JP2014168035A - 封止層被覆半導体素子、その製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】粘着層に利用できる材料を広範に選択でき、工程設計の自由度を向上させることができ、さらには、封止層被覆半導体素子の製造に要する工数を低減することができる、封止層被覆半導体素子の製造方法、それにより得られる封止層被覆半導体素子、および、それを備える半導体装置を提供すること。
【解決手段】蛍光体シート被覆LED10の製造方法は、貫通孔21が形成される支持板2と粘着層3とを備える支持シート1を用意する用意工程、LED4を粘着層3に配置するLED配置工程、蛍光体シート5によってLED4を被覆して、LED4と蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得るLED被覆工程、および、押圧部材14を貫通孔21に挿通させて、蛍光体シート被覆LED10を相対移動させながら、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離するLED剥離工程を備える。
【選択図】図1
【解決手段】蛍光体シート被覆LED10の製造方法は、貫通孔21が形成される支持板2と粘着層3とを備える支持シート1を用意する用意工程、LED4を粘着層3に配置するLED配置工程、蛍光体シート5によってLED4を被覆して、LED4と蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得るLED被覆工程、および、押圧部材14を貫通孔21に挿通させて、蛍光体シート被覆LED10を相対移動させながら、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離するLED剥離工程を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、封止層被覆半導体素子、その製造方法および半導体装置に関し、詳しくは、封止層被覆半導体素子の製造方法、それにより得られる封止層被覆半導体素子、および、それを備える半導体装置に関する。
従来、発光ダイオード装置(以下、LED装置と略記する。)や電子装置などを含む半導体装置は、まず、基板に複数の半導体素子(発光ダイオード素子(以下、LEDと略記する。)や電子素子などを含む。)を実装し、次いで、複数の半導体素子を被覆するように封止層を設け、その後、各半導体素子に個片化することにより、製造されることが知られている。
とりわけ、半導体素子がLEDであり、半導体装置がLED装置である場合には、複数のLEDの間において、発光波長や発光効率にバラツキを生じるため、そのようなLEDが実装されたLED装置では、複数のLEDの間において発光にバラツキを生じるという不具合がある。
かかる不具合を解消すべく、例えば、複数のLEDを蛍光体層で被覆して蛍光体層被覆LEDを作製し、必要により各蛍光体層被覆LEDに個片化し、その後、蛍光体層被覆LEDを発光波長や発光効率に応じて選別した後、基板に実装することが検討されている。
例えば、平坦な透明基板(石英基板)の上に、粘着シートを介してチップを貼り付け、次いで、チップの上から樹脂を塗布して、樹脂で被覆されたチップからなる疑似ウエーハを作製する。
そして、石英基板側より紫外線を照射して、または、薬液もしくは加熱によって、粘着シートの粘着力を低下させ、疑似ウエーハを、石英基板および粘着シートから剥離した後、疑似ウエーハを、チップ単位でダイシングして個片化することにより得られるチップ部品が提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。特許文献1のチップ部品は、その後、基板に実装されて、半導体装置が得られる。
しかるに、特許文献1に記載の方法では、疑似ウエーハを、石英基板および粘着シートから剥離するために、石英基板側より紫外線を照射して、または、薬液もしくは加熱によって粘着シートの粘着力を低下させている。
そのため、粘着シートに利用できる材料に制約を受けたり、粘着シートの粘着力を低下させる工程が必要となって工数が増加するという不具合がある。その結果、封止層被覆半導体素子の製造コストの増加が不可避である。
本発明の目的は、粘着層に利用できる材料を広範に選択でき、工程設計の自由度を向上させることができ、さらには、封止層被覆半導体素子の製造に要する工数を低減することができる、封止層被覆半導体素子の製造方法、それにより得られる封止層被覆半導体素子、および、それを備える半導体装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法は、厚み方向を貫通する貫通孔が形成される硬質の支持板と、前記支持板の厚み方向一方側の表面に前記貫通孔を被覆するように積層される粘着層とを備える支持シートを用意する用意工程、半導体素子を、前記貫通孔と前記厚み方向に対向する前記粘着層の前記厚み方向一方側の表面に配置する半導体素子配置工程、封止層によって前記半導体素子を被覆して、前記半導体素子と、前記半導体素子を被覆する前記封止層とを備える封止層被覆半導体素子を得る半導体素子被覆工程、および、押圧部材を前記貫通孔に前記厚み方向他方側から挿通させて、前記貫通孔に対応する前記粘着層を前記支持板に対して相対的に前記厚み方向一方側に押圧することによって、前記封止層被覆半導体素子を前記厚み方向一方側に相対移動させながら、前記封止層被覆半導体素子を前記粘着層から剥離する半導体素子剥離工程を備えることを特徴としている。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法では、前記封止層は、封止シートから形成されていることが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法において、前記半導体素子被覆工程は、前記半導体素子配置工程の後に、硬化性樹脂を含有する封止樹脂組成物から形成される前記封止層を、前記半導体素子を埋設するように、前記支持シートの前記厚み方向一方側に配置する層配置工程、前記封止層を硬化させて、可撓性の前記封止層によって前記半導体素子を封止する封止工程、および、前記封止工程の後に、可撓性の前記封止層を、前記半導体素子に対応して切断することにより、前記半導体素子と、前記半導体素子を被覆する前記封止層とを備える前記封止層被覆半導体素子を得る切断工程を備えることが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法において、前記層配置工程では、Bステージの前記封止層によって、前記半導体素子を埋設し、前記封止工程では、前記封止層を硬化させてCステージにし、Cステージの前記封止層によって前記半導体素子を封止することが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法において、前記用意工程では、前記支持シートを、切断工程において切断の基準となる基準マークが予め設けられるように、用意することが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法において、前記半導体素子が、LEDであり、前記封止層が、蛍光体層であることが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法では、前記封止層は、前記半導体素子を被覆する被覆部と、光反射成分を含有し、前記被覆部を囲むようにして形成されるリフレクタ部とを備えることが好適である。
また、本発明の封止層被覆半導体素子は、上記した封止層被覆半導体素子の製造方法により得られることを特徴としている。
また、本発明の半導体装置は、基板と、前記基板に実装される上記した封止層被覆半導体素子とを備えることを特徴としている。
本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法では、硬質の支持板の貫通孔に押圧部材を挿通させて粘着層を押圧することにより、半導体素子を粘着層から剥離する。
そのため、半導体素子剥離工程の前に、粘着層の粘着力を低下させる工程を必要とせずとも、半導体素子を粘着層から剥離することができる。
その結果、封止層被覆半導体素子の製造に要する工数を削減することができる。
また、粘着層の材料を、紫外線照射、薬液または加熱によって粘着力が低下するような材料だけでなく、広範に選択することができる。
その結果、工程設計の自由度を向上させることができる。
本発明の封止層被覆半導体素子は、その製造に要する工数が低減されているので、コストを低減することができる。
また、本発明の半導体装置は、上記した封止層被覆半導体素子を備えているので、コストを低減することができる。
<第1実施形態>
図1において、紙面上下方向を上下方向(第1方向、厚み方向)、紙面左右方向を左右方向(第2方向、第1方向に直交する方向)、紙面紙厚方向を前後方向(第3方向、第1方向および第2方向に直交する方向)とする。図2以降の各図は、上記した方向および図1の方向矢印に準拠する。
図1において、紙面上下方向を上下方向(第1方向、厚み方向)、紙面左右方向を左右方向(第2方向、第1方向に直交する方向)、紙面紙厚方向を前後方向(第3方向、第1方向および第2方向に直交する方向)とする。図2以降の各図は、上記した方向および図1の方向矢印に準拠する。
図1は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第1実施形態を示す工程図である。図2は、図1(a)に示す支持シートの平面図を示す。
なお、図2において、後述する粘着層3は、後述する支持板2および基準マーク18の相対配置を明確に示すために、省略している。
封止層被覆半導体素子としての蛍光体層被覆LEDの一例である蛍光体シート被覆LED10の製造方法は、図1(a)〜図1(e)に示すように、支持シート1の用意工程(図1(a)参照)、半導体素子としてのLED4を配置するLED配置工程(半導体素子配置工程の一例、図1(b)参照。)、LED被覆工程(半導体素子被覆工程の一例、図1(c)および図1(d)参照。)、および、LED剥離工程(半導体素子剥離工程の一例、図1(e)および図1(e’)参照。)を備える。
封止層被覆半導体素子としての蛍光体層被覆LEDの一例である蛍光体シート被覆LED10の製造方法は、図1(a)〜図1(e)に示すように、支持シート1の用意工程(図1(a)参照)、半導体素子としてのLED4を配置するLED配置工程(半導体素子配置工程の一例、図1(b)参照。)、LED被覆工程(半導体素子被覆工程の一例、図1(c)および図1(d)参照。)、および、LED剥離工程(半導体素子剥離工程の一例、図1(e)および図1(e’)参照。)を備える。
