JP2013171841A - 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013171841A JP2013171841A JP2012032677A JP2012032677A JP2013171841A JP 2013171841 A JP2013171841 A JP 2013171841A JP 2012032677 A JP2012032677 A JP 2012032677A JP 2012032677 A JP2012032677 A JP 2012032677A JP 2013171841 A JP2013171841 A JP 2013171841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- component
- layer
- hole
- semiconductor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/568—Temporary substrate used as encapsulation process aid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/20—Structure, shape, material or disposition of high density interconnect preforms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/561—Batch processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68327—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/6834—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to protect an active side of a device or wafer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68381—Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or wafer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/23—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
- H01L2224/24—Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
- H01L2224/241—Disposition
- H01L2224/24151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/24153—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
- H01L2224/24195—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being arranged next to each other, e.g. on a common substrate the item being a discrete passive component
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
- H01L23/3128—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation the substrate having spherical bumps for external connection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/35—Mechanical effects
- H01L2924/351—Thermal stress
- H01L2924/3511—Warping
Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法は、貫通孔11を有する支持体10上に配設された粘着層20の上に半導体素子30を配設する工程、及びその粘着層20上の、支持体10の貫通孔11に対応する箇所を含む領域に、部品100を配設する工程を含む。更に、その粘着層20上に樹脂層40を配設して擬似ウエハ50を形成する工程、及び支持体10の貫通孔11を通して部品100を押圧し、擬似ウエハ50を粘着層20から剥離する工程を含む。部品100を押圧して擬似ウエハ50を粘着層20から剥離することで、剥離面の損傷等を抑え、粘着層20の粘着力を低下させる処理を省略可能にし、半導体装置の製造に要する工数、コストの削減を図る。
【選択図】図1
Description
以上のようにして形成された擬似ウエハ50の、粘着層20から剥離された面、即ち半導体素子30の電極面30aが露出する面に、半導体素子30の電極31に電気的に接続された導電部(ビア、配線等)を含む配線層(再配線層)が形成される。そして、配線層の形成後、半導体素子30の周囲で樹脂層40及び配線層が切断され、半導体素子30を含む半導体装置(半導体パッケージ)に個片化される。
図3は別形態の半導体装置の製造方法を示す図である。尚、図3(A)は粘着層配設工程の一例の要部断面模式図である。図3(B)は半導体素子配設工程の一例の要部断面模式図である。図3(C)は樹脂層配設(擬似ウエハ形成)工程の一例の要部断面模式図である。図3(D)は擬似ウエハ剥離工程の一例の要部断面模式図である。
まず、支持体10及び粘着層20について説明する。
半導体素子30には、LSI(Large Scale Integration)等のベアチップを適用することができる。半導体素子30には、例えば、厚さ0.1mm〜0.5mmのものが用いられる。
図4は部品の構成例を示す図である。尚、図4(A),(B)は支持体及び粘着層上に設けられた部品の一例の要部断面模式図である。
