を有する銅板、及びアルミニウム板を準備する準備工程と、
前記セラミックス基板の一方の面に、前記アルミニウム板を接合してアルミニウム層を形成するアルミニウム層形成工程と、
前記アルミニウム層を形成した後に、前記アルミニウム層の一方側に、前記銅板の前記ダイパッドを固相拡散接合により接合する銅板接合工程と、を備えており、
前記銅板接合工程において、前記アルミニウム層の一方側に前記銅板の前記ダイパッドを積層し、前記アルミニウム層と前記ダイパッドに対して、3kgf/cm 2 以上35kgf/cm 2 以下の荷重を負荷した状態で、400℃以上548℃未満で5分以上240分以下保持することにより、前記アルミニウム層と前記ダイパッドとを固相拡散接合し、
前記アルミニウム層と前記ダイパッドとの界面に、前記アルミニウム層側から前記ダイパッド側に向けて順に、θ相、η2相が積層され、さらにζ2相、δ相、及びγ2相のうち少なくとも一つの相が積層された構造の拡散層を形成するとともに、前記ダイパッドの平均結晶粒径を50μm以上200μm以下の範囲内とし、前記アルミニウム層の平均結晶粒径を500μm以上とすることを特徴とする銅板付きパワーモジュール用基板の製造方法。
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