LED被覆工程は、LED配置工程の後に、封止層の一例である封止シートとしての蛍光体シート5を支持シート1の上側の表面(上面)に配置するシート配置工程(層配置工程の一例、図1(c)参照)、蛍光体シート5を硬化させて、蛍光体シート5によってLED4を封止する封止工程(図1(d)参照)、および、封止工程の後に、蛍光体シート5を、LED4に対応して切断することにより、蛍光体シート被覆LED10を得る切断工程(図1(d)の破線参照)を備える。
[用意工程]
用意工程は、支持シート1を用意する工程であって、支持シート1は、図1(a)および図2に示すように、面方向(厚み方向に対する直交方向、すなわち、左右方向および前後方向)に延びるシート形状をなし、平面視形状(厚み方向に投影したときの形状)は、例えば、矩形状に形成されている。
用意工程は、支持シート1を用意する工程であって、支持シート1は、図1(a)および図2に示すように、面方向(厚み方向に対する直交方向、すなわち、左右方向および前後方向)に延びるシート形状をなし、平面視形状(厚み方向に投影したときの形状)は、例えば、矩形状に形成されている。
また、支持シート1は、後で説明する切断工程において切断の基準となる基準マーク18が予め設けられるように、用意される。
基準マーク18は、図2に示すように、支持シート1における面方向における周端部において、間隔を隔てて複数設けられている。例えば、基準マーク18は、支持シート1において互いに対向する2辺にそれぞれ設けられており、基準マーク18は、支持シート1の2辺が対向する方向において対向する1対をなすように形成されている。1対の基準マーク18は、その後に配置されるLED4に対応して設けられ、基準マーク18を基準として蛍光体シート5を切断したときに、LED4を個片化できるように配置されている。
各基準マーク18は、平面視において容易に認識される形状に形成されており、例えば、平面視略三角形状に形成されている。
支持シート1の最大長さは、例えば、10mm以上、300mm以下である。
支持シート1は、次に説明するLED4(図1(b)参照)を支持できるように構成されており、図1(a)および図2に示すように、例えば、支持板2と、支持板2の上側の表面に積層される粘着層3とを備える。
支持板2は、面方向に延びる板形状をなし、支持シート1における下部に設けられており、支持シート1と平面視略同一形状に形成されている。
また、支持板2の上側の表面には、基準マーク18が形成されている。基準マーク18は、断面視において、図示しないが、例えば、上側の表面から上下方向途中まで凹む凹部、あるいは、上下方向を貫通する孔として形成されている。
支持板2は、硬質の材料からなり、具体的には、そのような材料として、例えば、酸化ケイ素(石英など)、アルミナなどの酸化物、例えば、ステンレスなどの金属、例えば、シリコンなどが挙げられる。
支持板2の23℃におけるヤング率は、例えば、1×106Pa以上、好ましくは、1×107Pa以上、より好ましくは、1×108Pa以上であり、また、例えば、1×1012Pa以下でもある。支持板2のヤング率が上記した下限以上であれば、支持板2の硬質を担保して、後述するLED4(図1(b)参照)をより一層確実に支持することができる。なお、支持板2のヤング率は、例えば、JIS H 7902:2008の圧縮弾性率などから求められる。
支持板2の厚みは、例えば、0.1mm以上、好ましくは、0.3mm以上であり、また、例えば、5mm以下、好ましくは、2mm以下でもある。
また、支持板2には、後で説明するLED剥離工程において押圧部材14を挿通させるための貫通孔21が形成されている。
貫通孔21は、図2に示すように、支持板2において、その後に配置されるLED4に対応して設けられ、間隔を隔てて複数設けられている。例えば、貫通孔21は、基準マーク18を基準として蛍光体シート被覆LED10を個片化したときにそれぞれの蛍光体シート被覆LED10を押圧できるように配置されている。
より具体的には、複数の貫通孔21が平面視において前後左右に互いに等間隔を隔てるように、支持シート1に整列配置されている。
貫通孔21の形状は、例えば、平面視円形状をなし、その大きさは、孔径が、例えば、0.1mm以上、好ましくは、0.2mm以上であり、また、例えば、1mm以下、好ましくは、0.7mm以下でもある。
また、貫通孔21の大きさは、LED4の大きさに対して、例えば、10%以上、好ましくは、20%以上であり、また、例えば、90%以下であり、好ましくは、80%以下でもある。
粘着層3は、支持板2の上側の表面の全面に形成されている。
つまり、粘着層3は、支持板2の上側の表面(厚み方向一方側の表面)に貫通孔21を被覆するように積層されている。
粘着層3を形成する粘着材料としては、例えば、アクリル系感圧接着剤、シリコーン系感圧接着剤などの感圧接着剤が挙げられる。
また、粘着材料としては、紫外線照射、薬液または加熱によって粘着力が低下するものの他、通常、粘着剤として用いることができるものから広範に選択することができる。
粘着層3の厚みは、例えば、0.1mm以上、好ましくは、0.2mm以上であり、また、1mm以下、好ましくは、0.5mm以下でもある。
支持シート1を用意するには、例えば、支持板2と粘着層3とを貼り合わせる。
支持シート1の厚みは、例えば、0.2mm以上、好ましくは、0.5mm以上であり、また、6mm以下、好ましくは、2.5mm以下でもある。
[LED配置工程]
LED配置工程は、LED4を粘着層3に配置する工程であって、LED配置工程では、図1(b)および図2の仮想線で示すように、LED4を複数用意して、それらを支持シート1の上側の表面(厚み方向一方側の表面)に配置する。
LED配置工程は、LED4を粘着層3に配置する工程であって、LED配置工程では、図1(b)および図2の仮想線で示すように、LED4を複数用意して、それらを支持シート1の上側の表面(厚み方向一方側の表面)に配置する。
LED4は、電気エネルギーを光エネルギーに変換する半導体素子であり、例えば、厚みが面方向長さ(最大長さ)より短い断面視略矩形状および平面視略矩形状に形成されている。また、LED4の下側の表面(下面)は、図示しないバンプから形成されている。LED4としては、例えば、青色光を発光する発光ダイオード素子が挙げられる。
LED4の面方向の最大長さは、例えば、0.1mm以上、3mm以下である。また、LED4の厚みは、例えば、0.05mm以上、1mm以下である。
LED配置工程では、例えば、複数のLED4を、支持シート1の上側の表面に整列配置する。具体的には、複数のLED4が平面視において前後左右に互いに等間隔を隔てるように、LED4を配置する。
また、LED4を、貫通孔21と厚み方向において対向するように、粘着層3の上側の表面(厚み方向一方側の表面)に配置し、LED4を、図示しないバンプが支持シート1に対向するように、粘着層3に貼着する。これによって、LED4は、その整列状態が維持されるように、粘着層3を介して支持板2の上側の表面に支持される。
各LED4は、対応する貫通孔21が、その中央に位置するように配置される。
各LED4間の間隔は、例えば、0.05mm以上、2mm以下である。
[LED被覆工程]
LED被覆工程は、蛍光体シート5によってLED4の表面を被覆して、LED4と、LED4の表面を被覆する蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得る工程であって、シート配置工程、封止工程および切断工程を備えている。
LED被覆工程は、蛍光体シート5によってLED4の表面を被覆して、LED4と、LED4の表面を被覆する蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得る工程であって、シート配置工程、封止工程および切断工程を備えている。
(シート配置工程)
シート配置工程は、LED配置工程の後に、LED4を埋設するように支持シート1に蛍光体シート5を配置する工程であって、図1(c)において、蛍光体シート5は、硬化性樹脂および蛍光体を含有する蛍光樹脂組成物から、シート形状に形成されている。
シート配置工程は、LED配置工程の後に、LED4を埋設するように支持シート1に蛍光体シート5を配置する工程であって、図1(c)において、蛍光体シート5は、硬化性樹脂および蛍光体を含有する蛍光樹脂組成物から、シート形状に形成されている。
硬化性樹脂としては、例えば、加熱により硬化する熱硬化性樹脂、例えば、活性エネルギー線(例えば、紫外線、電子線など)の照射により硬化する活性エネルギー線硬化性樹脂などが挙げられる。好ましくは、熱硬化性樹脂が挙げられる。
具体的には、硬化性樹脂として、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などの熱硬化性樹脂が挙げられる。好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。
シリコーン樹脂としては、例えば、2段階硬化型シリコーン樹脂、1段階硬化型シリコーン樹脂などのシリコーン樹脂が挙げられ、好ましくは、2段階硬化型シリコーン樹脂が挙げられる。
2段階硬化型シリコーン樹脂は、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(完全硬化)する熱硬化性シリコーン樹脂である。一方、1段階硬化型シリコーン樹脂は、1段階の反応機構を有しており、1段階目の反応で完全硬化する熱硬化性シリコーン樹脂である。
また、Bステージは、熱硬化性シリコーン樹脂が、液状であるAステージと、完全硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がCステージの弾性率よりも小さい状態である。
2段階硬化型シリコーン樹脂としては、例えば、縮合反応と付加反応との2つの反応系を有する縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂などが挙げられる。
硬化性樹脂の配合割合は、蛍光樹脂組成物に対して、例えば、30質量%以上、好ましくは、50質量%以上であり、また、例えば、99質量%以下、好ましくは、95質量%以下でもある。
蛍光体は、波長変換機能を有しており、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などが挙げられる。