樹脂層40には、半導体素子30の封止に用いられる、様々な非導電性の封止樹脂材料を用いることができる。この樹脂層40には、非導電性のフィラーが含有されてもよい。粘着層20上に設ける際の樹脂層40の厚さは、例えば、粘着層20上に設けた半導体素子30の上面よりも0.1mm以上厚くする。
擬似ウエハ50を粘着層20から剥離した後、その擬似ウエハ50の、粘着層20から剥離された面(半導体素子30の電極面30aが露出する面)に、配線層が形成される。配線層の形成方法としては、次のような方法を用いることができる。
図5は半導体装置の製造方法の別例を示す図である。尚、図5(A)は粘着層配設工程の一例の要部断面模式図である。図5(B)は半導体素子及び部品配設工程の一例の要部断面模式図である。図5(C)は樹脂層配設(擬似ウエハ形成)工程の一例の要部断面模式図である。図5(D)は擬似ウエハ剥離工程の一例の要部断面模式図である。
更に、紫外線照射、薬液処理、加熱処理等によって粘着層20の粘着力を低下させなくても、擬似ウエハ50をその部品100を押圧して粘着層20から剥離することが可能になり、工数、コストの削減を図ることが可能になる。粘着層20の粘着力を低下させる処理を省略することで、粘着層20は再利用することが可能になる。即ち、図5(A)〜(C)のように擬似ウエハ50を形成し、それを図5(D)のように粘着層20から剥離した後、その粘着層20上に、再び図5(B),(C)のようにして新たに別の擬似ウエハ50を形成することもできる。
粘着層20には、例えば、図6(A)に示すように、表面、ここでは半導体素子30及び樹脂層40が設けられて擬似ウエハ50が形成される面に、凹凸部22を有するものが用いられる。凹凸部22は、例えば、凸部22aをドット状に配置したり、凸部22aを平行なライン状に配置したり、或いは平行なライン状の凸部22aを縦横に配置して格子状にしたりすることが可能である。また、凹凸部22は、例えば、図6(B)に示すように、凸部22aが凹部22bを囲むようなリング状になるようにし、クレータ状の凹凸形状にすることもできる。
例えば、インプリント法を用いて形成する場合は、粘着層20の凸部22aに対応して凹部が設けられ、凹部22bに対応して凸部が設けられた型を準備し、その型を、粘着層20の形成用に支持体10上に設けた層に押し当てる。これにより、型に対応した形状の凹凸部22が形成された粘着層20が得られる。
まず、第1実施例について、図7〜図12を参照して説明する。
図7は第1実施例に係る支持体及び粘着層準備工程の説明図である。尚、図7(A)は第1実施例に係る支持体及び粘着層準備工程の要部断面模式図、図7(B)は第1実施例に係る支持体及び粘着層準備工程の平面模式図である。
支持体10には、例えば、直径156mm、厚さ1.0mmのステンレス(SUS)基板を用いる。この支持体10上に、一様に粘着層20を形成した後、例えば、ドリル加工によって、連通する貫通孔11及び貫通孔21を一括形成する。連通する貫通孔11及び貫通孔21は、例えば、支持体10及び粘着層20の端部8箇所と中心部1箇所の計9箇所に、直径2mmのサイズで形成する。
上記図10のようにして擬似ウエハ50を粘着層20から剥離した後は、150℃で1時間、加熱処理を行い、擬似ウエハ50(樹脂層40)を完全に硬化する。次いで、擬似ウエハ50の、粘着層20から剥離された面上に、配線層70を形成する。配線層70は、半導体素子30の電極31及びチップ部品60の電極61に電気的に接続されたビア及び配線等の導電部70aと、その周辺の絶縁部70bとを含んでいる。
配線層70の形成及びバンプ77の搭載後は、擬似ウエハ50及び配線層70を、ダイシング等によって所定の位置で切断する。これにより、それぞれ半導体素子30及びチップ部品60を含んだ、個片化された個々の半導体装置(半導体パッケージ)80aが取得される。
以上の図7〜図12に示したような工程により、半導体装置80aを製造することができる。ここで、図10に示した擬似ウエハ50の剥離工程後には、その擬似ウエハ50から分離された支持体10及び粘着層20を、次の擬似ウエハ50の形成に再利用することができる。即ち、一旦擬似ウエハ50から分離された支持体10及び粘着層20の、その粘着層20上に、再度、図8のように半導体素子30及びチップ部品60、並びに部品100を設け、図9のように樹脂層40を設けて、新たに擬似ウエハ50を形成する。新たに形成した擬似ウエハ50から、図10〜図12のようにして同様に半導体装置80aが形成される。
この第2実施例でも、上記第1実施例の図7で述べたのと同様に、まず、支持体10上に粘着層20を形成し、それらの支持体10及び粘着層20に貫通孔11及び貫通孔21を形成したものを準備する。例えば、支持体10に直径156mm、厚さ1.0mmのSUS基板を用い、この支持体10上に粘着層20を形成した後、例えば、ドリル加工によって、端部8箇所と中心部1箇所に、直径2mmの連通する貫通孔11及び貫通孔21を一括形成する。
図13は第2実施例に係る部品配設工程の説明図である。尚、図13は第2実施例に係る部品配設工程の要部断面模式図である。
半導体素子30及びチップ部品60、並びに部品100を、それぞれ所定の領域に設けた後、それらを封止するように粘着層20上に樹脂層40を設け、その樹脂層40を硬化して擬似ウエハ50を形成する。例えば、金型を用いたモールド成形によって、半導体素子30、チップ部品60、及び部品100を封止する樹脂層40を設け、その樹脂層40を加熱等によって硬化し、粘着層20上に直径150mmの擬似ウエハ50を形成する。
擬似ウエハ50の形成後、連通する貫通孔11及び貫通孔21に挿入したピン120で擬似ウエハ50の部品100を押圧し、擬似ウエハ50を粘着層20から剥離し、支持体10及び粘着層20から分離する。擬似ウエハ50の、粘着層20から剥離された面には、ポスト130、半導体素子30の電極31及びチップ部品60の電極61、並びに部品100(凹凸110)が露出するようになる。
