JP2012216601A - 電子装置の製造方法及び電子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機能素子が形成されたチップ15を支持体に仮固定するとともに、絶縁部材17を前記支持体に仮固定する。支持体に仮固定したチップ15及び絶縁部材17を、樹脂層16で被覆する。チップ15、絶縁部材17、及び樹脂層16を、支持体から引き離す。絶縁部材17が露出するまで樹脂層16を研磨することにより、チップ15、絶縁部材17、及び樹脂層16からなる再構築ウエハ10を得る。再構築ウエハ10の絶縁部材17に貫通孔を形成し、貫通孔内に貫通電極18を形成するとともに、再構築ウエハ10の上に、チップ15と貫通電極18とを接続する配線21を含む再配線層20を形成する。
【選択図】図1
Description
機能素子が形成されたチップを支持体に仮固定するとともに、絶縁部材を前記支持体に仮固定する工程と、
前記支持体に仮固定した前記チップ及び前記絶縁部材を、樹脂層で被覆する工程と、
前記チップ、前記絶縁部材、及び前記樹脂層を、前記支持体から引き離す工程と、
前記絶縁部材が露出するまで前記樹脂層を研磨することにより、前記チップ、前記絶縁部材、及び前記樹脂層からなる再構築ウエハを得る工程と、
前記再構築ウエハの前記絶縁部材に貫通孔を形成し、該貫通孔内に貫通電極を形成するとともに、前記再構築ウエハの上に、前記チップと前記貫通電極とを接続する配線を含む再配線層を形成する工程と
を有する電子装置の製造方法が提供される。
機能素子が形成されたチップ、絶縁部材、及び樹脂層が同一面内に配置され、前記チップ及び前記絶縁部材が前記樹脂層によって相互に固定されており、該樹脂層が無機材料のフィラーを含有している再構築ウエハと、
前記絶縁部材を、前記再構築ウエハの厚さ方向に貫通する貫通電極と、
前記再構築ウエハの上に形成され、前記チップと前記貫通電極とを接続する配線を含む再配線層と
を有する電子装置が提供される。
図1に、実施例1による電子装置の断面図を示す。半導体のベアチップ(ダイ)15、樹脂層16、及び絶縁部材17により、再構築ウエハ10が構成されている。これらは、同一面内に配置される。具体的には、樹脂層16の一方の表面と、ベアチップ15の回路形成面とが、再構築ウエハ10の一方の平坦な表面を画定し、樹脂層16の他方の表面と、ベアチップ15の裏面とが、再構築ウエハ10の他方の平坦な表面を画定する。絶縁部材17は、樹脂層16内に埋め込まれており、樹脂層16の一方の表面から他方の表面まで達している。
図4に、実施例2による電子装置の断面図を示す。以下の説明では、図1に示した実施例1との相違点に着目し、同一の構成については説明を省略する。
図6に、実施例3による電子装置の断面図を示す。以下の説明では、図1に示した実施例1との相違点に着目し、同一の構成については説明を省略する。
15 ベアチップ
15A 電極パッド
16 樹脂層(モールド樹脂)
16A フィラー
17 絶縁部材
17A 貫通孔
18 貫通電極
20 上面側再配線層
21 配線
22 絶縁膜
25 外部接続端子
26 保護膜
30 裏面側再配線層
31 配線
32 絶縁膜
35 バンプ
40 シード層
41 感光性樹脂膜
41A 開口
43 シード層
44 フォトレジストパターン
44A 開口
45 配線
50 支持体
51 粘着テープ
61 感光性樹脂膜
65 配線
Claims (6)
- 機能素子が形成されたチップを支持体に仮固定するとともに、絶縁部材を前記支持体に仮固定する工程と、
前記支持体に仮固定した前記チップ及び前記絶縁部材を、樹脂層で被覆する工程と、
前記チップ、前記絶縁部材、及び前記樹脂層を、前記支持体から引き離す工程と、
前記絶縁部材が露出するまで前記樹脂層を研磨することにより、前記チップ、前記絶縁部材、及び前記樹脂層からなる再構築ウエハを得る工程と、
前記再構築ウエハの前記絶縁部材に貫通孔を形成し、該貫通孔内に貫通電極を形成するとともに、前記再構築ウエハの上に、前記チップと前記貫通電極とを接続する配線を含む再配線層を形成する工程と
を有する電子装置の製造方法。 - 前記再配線層を形成する工程は、
前記再構築ウエハの一方の面に形成する再配線層の1層目の配線を形成する工程と、最上の配線を形成する工程との間に、他方の面の再配線層の少なくとも一部の層を形成する請求項1に記載の電子装置の製造方法。 - 前記貫通電極及び前記再配線層を形成する工程において、前記貫通電極を形成した後、前記再構築ウエハ及び前記貫通電極の上に、前記再配線層を形成する請求項1または2に記載の電子装置の製造方法。
- 前記貫通電極及び前記再配線層を形成する工程は、
前記再構築ウエハの上に、前記再配線層を形成する工程と、
前記絶縁部材及び前記再配線層を貫通する前記貫通孔を形成し、該貫通孔内に前記貫通電極を形成する工程と、
前記再配線層及び前記貫通電極の上に、該再配線層の最上の配線を形成する工程と
を有する請求項1または2に記載の電子装置の製造方法。 - 前記樹脂層は、無機材料のフィラーを含有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法。
- 機能素子が形成されたチップ、絶縁部材、及び樹脂層が同一面内に配置され、前記チップ及び前記絶縁部材が前記樹脂層によって相互に固定されており、該樹脂層が無機材料のフィラーを含有している再構築ウエハと、
前記絶縁部材を、前記再構築ウエハの厚さ方向に貫通する貫通電極と、
前記再構築ウエハの上に形成され、前記チップと前記貫通電極とを接続する配線を含む再配線層と
を有する電子装置。
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