黄色蛍光体としては、例えば、Y3Al5O12:Ce(YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)、Tb3Al3O12:Ce(TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)などのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ca−α−SiAlONなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。
赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN3:Eu、CaSiN2:Euなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。
好ましくは、黄色蛍光体が挙げられる。
蛍光体の形状としては、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。好ましくは、流動性の観点から、球状が挙げられる。
蛍光体の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下でもある。
蛍光体の配合割合は、硬化性樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、例えば、80質量部以下、好ましくは、50質量部以下でもある。
さらに、蛍光樹脂組成物は、充填剤を含有することもできる。
充填剤としては、例えば、シリコーン粒子などの有機微粒子、例えば、シリカ、タルク、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの無機微粒子が挙げられる。また、充填剤の配合割合は、硬化性樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、また、例えば、70質量部以下、好ましくは、50質量部以下でもある。
そして、図1(c)に示すように、蛍光体シート5を、支持シート1の上に配置するには、まず、図1(b)に示すように、蛍光体シート5を用意する。蛍光体シート5を用意するには、硬化性樹脂および蛍光体ならびに必要により配合される充填剤を配合して、蛍光樹脂組成物を調製する。次いで、蛍光樹脂組成物を、離型シート6の表面に塗布し、その後、加熱させる。離型シート6としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム(PETなど)などのポリマーフィルム、例えば、セラミクスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。好ましくは、ポリマーフィルムが挙げられる。また、離型シート6の表面には、フッ素処理などの剥離処理を施すこともできる。
硬化性樹脂が2段階硬化型シリコーン樹脂を含有する場合には、上記した加熱によって、硬化性樹脂がBステージ化(半硬化)する。つまり、Bステージの蛍光体シート5が形成される。
この蛍光体シート5の23℃における圧縮弾性率は、例えば、0.01MPa以上、好ましくは、0.04MPa以上であり、また、例えば、1.0MPa以下、好ましくは、0.5MPa以下でもある。
蛍光体シート5の圧縮弾性率が上記上限以下であれば、十分な柔軟性を担保することができる。一方、蛍光体シート5の圧縮弾性率が下限以上であれば、LED4を埋設することができる。
次いで、図1(c)に示すように、蛍光体シート5を、LED4を埋設するように、支持シート1の上側の表面に配置する(埋設工程)。すなわち、蛍光体シート5を、LED4の上面および側面を被覆するように、支持シート1の上に配置する。
具体的には、図1(b)の矢印で示すように、離型シート6に積層された蛍光体シート5を、粘着層3に向けて圧着する。
これによって、シート配置工程では、蛍光体シート5によってLED4を埋設する埋設工程が実施される。
その後、図1(c)の仮想線で示すように、離型シート6を蛍光体シート5の上側の表面から剥離する。
(封止工程)
封止工程は、蛍光体シート5を硬化させて、可撓性の蛍光体シート5によってLED4を封止する工程であって、シート配置工程(図1(c)参照)の後に、実施する。
封止工程は、蛍光体シート5を硬化させて、可撓性の蛍光体シート5によってLED4を封止する工程であって、シート配置工程(図1(c)参照)の後に、実施する。
封止工程では、図1(d)に示すように、蛍光体シート5を硬化させる。具体的には、蛍光体シート5を、例えば、80℃以上、好ましくは、100℃以上、また、例えば、200℃以下、好ましくは、180℃以下に、加熱する。
硬化性樹脂が2段階硬化型シリコーン樹脂を含有し、LED4を埋設する蛍光体シート5がBステージである場合には、蛍光体シート5は、上記した加熱によって、完全硬化(完全硬化)してCステージとなる。
また、硬化性樹脂が1段階硬化型シリコーン樹脂を含有する場合には、かかる硬化性樹脂からなる蛍光体シート5は、上記した加熱によって、完全硬化(最終硬化)してCステージとなる。
あるいは、硬化性樹脂が活性エネルギー線硬化性樹脂である場合には、蛍光体シート5に活性エネルギー線を上方から照射する。
硬化(完全硬化)した蛍光体シート5は、可撓性を有しており、具体的には、23℃における圧縮弾性率が、例えば、0.5MPa以上、好ましくは、1MPa以上であり、また、例えば、100MPa以下、好ましくは、10MPa以下でもある。
蛍光体シート5の圧縮弾性率が上記上限以下であれば、可撓性を確実に担保することができ、例えば、次の切断工程(図1(d)参照)において、カッティング装置(後述)を用いて、蛍光体シート5を切断することもできる。蛍光体シート5の圧縮弾性率が上記下限以上であれば、切断後の形状を保持することができる。
これにより、LED4の側面および上面と、LED4から露出する粘着層3の上側の表面とが、蛍光体シート5によって密着状に被覆される。つまり、Cステージの蛍光体シート5によってLED4が封止される。
(切断工程)
切断工程は、封止工程の後に、蛍光体シート5を、LED4に対応して切断することにより、LED4と蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得る工程であって、図1(d)の破線で示すように、切断工程では、LED4の周囲の可撓性の蛍光体シート5を、厚み方向に沿って切断する。例えば、図2の一点鎖線で示すように、蛍光体シート5を、例えば、各LED4を囲む平面視略矩形状に切断する。
切断工程は、封止工程の後に、蛍光体シート5を、LED4に対応して切断することにより、LED4と蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を得る工程であって、図1(d)の破線で示すように、切断工程では、LED4の周囲の可撓性の蛍光体シート5を、厚み方向に沿って切断する。例えば、図2の一点鎖線で示すように、蛍光体シート5を、例えば、各LED4を囲む平面視略矩形状に切断する。
蛍光体シート5を切断するには、例えば、円盤状のダイシングソー(ダイシングブレード)31(図1(d)参照)を用いるダイシング装置、カッターを用いるカッティング装置、レーザー照射装置などが用いられる。
また、蛍光体シート5の切断は、基準マーク18を基準として実施する。具体的には、1対をなす基準マーク18を結ぶ直線(図2において一点鎖線で示される)に沿って、蛍光体シート5を切り目8が形成されるように切断する。
なお、蛍光体シート5の切断では、例えば、切り目8が支持シート1を貫通しないように、具体的には、粘着層3を貫通しないように、蛍光体シート5の上側から下側に向かって切断する。
切断工程によって、LED4と、LED4の表面を被覆するように、蛍光体シート5から形成される封止層としての蛍光体シート5とを備える蛍光体シート被覆LED10を、支持シート1に密着する状態で得る。
[LED剥離工程]
LED剥離工程は、図1(e)に示すように、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離する工程であって、図1(e’)に示すように、針などの押圧部材14と、コレットなどの吸引部材16とを備えるピックアップ装置17を用いて、貫通孔21を介して押圧部材14により粘着層3を押圧し、蛍光体シート被覆LED10を支持板2および粘着層3から剥離する。
LED剥離工程は、図1(e)に示すように、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離する工程であって、図1(e’)に示すように、針などの押圧部材14と、コレットなどの吸引部材16とを備えるピックアップ装置17を用いて、貫通孔21を介して押圧部材14により粘着層3を押圧し、蛍光体シート被覆LED10を支持板2および粘着層3から剥離する。
詳しくは、まず、支持シート1をピックアップ装置17に設置して、押圧部材14を剥離したい蛍光体シート被覆LED10に対応する貫通孔21に対して下側(厚み方向他方側)から対向配置させる。
そして、貫通孔21に、押圧部材14を下側から挿通する。
すると、貫通孔21に対応する粘着層3が、支持板2に対して相対的に上側(厚み方向一方側)に押圧され、蛍光体シート被覆LED10とともに押し上げられる。
押し上げられた蛍光体シート被覆LED10は、吸引部材16によって吸引される。
そして、蛍光体シート被覆LED10は、吸引部材16によって吸引されながら、支持板2に対して相対的に上側(厚み方向一方側)へさらに移動し、その後、粘着層3から剥離する。
なお、必要により、LED剥離工程の前に、紫外線照射、薬液または加熱によって粘着層3の粘着力を低下させてから、蛍光体シート被覆LED10を剥離することもできる。
これによって、図1(e)に示すように、支持シート1から剥離された蛍光体シート被覆LED10を得る。
[実装工程]
実装工程は、LED剥離工程の後、蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する工程であって、蛍光体シート被覆LED10を発光波長や発光効率に応じて選別した後、図1(f)に示すように、選別された蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する。これによって、半導体装置としてのLED装置15を得る。
実装工程は、LED剥離工程の後、蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する工程であって、蛍光体シート被覆LED10を発光波長や発光効率に応じて選別した後、図1(f)に示すように、選別された蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する。これによって、半導体装置としてのLED装置15を得る。