上記図10のようにして擬似ウエハ50を粘着層20から剥離した後は、250℃で1時間、加熱処理を行い、擬似ウエハ50(樹脂層40)を完全に硬化する。次いで、擬似ウエハ50の、粘着層20から剥離された面上に、導電部70a及び絶縁部70bを含む第1配線層70Aを形成する。第1配線層70Aは、擬似ウエハ50の粘着層20からの剥離後に露出する半導体素子30の電極31及びチップ部品60の電極61、並びにポスト130に電気的に接続された導電部70aを含むように、形成される。第1配線層70Aは、上記第1実施例の図11で述べた配線層70を形成する工程と同様の工程で形成することができる。
図17は第2実施例に係る研削工程の説明図である。尚、図17は第2実施例に係る研削工程の要部断面模式図である。
樹脂層40を研削した後、その研削した面上に、導電部70a及び絶縁部70bを含む第2配線層70Bを形成する。第2配線層70Bは、研削によって露出したポスト130に電気的に接続された導電部70aを含むように、形成される。第2配線層70Bは、第1配線層70Aと、擬似ウエハ50を貫通するポスト130を介して電気的に接続される。このような第2配線層70Bは、図16で述べた第1配線層70A(上記第1実施例の図11で述べた配線層70)を形成する工程と同様の工程で形成することができる。
図19は第2実施例に係る保護膜配設及び表面処理工程の説明図である。尚、図19は第2実施例に係る保護膜配設及び表面処理工程の要部断面模式図である。
第1配線層70A及び第2配線層70Bの形成後は、擬似ウエハ50、第1配線層70A及び第2配線層70Bを、ダイシング等によって所定の位置で切断する。これにより、それぞれ半導体素子30及びチップ部品60を含んだ、個片化された個々の半導体装置(半導体パッケージ)80bが取得される。
例えば、擬似ウエハ50には、半導体素子30等を囲繞するように枠を設け、その枠によって樹脂層40の硬化収縮に伴う半導体素子30等の位置ずれ、擬似ウエハ50の変形等を抑える技術を適用することもできる。このような枠を、上記の部品100として利用することもできる。
尚、枠140及び枠150を設けた擬似ウエハ50に、上記のようにして配線層70等を形成し、その後、個片化する際には、例えば、個片化後の半導体装置80aの内部に枠140が残るように、切断する。この場合は、半導体装置80aの内部に残した枠140を、半導体素子30等で発生する熱を放熱する放熱部材、半導体素子30等への水分の浸入を抑制する耐湿部材として機能させることが可能になる。
図22は枠を用いた擬似ウエハの別例を示す図である。尚、粘着層との接触面側から見た、枠を用いた擬似ウエハの一例の平面模式図である。
ここでは半導体装置80aの製造に用いる擬似ウエハ50を例にして説明したが、ポスト130を含む上記半導体装置80bの製造に用いる擬似ウエハ50についても同様に、このような枠140及び枠150又は枠150aを利用した手法を用いることができる。
図23は電子装置の一例を示す図である。尚、図23には、電子装置の一例の要部断面を模式的に図示している。
(付記1) 第1貫通孔を有する支持体上に配設された粘着層上に、半導体素子を配設する工程と、
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記第1貫通孔に対応する箇所を含む領域に、部品を配設する工程と、
前記半導体素子及び前記部品が配設された前記粘着層上に樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記半導体素子、前記部品及び前記樹脂層を含む基板を形成する工程と、
前記第1貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する工程と
を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
前記基板を前記粘着層から剥離する工程では、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する
ことを特徴とする付記1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記5に記載の半導体装置の製造方法。
前記基板を形成する工程では、前記半導体素子、前記部品及び前記ポストが配設された前記粘着層上に前記樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記半導体素子、前記部品、前記ポスト及び前記樹脂層を含む前記基板を形成し、
前記基板を前記粘着層から剥離する工程後、前記第1配線層を配設する工程では、前記基板の、前記粘着層から剥離された面上に、前記半導体素子及び前記ポストに電気的に接続された前記第1導電部を含む前記第1配線層を配設し、
前記第1配線層を配設する工程後に、
前記基板の、前記粘着層が剥離された面と反対の面側を研削し、前記ポストを露出させる工程と、
前記ポストが露出した面上に、前記ポストに電気的に接続された第2導電部を含む第2配線層を配設する工程と
を更に含む
ことを特徴とする付記5に記載の半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記1乃至7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記第1貫通孔に対応する箇所を含む領域に、第1部品を配設する工程と、
前記第1半導体素子及び前記第1部品が配設された前記粘着層上に第1樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記第1半導体素子、前記第1部品及び前記第1樹脂層を含む第1基板を形成する工程と、
前記第1貫通孔を通して前記第1部品を押圧し、前記第1基板を前記粘着層から剥離する工程と、
前記第1基板が剥離された前記粘着層上に、第2半導体素子を配設する工程と、
前記第1基板が剥離された前記粘着層上の前記領域に、第2部品を配設する工程と、
前記第2半導体素子及び前記第2部品が配設された前記粘着層上に第2樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記第2半導体素子、前記第2部品及び前記第2樹脂層を含む第2基板を形成する工程と、
前記第1貫通孔を通して前記第2部品を押圧し、前記第2基板を前記粘着層から剥離する工程と