具体的には、蛍光体シート被覆LED10を、LED4のバンプ(図示せず)が基板9の上側の表面に設けられる端子(図示せず)と対向するように、基板9と対向配置させる。つまり、蛍光体シート被覆LED10のLED4を基板9にフリップチップ実装する。
これにより、基板9と、基板9に実装される蛍光体シート被覆LED10とを備えるLED装置15を得る。
その後、必要により、図1(f)の仮想線で示すように、LED装置15に、蛍光体シート被覆LED10を封止する封止保護層20(蛍光体シート5とは異なる封止層)を設ける。これによって、LED装置15の信頼性を向上させることができる。
この蛍光体シート被覆LED10の製造方法によれば、用意工程では、貫通孔21が予め形成されている硬質の支持板2を用意し、LED剥離工程では、上記したピックアップ装置17を利用して、支持板2の貫通孔21に押圧部材14を挿通させて粘着層3を押圧することにより、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離する。
そのため、LED剥離工程の前に、粘着層3の粘着力を低下させる工程を必要とせずとも、LED4を粘着層3から剥離することができる。
その結果、蛍光体シート被覆LED10の製造に要する工数を削減することができる。
また、粘着層3の材料を、紫外線照射、薬液または加熱によって粘着力が低下するような材料だけでなく、広範に選択することができる。
その結果、工程設計の自由度を向上させることができる。
一方、この蛍光体シート被覆LED10の製造方法は、切断工程を備え、切断工程の後に、蛍光体シート被覆LED10を支持シート1から剥離する。つまり、切断工程では、硬質の支持板2を備える支持シート1により、LED4および蛍光体シート5を支持しながら、蛍光体シート5を切断することができる。そのため、寸法安定性に優れる蛍光体シート被覆LED10を得ることができる。
また、蛍光体シート5を硬化させる封止工程の後に、蛍光体シート5を切断する切断工程を実施するので、硬化で生じ得る蛍光体シート5の収縮に起因する寸法誤差を、切断工程においてキャンセルすることができる。そのため、寸法安定性により一層優れる蛍光体シート被覆LED10を得ることができる。
さらに、LED4を封止する蛍光体シート5は、可撓性であるので、切断工程において、高価なダイシング装置だけでなく、比較的安価なカッティング装置を含む種々の切断装置を使用して、蛍光体シート5を円滑に切断することができる。
さらに、この方法のシート配置工程では、Bステージの蛍光体シート5によって、LED4を埋設し、封止工程では、蛍光体シート5を硬化させてCステージにし、Cステージの蛍光体シート5によってLED4を封止する。そのため、BステージのLED4を蛍光体シート5によって容易かつ確実に被覆しながら、Cステージの蛍光体シート5によってLED4を確実に封止することができる。
従って、蛍光体シート被覆LED10は、寸法安定性に優れる。
また、蛍光体シート被覆LED10は、その製造に要する工数が低減されているので、コストを低減することができる。
また、LED装置15は、上記した蛍光体シート被覆LED10を備えているので、コストを低減することができる。
また、この方法における用意工程では、支持シート1を、切断工程において切断の基準となる基準マーク18が予め設けられるように、用意する。
一方、疑似ウエーハを石英基板および粘着シートから剥離した後、ダイシングする特許文献1に記載の方法では、疑似ウエーハをダイシングするときには、疑似ウエーハは、石英基板の上にはなく、上記したような基準マーク18を基準としてダイシングすることができない。
これに対して、上記の方法では、切断工程において、LED4は、支持シート1に支持されているため、このように基準マーク18を基準としてLED4を優れた精度で個片化することができる。
<変形例>
第1実施形態において、図2に示すように、貫通孔21を平面視円形状に形成しているが、その形状は、特に限定されず、例えば、平面視略矩形状、平面視略三角形状など、適宜の形状に形成することができる。
第1実施形態において、図2に示すように、貫通孔21を平面視円形状に形成しているが、その形状は、特に限定されず、例えば、平面視略矩形状、平面視略三角形状など、適宜の形状に形成することができる。
また、 第1実施形態において、図2に示すように、基準マーク18を平面視略三角形状に形成しているが、その形状は、特に限定されず、例えば、平面視略円形状、平面視略矩形状、平面視略X字形状、平面視略T字形状など、適宜の形状に形成することができる。
また、第1実施形態では、まず、切断工程において、複数のLED4、および、複数のLED4の表面を被覆する蛍光体シート5(以下、蛍光体シート被覆LED10’とする。)を、蛍光体シート被覆LED10に個片化し、次いで、LED剥離工程において、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3から剥離したが、切断工程において、蛍光体シート被覆LED10’を個片化せずに、LED剥離工程において、蛍光体シート被覆LED10’を粘着層3から剥離することもできる。
図3は、図1(e)および(e’)に示すLED剥離工程の変形例であって、蛍光体シート被覆LED10’(個片化しない複数の蛍光体シート被覆LED10)を剥離する変形例を示す。
変形例において、ピックアップ装置17は、図3に示すように、複数のLED4に対応して、複数の押圧部材14と複数の吸引部材16とを備え、複数の押圧部材14は連動して同時に上下移動する。
蛍光体シート被覆LED10’を剥離するには、まず、蛍光体シート被覆LED10’をピックアップ装置17に設置して、複数の押圧部材14をそれぞれ複数の貫通孔21に対して下側(厚み方向他方側)から対向配置させる。
そして、複数の貫通孔21に、複数の押圧部材14を下側から同時に挿通する。
すると、粘着層3全体が、支持板2に対して相対的に上側(厚み方向一方側)に押圧され、蛍光体シート被覆LED10’とともに押し上げられる。
押し上げられた蛍光体シート被覆LED10’は、複数の吸引部材16によって吸引される。
そして、蛍光体シート被覆LED10’は、複数の吸引部材16によって吸引されながら、支持板2に対して相対的に上側(厚み方向一方側)へさらに移動し、その後、粘着層3から剥離される。
さらに、第1実施形態では、複数のLED4を蛍光体シート5によって被覆および封止しているが、例えば、単数のLED4を蛍光体シート5によって被覆および封止することもできる。
その場合には、具体的には、第1実施形態で例示される図1(d)に示す切断工程では、LED4の周囲の蛍光体シート5を、所望の寸法となるように、外形加工(トリミング)する。
<第2実施形態>
図4は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第2実施形態を示す工程図を示す。図5は、図4(d)に示す蛍光体シート埋設LEDの平面図を示す。図6は、図4(b)に示す埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
図4は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第2実施形態を示す工程図を示す。図5は、図4(d)に示す蛍光体シート埋設LEDの平面図を示す。図6は、図4(b)に示す埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
なお、第2実施形態において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第1実施形態では、本発明の封止層の一例である封止シートとして、図1(b)に示すように、蛍光体が均一に(少なくとも面方向に均一に)分散される蛍光体シート5を例示しているが、例えば、図4(b)および図5に示すように、封止シートとして、蛍光体を含有する被覆部としての埋設部33と、埋設部33を囲むリフレクタ部34とを備える埋設−リフレクタシート24を例示することもできる。
図5に示すように、埋設部33は、埋設−リフレクタシート24において、複数のLED4を埋設する部分として間隔を隔てて複数設けられており、各埋設部33は、平面視略円形状に形成されている。具体的には、図4(b)に示すように、各埋設部33は、下方に向かって次第に幅狭となる略円錐台形状に形成されている。
埋設部33の下端部の直径(最大長さ)は、LED4の面方向の最大長さより大きく、具体的には、LED4の面方向の最大長さに対して、例えば、200%以上、好ましくは、300%以上、より好ましくは、500%以上であり、例えば、3000%以下である。具体的には、埋設部33の下端部の直径(最大長さ)は、例えば、5mm以上、好ましくは、7mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。
また、埋設部33の上端部の直径(最大長さ)は、下端部の直径(最大長さ)より大きく、具体的には、例えば、7mm以上、好ましくは、10mm以上であり、また、例えば、400mm以下、好ましくは、250mm以下である。
さらに、各埋設部33間の間隔(最小間隔、具体的には、埋設部33の上端部間の間隔)は、例えば、20mm以上、好ましくは、50mm以上であり、また、例えば、1000mm以下、好ましくは、200mm以下である。
埋設部33は、上記した蛍光樹脂組成物から形成されている。埋設部33は、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Bステージで形成されている。
図5に示すように、リフレクタ部34は、埋設−リフレクタシート24の周端部において連続するとともに、各埋設部33の間に配置され、各埋設部33を囲む平面視略格子状に形成されている。
また、リフレクタ部34は、後述する光反射成分を含有する反射樹脂組成物から形成されている。
次に、この埋設−リフレクタシート24の製造方法について、図5および図6を参照して説明する。
この方法では、まず、図6(a)に示すように、プレス装置35を用意する。
プレス装置35は、支持板36と、支持板36の上側に対向配置される型37とを備えている。
支持板36は、例えば、ステンレスなどの金属から、略矩形平板形状に形成されている。
型37は、例えば、ステンレスなどの金属から形成されており、平板部38と、平板部38から下側に突出するように形成される突出部39とを一体的に備えている。
平板部38は、平面視において、支持板36と同一形状に形成されている。
突出部39は、型37において、埋設部33に対応するように、面方向に互いに間隔を隔てて複数設けられている。すなわち、突出部39は、平板部38の下面から下方に向かって次第に幅狭となる略円錐台形状に形成されており、具体的には、正断面視および側断面視において、下方に向かって次第に幅狭となるテーパ形状に形成されている。つまり、突出部39は、埋設部33と同一形状に形成されている。
また、図6(a)に示すように、支持板36の周端部の上面には、スペーサ40が設けられている。スペーサ40は、例えば、ステンレスなどの金属からなり、厚み方向に投影したときに、複数の埋設部33を囲むように、配置されている。また、スペーサ40は、厚み方向に投影したときに、型37に含まれ、具体的には、平板部38の周端部と重なるように、支持板36に配置されている。
スペーサ40の厚みは、後述する剥離シート49の厚みと、突出部39の厚みとの合計厚みとなるように、設定されている。具体的には、スペーサ40の厚みは、例えば、0.3mm以上、好ましくは、0.5mm以上であり、また、例えば、5mm以下、好ましくは、3mm以下である。
なお、プレス装置35は、形状の異なる型37が交換可能に構成されており、具体的には、図6(a)に示す突出部39を有する型37と、図6(c)に示す後述する、突出部39を有しない平板状の型37とが交換可能に構成されている。
また、図6(a)に示すように、支持板36の上面において、スペーサ40の内側には、剥離シート49が載置されている。剥離シート49の周端面は、支持板36の上面において、スペーサ40の内側面に接触するように、形成されている。剥離シート49の厚みは、例えば、10μm以上、好ましくは、30μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、150μm以下である。
次いで、図6(a)に示すプレス装置35において、リフレクタシート42を、剥離シート49の上面に配置する。
リフレクタシート42を剥離シート49の上面に配置するには、例えば、反射樹脂組成物から形成されるリフレクタシート42を剥離シート49の上面に積層する積層方法、例えば、液状の反射樹脂組成物を剥離シート49の上面に塗布する塗布方法などが用いられる。
反射樹脂組成物は、例えば、樹脂と光反射成分とを含有する。
樹脂としては、例えば、熱硬化性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、熱硬化性ウレタン樹脂などの熱硬化性樹脂が挙げられ、好ましくは、熱硬化性シリコーン樹脂、エポキシ樹脂が挙げられる。
光反射成分は、例えば、白色の化合物であって、そのような白色の化合物としては、具体的には、白色顔料が挙げられる。
白色顔料としては、例えば、白色無機顔料が挙げられ、そのような白色無機顔料としては、例えば、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなどの酸化物、例えば、鉛白(炭酸鉛)、炭酸カルシウムなどの炭酸塩、例えば、カオリン(カオリナイト)などの粘土鉱物などが挙げられる。
白色無機顔料として、好ましくは、酸化物、さらに好ましくは、酸化チタンが挙げられる。
そのような酸化チタンは、具体的には、TiO2、(酸化チタン(IV)、二酸化チタン)である。
酸化チタンの結晶構造は、特に限定されず、例えば、ルチル、ブルッカイト(板チタン石)、アナターゼ(鋭錐石)などであり、好ましくは、ルチルである。
また、酸化チタンの結晶系は、特に限定されず、例えば、正方晶系、斜方晶系などであり、好ましくは、正方晶系である。
酸化チタンの結晶構造および結晶系が、ルチルおよび正方晶系であれば、リフレクタ部34が長期間高温に曝される場合でも、光(具体的には、可視光、とりわけ、波長450nm付近の光)に対する反射率が低下することを有効に防止することができる。
光反射成分は、粒子状であり、その形状は限定されず、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。光反射成分の最大長さの平均値(球状である場合には、その平均粒子径)は、例えば、1nm以上1000nm以下である。最大長さの平均値は、レーザー回折散乱式粒度分布計を用いて測定される。
光反射成分の配合割合は、樹脂100質量部に対して、例えば、30質量部以上、好ましくは、50質量部以上であり、また、例えば、200質量部以下、好ましくは、100質量部以下である。
上記した光反射成分は、樹脂中に均一に分散混合される。
また、反射樹脂組成物には、さらに、上記した充填剤を添加することもできる。つまり、充填剤を、光反射成分(具体的には、白色顔料)と併用することができる。
充填剤は、上記した白色顔料を除く、公知の充填剤が挙げられ、具体的には、シリコーン粒子などの有機微粒子、例えば、シリカ、タルク、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの無機微粒子が挙げられる。
充填剤の添加割合は、充填剤および光反射成分の総量が、樹脂100質量部に対して、例えば、400質量部以上、好ましくは、500質量部以上、より好ましくは、600質量部以上となるように、また、例えば、2500質量部以下、好ましくは、2000質量部以下、より好ましくは、1600質量部以下となるように、調整される。
積層方法では、反射樹脂組成物は、上記した樹脂と、光反射成分と、必要により添加される充填剤とを配合して、均一混合することにより、Aステージとして調製される。
続いて、積層方法では、Aステージの反射樹脂組成物を、図示しない離型シートの表面に、例えば、キャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどの塗布方法によって塗布し、その後、加熱してBステージあるいはCステージとする。離型シートとしては、上記した離型シート6と同様のものが挙げられる。
あるいは、Aステージの反射樹脂組成物を、例えば、図示しない離型シートの表面に、スクリーン印刷などによって上記した塗布方法によって塗布し、その後、加熱することにより、BステージあるいはCステージのリフレクタシート42を形成する。
その後、リフレクタシート42を剥離シート49に転写する。続いて、図示しない離型シートを剥離する。
一方、塗布方法では、上記したAステージの反射樹脂組成物を、剥離シート49の上面に、スクリーン印刷などによって塗布し、その後、加熱することにより、Bステージのリフレクタシート42を形成する。
リフレクタシート42の厚みは、例えば、0.3mm以上、好ましくは、0.5mm以上であり、また、例えば、5mm以下、好ましくは、3mm以下である。
続いて、図6(a)の矢印および図6(b)に示すように、プレス装置35によってリフレクタシート42をプレスする。
具体的には、型37を支持板36に対して押し下げる。詳しくは、突出部39が、リフレクタシート42を厚み方向に貫通するように、型37を下側に押し下げる。併せて、型37の平板部38の周端部を、スペーサ40の上面に当接させる。
これにより、リフレクタシート42には、図6(b)に示すように、厚み方向を貫通し、突出部39に対応する形状の貫通孔41が形成される。
型37の押し下げにおいて、反射樹脂組成物がBステージの熱硬化性樹脂を含有する場合には、型37に予めヒータ(図示せず)を内蔵させて、かかるヒータによって、リフレクタシート42を加熱することもできる。これによって、反射樹脂組成物を完全硬化(Cステージ化)させる。
加熱温度は、例えば、80℃以上、好ましくは、100℃以上であり、また、例えば、200℃以下、好ましくは、180℃以下である。
これによって、剥離シート49の上に、リフレクタ部34が形成される。
その後、図6(c)に示すように、プレス装置35のプレス状態を解放する。具体的には、型37を引き上げる。
続いて、平板部38および突出部39を備える型37を、平板部38のみを備える型37と交換する。
これとともに、蛍光体シート5を、リフレクタ部34の上に配置する。
具体的には、蛍光体シート5を、リフレクタ部34の上面に、貫通孔41を被覆するように、載置する。
蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Bステージの蛍光体シート5をリフレクタ部34の上に配置する。蛍光体シート5は、Bステージである場合には、その平板形状がある程度維持されるので、貫通孔41内に落ち込むことなく、貫通孔41を被覆するように、リフレクタ部34の上面に載置される。
また、蛍光体シート5は、リフレクタ部34(具体的には、リフレクタシート42の反射樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Cステージのリフレクタ部34)に比べて柔軟に形成されている。具体的には、蛍光体シート5は、次のプレス(図6(d))によって、変形可能な柔らかさである一方、リフレクタ部34は、次のプレスによって、変形不可能な硬さに形成されている。
次いで、図6(d)に示すように、プレス装置35によって、蛍光体シート5をプレスする。具体的には、平板部38からなる型37を、支持板36に向けて押し下げる。併せて、平板部38の周端部を、スペーサ40の上面に当接させる。また、平板部38の下面が、リフレクタ部34の上面に接触する。
これによって、比較的柔軟な蛍光体シート5は、平板部38によって上側から押圧されて、貫通孔41内に充填される。一方、比較的硬いリフレクタ部34は、変形することなく、その貫通孔41に埋設部33を収容する。
また、硬化性樹脂が熱硬化性樹脂である場合には、平板部38に内蔵されるヒータによって、蛍光体シート5を加熱することもできる。
これによって、埋設部33が、リフレクタ部34の貫通孔41内に形成される。
これによって、支持板36および型37の間において、埋設部33およびリフレクタ部34を備える埋設−リフレクタシート24が得られる。
図6(e)に示すように、その後、型37を引き上げ、続いて、埋設−リフレクタシート24を剥離シート49から剥離する。
次に、図6(e)に示す埋設−リフレクタシート24を用いて、蛍光体シート被覆LED10およびLED装置15を製造する方法について、図4を参照して、上記実施形態と異なる工程を詳述する。
[シート配置工程]
図4(b)の上側図に示すように、埋設−リフレクタシート24を、埋設部33が下方に向かって次第に幅狭となるテーパ形状となるように、支持シート1の上に配置する。
[シート配置工程]
図4(b)の上側図に示すように、埋設−リフレクタシート24を、埋設部33が下方に向かって次第に幅狭となるテーパ形状となるように、支持シート1の上に配置する。