を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記第2部品を配設する工程では、前記第2部品として、前記粘着層と対向する部位に凹凸を有する部品を配設する
ことを特徴とする付記9に記載の半導体装置の製造方法。
前記第2部品を配設する工程では、前記第2部品として、前記粘着層上の前記第2半導体素子の側方を囲繞する枠を配設する
ことを特徴とする付記9又は10に記載の半導体装置の製造方法。
前記第1基板を前記粘着層から剥離する工程では、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔を通して前記第1部品を押圧し、前記第1基板を前記粘着層から剥離し、
前記第2基板を前記粘着層から剥離する工程では、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔を通して前記第2部品を押圧し、前記第2基板を前記粘着層から剥離する
ことを特徴とする付記9乃至11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
ことを特徴とする付記9乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記貫通孔に対応する箇所を含む領域に、部品を配設する工程と、
前記半導体素子及び前記部品が配設された前記粘着層上に樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記半導体素子、前記部品及び前記樹脂層を含む基板を形成する工程と、
前記貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する工程と、
前記基板を前記粘着層から剥離する工程後に、前記基板の、前記粘着層から剥離された面上に、前記半導体素子に電気的に接続された導電部を含む配線層を配設する工程と、
前記半導体素子の周囲で前記樹脂層及び前記配線層を切断し、前記半導体素子並びに切断された前記樹脂層及び前記配線層を含む半導体パッケージを取得する工程と、
前記半導体パッケージを回路基板に実装する工程と
を含む
ことを特徴とする電子装置の製造方法。
11,21 貫通孔
20 粘着層
22 凹凸部
22a 凸部
22b 凹部
30 半導体素子
30a 電極面
31,61 電極
40 樹脂層
50 擬似ウエハ
51 突出部
60 チップ部品
70 配線層
70a 導電部
70b 絶縁部
70A 第1配線層
70B 第2配線層
71 絶縁層
71a 開口部
72 ビア
73 配線
74 保護膜
75 ニッケル
76 金
77 バンプ
80a,80b 半導体装置
90 回路基板
91 電極パッド
100 部品
110 凹凸
120 ピン
130 ポスト
140,150,150a 枠
200 電子装置
Claims (10)
- 第1貫通孔を有する支持体上に配設された粘着層上に、半導体素子を配設する工程と、
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記第1貫通孔に対応する箇所を含む領域に、部品を配設する工程と、
前記半導体素子及び前記部品が配設された前記粘着層上に樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記半導体素子、前記部品及び前記樹脂層を含む基板を形成する工程と、
前記第1貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する工程と
を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記部品を配設する工程では、前記部品として、前記粘着層と対向する部位に凹凸を有する部品を配設する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記部品を配設する工程では、前記部品として、前記粘着層上の前記半導体素子の側方を囲繞する枠を配設する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記支持体上の前記粘着層は、前記第1貫通孔に連通する第2貫通孔を有し、
前記基板を前記粘着層から剥離する工程では、前記第1貫通孔及び前記第2貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板を前記粘着層から剥離する工程後に、前記基板の、前記粘着層から剥離された面上に、前記半導体素子に電気的に接続された導電部を含む配線層を配設する工程を更に含む
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線層を配設する工程後に、前記半導体素子の周囲で前記樹脂層及び前記配線層を切断し、前記半導体素子並びに切断された前記樹脂層及び前記配線層を含む半導体パッケージを取得する工程を更に含む
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 貫通孔を有する支持体上に配設された粘着層上に、第1半導体素子を配設する工程と、
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記貫通孔に対応する箇所を含む領域に、第1部品を配設する工程と、
前記第1半導体素子及び前記第1部品が配設された前記粘着層上に第1樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記第1半導体素子、前記第1部品及び前記第1樹脂層を含む第1基板を形成する工程と、
前記貫通孔を通して前記第1部品を押圧し、前記第1基板を前記粘着層から剥離する工程と、
前記第1基板が剥離された前記粘着層上に、第2半導体素子を配設する工程と、
前記第1基板が剥離された前記粘着層上の前記領域に、第2部品を配設する工程と、
前記第2半導体素子及び前記第2部品が配設された前記粘着層上に第2樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記第2半導体素子、前記第2部品及び前記第2樹脂層を含む第2基板を形成する工程と、
前記貫通孔を通して前記第2部品を押圧し、前記第2基板を前記粘着層から剥離する工程と