すなわち、複数の埋設部33のそれぞれを、複数のLED4のそれぞれに対して対向配置させる。具体的には、各埋設部33を、平面視において、LED4の中心と対向するとともに、リフレクタ部34の内側に間隔が隔てられるように、配置する。
続いて、図4(c)に示すように、埋設−リフレクタシート24をプレスする。これにより、LED4が、その上面および側面が埋設部33に被覆されるように、埋設部33に埋設される。
[封止工程]
図4(d)に示すように、封止工程では、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、蛍光体シート5を硬化させる。これによって、埋設部33が完全硬化する。これによって、LED4が埋設部33によって封止される。
[切断工程]
図4(d)の破線で示すように、切断工程では、リフレクタ部34を、厚み方向に沿って切断する。例えば、図5の1点破線が参照されるように、リフレクタ部34を、例えば、各埋設部33を囲む平面視略矩形状に、蛍光体シート5を切断する。
[封止工程]
図4(d)に示すように、封止工程では、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、蛍光体シート5を硬化させる。これによって、埋設部33が完全硬化する。これによって、LED4が埋設部33によって封止される。
[切断工程]
図4(d)の破線で示すように、切断工程では、リフレクタ部34を、厚み方向に沿って切断する。例えば、図5の1点破線が参照されるように、リフレクタ部34を、例えば、各埋設部33を囲む平面視略矩形状に、蛍光体シート5を切断する。
切断工程によって、1つのLED4と、LED4を埋設する埋設部33と、埋設部33の周りに設けられるリフレクタ部34とを備える蛍光体シート被覆LED10を、支持シート1に密着する状態で得る。つまり、蛍光体シート被覆LED10には、リフレクタ部34が設けられている。つまり、蛍光体シート被覆LED10は、リフレクタ部付蛍光体シート被覆LEDである。
[LED剥離工程]
LED剥離工程において、図4(e)に示すように、リフレクタ部34が設けられた蛍光体シート被覆LED10を、支持シート1から剥離する。
[実装工程]
実装工程において、リフレクタ部34が設けられた蛍光体シート被覆LED10を発光波長や発光効率に応じて選別した後、図4(f)に示すように、選別された蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する。これによって、LED装置15を得る。
[LED剥離工程]
LED剥離工程において、図4(e)に示すように、リフレクタ部34が設けられた蛍光体シート被覆LED10を、支持シート1から剥離する。
[実装工程]
実装工程において、リフレクタ部34が設けられた蛍光体シート被覆LED10を発光波長や発光効率に応じて選別した後、図4(f)に示すように、選別された蛍光体シート被覆LED10を基板9に実装する。これによって、LED装置15を得る。
これにより、基板9と、基板9に実装され、リフレクタ部34が設けられる蛍光体シート被覆LED10とを備えるLED装置15を得る。
そして、この第2実施形態によれば、埋設−リフレクタシート24は、LED4を埋設する埋設部33と、光反射成分を含有し、埋設部33を囲むようにして形成されるリフレクタ部34とを備えるので、LED4から発光される光をリフレクタ部34によって反射させることができる。そのため、LED装置15の発光効率を向上させることができる。
<変形例>
第2実施形態では、埋設部33を、蛍光体を含有する蛍光樹脂組成物から形成しているが、例えば、蛍光体を含有しない封止樹脂組成物から形成することもできる。
第2実施形態では、埋設部33を、蛍光体を含有する蛍光樹脂組成物から形成しているが、例えば、蛍光体を含有しない封止樹脂組成物から形成することもできる。
また、図6(c)に示す平板部38と蛍光体シート5との間に離型シート6(図4(b)の仮想線参照)を設け、上面に離型シート6が積層された埋設−リフレクタシート24を形成し、その後、図4(c)の仮想線で示すように、かかる埋設−リフレクタシート24を、例えば、複数のLED4および支持シート1に対して、例えば、平板プレスすることもできる。
<第3実施形態>
図7は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第3実施形態に用いられる埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
図7は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第3実施形態に用いられる埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
なお、第3実施形態において、第2実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第2実施形態の埋設−リフレクタシート24の製造方法において、図6(c)および図6(d)に示すように、蛍光体シート5から埋設部33を形成しているが、例えば、図7(c)に示すように、蛍光体シート5を用いることなく、蛍光樹脂組成物のワニスを、貫通孔41にポッティングすることによって、埋設部33を形成することもできる。
具体的には、まず、蛍光樹脂組成物をワニスとして調製する。具体的には、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Aステージのワニスを調製する。これによって、Aステージの蛍光樹脂組成物が貫通孔41内に充填される。
その後、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Aステージの蛍光樹脂組成物をBステージ化する。
第3実施形態によっても、第2実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<第4実施形態>
図8は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第4実施形態を示す工程図を示す。
図8は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第4実施形態を示す工程図を示す。
なお、第4実施形態において、第2実施形態および第3実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第2実施形態において、図4(b)および図5に示すように、平面視において、埋設部33の下端部を、LED4より大きく形成しているが、例えば、図8(b)に示すように、埋設部33の下端部と、LED4とを、同一寸法に形成することもできる。
[LED配置工程]
例えば、埋設部33は、下方に向かって次第に幅狭となる略四角錐台形状に形成されている。
例えば、埋設部33は、下方に向かって次第に幅狭となる略四角錐台形状に形成されている。
図8(b)に示す埋設部33を形成するには、図6および図7が参照される突出部39を、平板部38の下面から下方に向かって次第に幅狭となる略四角錐台形状に形成する。
また、図8(b)の1点破線で示すように、厚み方向に投影したときに、埋設部33の下端部と、LED4とは、互いに重複し、具体的には、平面視において、埋設部33の下端部の周端縁と、LED4の周端縁とが、同一位置に形成されるように、埋設−リフレクタシート24を、LED4を含む粘着層3の上に配置する。
第4実施形態によっても、第2実施形態および3実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<第5実施形態>
図9は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第5実施形態を示す工程図を示す。図10は、図9(b)に示す埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
図9は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第5実施形態を示す工程図を示す。図10は、図9(b)に示す埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
なお、第5実施形態において、第2実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第2実施形態において、図4(b)に示すように、埋設−リフレクタシート24における埋設部33を、下方に向かって次第に幅狭となる略円錐台形状に形成しているが、例えば、図9(b)に示すように、上下方向(厚み方向)に延びる略円柱形状に形成することができる。
このような埋設部33を形成するには、図10(a)および図10(b)に示す打抜装置55を用いる。
打抜装置55は、支持板56と、支持板56の上側に対向配置される型57とを備えている。
支持板56は、例えば、ステンレスなどの金属から、略矩形平板形状に形成されており、また、支持板56には、厚み方向を貫通する貫通孔53が形成されている。
貫通孔53は、平面視略円形状に形成されている。
型57は、平板部58と、平板部58から下側に突出するように形成される突出部59とを一体的に備えている。
平板部58は、図6(a)に示す平板部38と同一形状に形成される。
突出部59は、型57において、埋設部33(図10(d)参照)に対応するように、面方向に互いに間隔を隔てて複数設けられている。突出部59は、平面視において、貫通孔53と同一形状および同一寸法に形成されており、具体的には、略円柱形状に形成されている。突出部59は、埋設部33(図10(d)参照)と同一形状に形成されている。つまり、突出部59は、正断面視および側断面視において、略矩形状に形成されている。
突出部59は、型57において、埋設部33(図10(d)参照)に対応するように、面方向に互いに間隔を隔てて複数設けられている。突出部59は、平面視において、貫通孔53と同一形状および同一寸法に形成されており、具体的には、略円柱形状に形成されている。突出部59は、埋設部33(図10(d)参照)と同一形状に形成されている。つまり、突出部59は、正断面視および側断面視において、略矩形状に形成されている。
これによって、打抜装置55は、型57の押し下げによって、突出部59が貫通孔53に挿入可能に構成されている。
貫通孔53の孔径および突出部59の直径は、例えば、5mm以上、好ましくは、7mm以上であり、また、例えば、300mm以下、好ましくは、200mm以下である。
また、支持板56の周端部の上面には、スペーサ40が設けられている。スペーサ40は、平面視において、貫通孔53を囲むように、支持板56の周端部に、平面視略枠形状に配置されている。
そして、図10(a)および図10(b)に示す打抜装置55によって埋設−リフレクタシート24を形成するには、まず、図10(a)に示すように、リフレクタシート42を、支持板56の上に配置する。具体的には、リフレクタシート42を、複数の貫通孔53を被覆するように、支持板56の上面に載置する。
次いで、図10(b)に示すように、打抜装置55を用いて、リフレクタシート42を打ち抜く。
具体的には、型37を押し下げることによって、突出部59がリフレクタシート42を打ち抜く。
これによって、リフレクタシート42には、突出部59に対応する形状の貫通孔41が形成される。
これによって、支持板56の上に、リフレクタ部34が形成される。
次いで、図10(c)に示すように、型57を引き上げる。
その後、形成されたリフレクタ部34を、支持板36と、平板部38からなる型37とを備え、剥離シート49が設けられるプレス装置35に設置する。
次いで、蛍光体シート5を、リフレクタ部34の上に配置する。
次いで、図10(c)の矢印および図10(d)に示すように、プレス装置35によって、蛍光体シート5をプレスする。これによって、埋設部33を、リフレクタ部34の貫通孔41内に形成する。
これによって、支持板36および型37の間において、埋設部33およびリフレクタ部34を備える埋設−リフレクタシート24が得られる。
その後、型37を引き上げ、続いて、図10(e)に示すように、埋設−リフレクタシート24を剥離シート49から剥離する。
第5実施形態によっても、第2実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<第6実施形態>
図11は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第6実施形態に用いられる埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
図11は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第6実施形態に用いられる埋設−リフレクタシートの製造方法の工程図を示す。
なお、第6実施形態において、第5実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第5実施形態の埋設−リフレクタシート24の製造方法において、図10(c)および図10(d)に示すように、蛍光体シート5から埋設部33を形成しているが、図11(c)に示すように、蛍光体シート5を用いることなく、蛍光樹脂組成物のワニスを、貫通孔41にポッティングすることによって、埋設部33を形成することもできる。
具体的には、図11(b)に示すリフレクタ部34を打抜装置55から取り出し、続いて、図11(c)に示すように、剥離シート49の上面に配置する。続いて、蛍光樹脂組成物のワニスを、貫通孔41内にポッティングする。
第6実施形態によっても、第5実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<第7実施形態>
図12は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第7実施形態を示す工程図を示す。
図12は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第7実施形態を示す工程図を示す。
なお、第7実施形態において、第5実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第5実施形態において、図9(c)に示すように、被覆部として、LED4を埋設する埋設部33を例示しているが、例えば、図12(c)に示すように、LED4の上面を被覆する被覆部43を例示することもできる。
被覆部43は、図12(b)に示すように、被覆−リフレクタシート44において、リフレクタ部34に囲まれるように設けられている。被覆−リフレクタシート44において、被覆部43は、図9(b)に示す埋設部33と同一形状をなし、さらに、図12(b)の1点破線で示すように、LED4と同一寸法に形成されている。
例えば、図12(b)に示すように、被覆部43は、厚み方向に投影したときに、LED4と、互いに重複し、具体的には、平面視において、被覆部43の周端縁と、LED4の周端縁とが、同一位置に形成されるように、LED4を被覆部43の上面に載置する。
[上面被覆工程]
第7実施形態では、図9(c)に示すシート配置工程における埋設工程に代えて、図12(c)に示す上面被覆工程を実施する。上面被覆工程の条件については、埋設工程のそれと同様である。
第7実施形態では、図9(c)に示すシート配置工程における埋設工程に代えて、図12(c)に示す上面被覆工程を実施する。上面被覆工程の条件については、埋設工程のそれと同様である。
なお、図12(c)に示す上面被覆工程において、被覆部43は、LED4の上面を被覆する。被覆部43は、LED4のプレスによって、LED4が圧入されて、面方向外側にわずかに膨出するが、その膨出の程度は、微小であることから、図12(c)において、プレス後の被覆部43とLED4との左右方向長さを同一長さで示している。
[硬化工程]
第7実施形態では、図9(d)に示す封止工程に代えて、図12(d)に示す硬化工程を実施する。
第7実施形態では、図9(d)に示す封止工程に代えて、図12(d)に示す硬化工程を実施する。
硬化工程では、被覆部43を硬化させる。硬化工程の条件は、上記した封止工程のそれと同様である。
第7実施形態によっても、第5実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<第8実施形態>
図13は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第8実施形態を示す工程図を示す。
図13は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第8実施形態を示す工程図を示す。
なお、第8実施形態において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第1実施形態において、図1(c)に示すように、シート配置工程において、LED4を側面および上面を蛍光体シート5によって被覆する埋設工程を実施しているが、例えば、埋設工程に代えて、図13(c)に示すように、LED4の側面のみを蛍光体シート5によって被覆する側面被覆工程を実施することもできる。また、封止工程に代えて、硬化工程を実施することもできる。
[シート配置工程]
図13(b)に示すように、用意した蛍光体シート5の厚みを、LED4の厚みより薄く設定し、LED4の厚みに対して、例えば、95%以下、好ましくは、90%以下に、また、例えば、10%以上に設定する。蛍光体シート5の厚みを、具体的には、例えば、1000μm以下、好ましくは、800μm以下に、また、例えば、30μm以上、好ましくは、50μm以上に設定する。
[シート配置工程]
図13(b)に示すように、用意した蛍光体シート5の厚みを、LED4の厚みより薄く設定し、LED4の厚みに対して、例えば、95%以下、好ましくは、90%以下に、また、例えば、10%以上に設定する。蛍光体シート5の厚みを、具体的には、例えば、1000μm以下、好ましくは、800μm以下に、また、例えば、30μm以上、好ましくは、50μm以上に設定する。
[側面被覆工程]
図13(c)に示すように、プレスによって、離型シート6と、離型シート6の下面に積層される蛍光体シート5とからなる積層体(図13(b)の上側図参照)を、離型シート6の下面が各LED4の上面に接触するように、LED4を含む支持シート1に圧入する。
図13(c)に示すように、プレスによって、離型シート6と、離型シート6の下面に積層される蛍光体シート5とからなる積層体(図13(b)の上側図参照)を、離型シート6の下面が各LED4の上面に接触するように、LED4を含む支持シート1に圧入する。
また、複数のLED4に対して圧入された蛍光体シート5は、その上面が、各LED4の上面と面一に形成される。また、蛍光体シート5の下面も、各LED4の下面と面一に形成される。つまり、複数のLED4が圧入された蛍光体シート5の厚みと、各LED4の厚みとが、同一になる。
また、LED4の下面の一部を形成するバンプと、LED4の上面とが、ともに露出する一方、LED4の側面が、蛍光体シート5によって被覆されている。
[硬化工程]
硬化工程では、蛍光体シート5を硬化させる。硬化工程の条件は、上記した封止工程のそれと同様である。
[切断工程]
図13(d)の破線で示すように、上側から、LED4の位置を確認しながら、蛍光体シート5を切断する。具体的には、蛍光体シート5を、例えば、カメラなどによって、LED4を上側から視認しながら、LED4の位置を確認する。また、図5の破線が参照されるように、平面視において、LED4を囲む領域を区画する切り目8が形成されるように、蛍光体シート5を切断する。
[硬化工程]
硬化工程では、蛍光体シート5を硬化させる。硬化工程の条件は、上記した封止工程のそれと同様である。
[切断工程]
図13(d)の破線で示すように、上側から、LED4の位置を確認しながら、蛍光体シート5を切断する。具体的には、蛍光体シート5を、例えば、カメラなどによって、LED4を上側から視認しながら、LED4の位置を確認する。また、図5の破線が参照されるように、平面視において、LED4を囲む領域を区画する切り目8が形成されるように、蛍光体シート5を切断する。
なお、LED4を視認しながら、さらに、基準マーク18(図2参照)を基準として、蛍光体シート5を切断することもできる。
[LED剥離工程]
図13(e)において、LED剥離工程では、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3の上面から剥離する。
[LED剥離工程]
図13(e)において、LED剥離工程では、蛍光体シート被覆LED10を粘着層3の上面から剥離する。
第8実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
さらに、側面被覆工程において、LED4を、少なくとも上面が蛍光体シート5から露出されるように、蛍光体シート5によって側面を被覆しているので、シート配置工程後の切断工程において、上面が露出されるLED4を視認しながら、そのLED4に対応して蛍光体シート5を精度よく切断することができる。そのため、得られる蛍光体シート被覆LED10は、寸法安定性に優れる。その結果、かかる蛍光体シート被覆LED10を備えるLED装置15は、発光安定性に優れる。