を含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1部品を配設する工程では、前記第1部品として、前記粘着層と対向する部位に凹凸を有する部品を配設し、
前記第2部品を配設する工程では、前記第2部品として、前記粘着層と対向する部位に凹凸を有する部品を配設する
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1部品を配設する工程では、前記第1部品として、前記粘着層上の前記第1半導体素子の側方を囲繞する枠を配設し、
前記第2部品を配設する工程では、前記第2部品として、前記粘着層上の前記第2半導体素子の側方を囲繞する枠を配設する
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の半導体装置の製造方法。 - 貫通孔を有する支持体上に配設された粘着層上に、半導体素子を配設する工程と、
前記支持体上に配設された前記粘着層上の、前記貫通孔に対応する箇所を含む領域に、部品を配設する工程と、
前記半導体素子及び前記部品が配設された前記粘着層上に樹脂層を配設し、前記粘着層上に前記半導体素子、前記部品及び前記樹脂層を含む基板を形成する工程と、
前記貫通孔を通して前記部品を押圧し、前記基板を前記粘着層から剥離する工程と、
前記基板を前記粘着層から剥離する工程後に、前記基板の、前記粘着層から剥離された面上に、前記半導体素子に電気的に接続された導電部を含む配線層を配設する工程と、
前記半導体素子の周囲で前記樹脂層及び前記配線層を切断し、前記半導体素子並びに切断された前記樹脂層及び前記配線層を含む半導体パッケージを取得する工程と、
前記半導体パッケージを回路基板に実装する工程と
を含む
ことを特徴とする電子装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012032677A JP5810958B2 (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 |
US13/749,126 US9214361B2 (en) | 2012-02-17 | 2013-01-24 | Semiconductor device manufacturing method and electronic device manufacturing method |
TW102104345A TWI525755B (zh) | 2012-02-17 | 2013-02-05 | 半導體裝置之製造方法及電子裝置之製造方法 |
CN201310048269.2A CN103258752B (zh) | 2012-02-17 | 2013-02-06 | 半导体装置制造方法和电子装置制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012032677A JP5810958B2 (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013171841A true JP2013171841A (ja) | 2013-09-02 |
JP5810958B2 JP5810958B2 (ja) | 2015-11-11 |
Family
ID=48962586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012032677A Expired - Fee Related JP5810958B2 (ja) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9214361B2 (ja) |
JP (1) | JP5810958B2 (ja) |
CN (1) | CN103258752B (ja) |
TW (1) | TWI525755B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014168035A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-09-11 | Nitto Denko Corp | 封止層被覆半導体素子、その製造方法および半導体装置 |
WO2017111839A1 (en) * | 2015-12-26 | 2017-06-29 | Intel Corporation | Swaging process for complex integrated heat spreaders |
JP2020147197A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | トヨタ自動車株式会社 | ハイブリッド車両、及び過給機の冷却方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5903920B2 (ja) * | 2012-02-16 | 2016-04-13 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 |
JP6439053B2 (ja) | 2015-08-26 | 2018-12-19 | 株式会社アルバック | 電子部品の製造方法および処理システム |
CN105977170B (zh) * | 2016-07-01 | 2018-06-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 布线保护膜层的贴附方法及布线结构、显示面板 |
WO2018030262A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 株式会社村田製作所 | モジュール部品の製造方法 |
US10700008B2 (en) * | 2018-05-30 | 2020-06-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Package structure having redistribution layer structures |
US11004803B2 (en) | 2018-07-02 | 2021-05-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Dummy dies for reducing warpage in packages |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187551A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5915170A (en) | 1994-09-20 | 1999-06-22 | Tessera, Inc. | Multiple part compliant interface for packaging of a semiconductor chip and method therefor |
US6555908B1 (en) | 2000-02-10 | 2003-04-29 | Epic Technologies, Inc. | Compliant, solderable input/output bump structures |
JP4403631B2 (ja) | 2000-04-24 | 2010-01-27 | ソニー株式会社 | チップ状電子部品の製造方法、並びにその製造に用いる擬似ウエーハの製造方法 |
JP2002124527A (ja) | 2000-10-16 | 2002-04-26 | Sony Corp | チップ状電子部品の製造方法、及びその製造に用いる疑似ウェーハの製造方法 |
JP2002299500A (ja) | 2001-04-04 | 2002-10-11 | Sony Corp | チップ状電子部品の製造方法及びチップ状電子部品、並びにその製造に用いる疑似ウェーハの製造方法及び疑似ウェーハ |
JP4330821B2 (ja) | 2001-07-04 | 2009-09-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US6794273B2 (en) * | 2002-05-24 | 2004-09-21 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
AU2003279758A1 (en) | 2002-10-03 | 2004-04-23 | Pan Jit Americas, Inc. | Low temperature texturing layer to enhance adhesion of subsequent layers |
DE10333841B4 (de) | 2003-07-24 | 2007-05-10 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung eines Nutzens mit in Zeilen und Spalten angeordneten Halbleiterbauteilpositionen und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils |
DE10334576B4 (de) | 2003-07-28 | 2007-04-05 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit einem Kunststoffgehäuse |
JP2005340655A (ja) | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法および半導体基板の支持構造体 |
JP2007250598A (ja) | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
FR2917234B1 (fr) | 2007-06-07 | 2009-11-06 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif multi composants integres dans une matrice semi-conductrice. |
JP5496445B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2014-05-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8258624B2 (en) | 2007-08-10 | 2012-09-04 | Intel Mobile Communications GmbH | Method for fabricating a semiconductor and semiconductor package |
US7943423B2 (en) | 2009-03-10 | 2011-05-17 | Infineon Technologies Ag | Reconfigured wafer alignment |
JP5042297B2 (ja) | 2009-12-10 | 2012-10-03 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5137937B2 (ja) | 2009-12-16 | 2013-02-06 | 日東電工株式会社 | 半導体装置製造用耐熱性粘着シート、該シートに用いる粘着剤、及び該シートを用いた半導体装置の製造方法 |
JP5144634B2 (ja) | 2009-12-22 | 2013-02-13 | 日東電工株式会社 | 基板レス半導体パッケージ製造用耐熱性粘着シート、及びその粘着シートを用いる基板レス半導体パッケージ製造方法 |
JP5729290B2 (ja) | 2011-12-16 | 2015-06-03 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法、電子装置の製造方法及び基板 |