<第9実施形態>
図14は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第9実施形態に用いられるディスペンサの斜視図を示す。
図14は、本発明の封止層被覆半導体素子の製造方法の第9実施形態に用いられるディスペンサの斜視図を示す。
なお、第9実施形態において、第1実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
第1実施形態では、図1(b)に示すように、本発明の層配置工程の一例であるシート配置工程において、本発明の封止層の一例である蛍光体層として、予め成形された蛍光体シート5を例示している。しかし、図14が参照されるように、例えば、蛍光樹脂組成物をワニスとして調製し、ワニスを支持シート1の上に、複数のLED4を被覆するように、直接塗布して、封止層としての蛍光体層25を形成することもできる。つまり、蛍光体層25を、蛍光樹脂組成物のワニスから形成することができる。
蛍光体層25を形成するには、まず、ワニスをLED4を被覆するように、支持シート1の上に塗布する。
ワニスを塗布するには、例えば、ディスペンサ、アプリケータ、スリットダイコータなどの塗布機が用いられる。好ましくは、図14に示すディスペンサ26が用いられる。
図14に示すように、ディスペンサ26は、導入部27と、塗布部28とを一体的に備える。
導入部27は、上下方向に延びる略円筒形状に形成されており、その下端部は、塗布部28に接続されている。
塗布部28は、左右方向および上下方向に延びる平板形状に形成され、また、上下方向に長い側面視略矩形状に形成されている。塗布部28の上端部には、導入部27が接続されている。塗布部28の下端部は、その前端部および後端部が切り欠かれた、側断面視先細り形状(テーパ)に形成されている。また、塗布部28の下端面は、粘着層3の上面およびLED4の上面に対して、押付可能に構成されている。さらに、塗布部28の内部には、導入部27から導入されるワニスが下流側(下側)に向かうに従って左右方向に広がる幅広の流路(図示せず)が設けられている。
また、ディスペンサ26は、面方向に延びる支持シート1に対して、相対的に前後方向に移動可能に構成されている。
このディスペンサ26を用いて、ワニスを支持シート1に塗布するには、塗布部28を複数のLED4の上面に対向配置し(押付け)ながら、ワニスを導入部27に供給する。これとともに、ディスペンサ26を複数のLED4に対して相対的に後側に移動させる。これによって、ワニスは、導入部27から塗布部28に導入され、続いて、塗布部28の下端部から支持シート1およびLED4に対して幅広状に供給される。また、ディスペンサ26の複数のLED4に対する相対的に後側への移動によって、ワニスは、支持シート1の上面において、複数のLED4を被覆するように、前後方向に延びる帯形状に塗布される。
なお、ワニスは、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、Aステージ状態として調製されており、また、例えば、塗布部28から支持シート1に供給されたときに、その箇所から、面方向外側に流れ出さない、つまり、その箇所に留まるような粘性を有する。具体的には、ワニスの25℃、1気圧の条件下における粘度は、例えば、1,000mPa・s以上、好ましくは、4,000mPa・s以上であり、また、例えば、1,000,000mPa・s以下、好ましくは、100,000mPa・s以下である。なお、粘度は、ワニスを25℃に温度調節し、E型コーンを用いて、回転数99s−1で測定される。
ワニスの粘度が上記下限以上であれば、ワニスが面方向外側に流れ出すことを有効に防止できる。そのため、ダム部材などを支持シート1(具体的には、複数のLED4の周囲)に別途設ける必要がなくなるので、プロセスの簡便化を図ることができ、ワニスを、ディスペンサ26によって支持シート1に簡易かつ確実に所望の厚みおよび所望の形状で塗布することができる。
一方、ワニスの粘度が上記上限以下であれば、塗布性(ハンドリング性)を向上させることができる。
その後、蛍光樹脂組成物が硬化性樹脂を含有する場合には、塗布されたワニスをBステージ化(半硬化)する。
これによって、Bステージの蛍光体層25を、支持シート1の上(粘着層3の上面)に、複数のLED4を被覆するように、形成する。
第9実施形態によっても、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
<変形例>
第1実施形態〜第9実施形態では、複数のLED4を蛍光体シート5によって被覆しているが、例えば、単数のLED4を蛍光体シート5によって被覆することもできる。
<変形例>
第1実施形態〜第9実施形態では、複数のLED4を蛍光体シート5によって被覆しているが、例えば、単数のLED4を蛍光体シート5によって被覆することもできる。
その場合には、具体的には、第1実施形態で例示される図1(d)に示す切断工程では、LED4の周囲の蛍光体シート5を、所望の寸法となるように、外形加工(トリミング)する。
第1実施形態〜第8実施形態では、本発明における半導体素子、封止層、封止層被覆半導体素子および半導体装置として、それぞれ、LED4、蛍光体シート5、蛍光体シート被覆LED10およびLED装置15を一例として説明しているが、例えば、図示しないが、それらを、電子素子、封止シート、封止層被覆電子素子および電子装置とすることもできる。
電子素子は、電気エネルギーを、光以外のエネルギー、具体的には、信号エネルギーなどに変換する半導体素子であって、具体的には、トランジスタ、ダイオードなどが挙げられる。電子素子のサイズは、用途および目的によって適宜選択される。
封止シートは、硬化性樹脂を必須成分として含有し、充填剤を任意成分として含有する封止樹脂組成物から形成されている。充填剤としては、さらに、カーボンブラックなどの黒色顔料などもが挙げられる。充填剤の配合割合は、硬化性樹脂100質量部に対して、例えば、5質量部以上、好ましくは、10質量部以上であり、また、例えば、99質量部以下、好ましくは、95質量部以下でもある。
封止シートは、第1実施形態の図1(d)などで例示されるように、各電子素子に対応するように切断されて、各電子素子(具体的には、各電子素子の少なくとも側面)を被覆する保護層として形成される。
封止シートの光透過性以外の物性(具体的には、圧縮弾性率など)は、第1実施形態〜第8実施形態の蛍光体シート5のそれと同一である。
1 支持シート
2 支持板
3 粘着層
4 LED
5 蛍光体シート
9 基板
10 蛍光体シート被覆LED
10’蛍光体シート被覆LED
14 押圧部材
15 LED装置
18 基準マーク
21 貫通孔
24埋設−リフレクタシート
25蛍光体層
33埋設部
34リフレクタ部
43被覆部
44被覆−リフレクタシート
2 支持板
3 粘着層
4 LED
5 蛍光体シート
9 基板
10 蛍光体シート被覆LED
10’蛍光体シート被覆LED
14 押圧部材
15 LED装置
18 基準マーク
21 貫通孔
24埋設−リフレクタシート
25蛍光体層
33埋設部
34リフレクタ部
43被覆部
44被覆−リフレクタシート
Claims (9)
- 厚み方向を貫通する貫通孔が形成される硬質の支持板と、前記支持板の厚み方向一方側の表面に前記貫通孔を被覆するように積層される粘着層とを備える支持シートを用意する用意工程、
半導体素子を、前記貫通孔と前記厚み方向に対向する前記粘着層の前記厚み方向一方側の表面に配置する半導体素子配置工程、
封止層によって前記半導体素子を被覆して、前記半導体素子と、前記半導体素子を被覆する前記封止層とを備える封止層被覆半導体素子を得る半導体素子被覆工程、および、
押圧部材を前記貫通孔に前記厚み方向他方側から挿通させて、前記貫通孔に対応する前記粘着層を前記支持板に対して相対的に前記厚み方向一方側に押圧することによって、前記封止層被覆半導体素子を前記厚み方向一方側に相対移動させながら、前記封止層被覆半導体素子を前記粘着層から剥離する半導体素子剥離工程
を備えることを特徴とする、封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 前記封止層は、封止シートから形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。
- 前記半導体素子被覆工程は、
前記半導体素子配置工程の後に、硬化性樹脂を含有する封止樹脂組成物から形成される前記封止層を、前記半導体素子を埋設するように、前記支持シートの前記厚み方向一方側に配置する層配置工程、
前記封止層を硬化させて、可撓性の前記封止層によって前記半導体素子を封止する封止工程、および、
前記封止工程の後に、可撓性の前記封止層を、前記半導体素子に対応して切断することにより、前記半導体素子と、前記半導体素子を被覆する前記封止層とを備える前記封止層被覆半導体素子を得る切断工程
を備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 前記層配置工程では、Bステージの前記封止層によって、前記半導体素子を埋設し、
前記封止工程では、前記封止層を硬化させてCステージにし、Cステージの前記封止層によって前記半導体素子を封止する
ことを特徴とする、請求項3に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 前記用意工程では、前記支持シートを、切断工程において切断の基準となる基準マークが予め設けられるように、用意する
ことを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 前記半導体素子が、LEDであり、
前記封止層が、蛍光体層である
ことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 前記封止層は、
前記半導体素子を被覆する被覆部と、
光反射成分を含有し、前記被覆部を囲むようにして形成されるリフレクタ部と
を備えることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の封止層被覆半導体素子の製造方法により得られることを特徴とする、封止層被覆半導体素子。
- 基板と、
前記基板に実装される請求項8に記載の封止層被覆半導体素子と
を備えることを特徴とする、半導体装置。
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