JP5810957B2 (ja) * | 2012-02-17 | 2015-11-11 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-02-17 JP JP2012032677A patent/JP5810958B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-24 US US13/749,126 patent/US9214361B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-02-05 TW TW102104345A patent/TWI525755B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-02-06 CN CN201310048269.2A patent/CN103258752B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011187551A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014168035A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-09-11 | Nitto Denko Corp | 封止層被覆半導体素子、その製造方法および半導体装置 |
WO2017111839A1 (en) * | 2015-12-26 | 2017-06-29 | Intel Corporation | Swaging process for complex integrated heat spreaders |
JP2020147197A (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | トヨタ自動車株式会社 | ハイブリッド車両、及び過給機の冷却方法 |
JP7192591B2 (ja) | 2019-03-14 | 2022-12-20 | トヨタ自動車株式会社 | ハイブリッド車両、及び過給機の冷却方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103258752B (zh) | 2016-01-20 |
CN103258752A (zh) | 2013-08-21 |
JP5810958B2 (ja) | 2015-11-11 |
TWI525755B (zh) | 2016-03-11 |
US20130217184A1 (en) | 2013-08-22 |
US9214361B2 (en) | 2015-12-15 |
TW201349396A (zh) | 2013-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5810958B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 | |
JP5810957B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 | |
JP4840373B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5903920B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法 | |
JP5535494B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5232185B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004071998A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20110002426A (ko) | 반도체장치의 제조방법 | |
JP2015106671A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、基板及び基板の製造方法 | |
TW202025408A (zh) | 封裝方法、面板組件、晶圓封裝體以及晶片封裝體 | |
JP4636090B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20210095564A (ko) | 반도체 디바이스들 및 반도체 디바이스들의 제조 방법 | |
US7615408B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP2012216601A (ja) | 電子装置の製造方法及び電子装置 | |
JP2009182202A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007317857A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5693763B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
TWI630665B (zh) | 製作晶片封裝結構之方法 | |
JP2011155313A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008288481A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2014099526A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、電子装置及び電子装置の製造方法 | |
JP4297153B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5458398B2 (ja) | 電子部品パッケージの製造方法および電子部品パッケージ | |
CN111755345A (zh) | 半导体封装及半导体封装的制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141007 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5810958 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |