JP2013136510A - 電極を備えた透明基材 - Google Patents

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Abstract

【課題】電極を備えた透明基材を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの金属酸化物に基づいた透明な導電層(3)を含んで成る電極を備えたガラス基材(1)であって、該層が、少なくとも3nm、特には少なくとも5nmのRMS粗さ、及び/又は少なくとも50nmのこの粗さの平均パターン寸法を有することを特徴とする、電極を備えたガラス基材(1)に関する。
【選択図】図2a

Description

本発明は、特に電極を備えたガラスから作製された透明基材に関する。この導電基材は、より特には太陽電池の一部を形成することを意図している。本発明は、特には太陽電池の“前面”、即ち、電気への変換のために太陽放射に直接さらされる面として、この導電基材を使用することに関する。
本発明は、特にSi又はCiSタイプの太陽電池に利点がある。その構造を簡潔に要約する。
このタイプの製品は、直列に接続されかつガラスなどの2つの透明な硬質基材の間に配置された太陽電池の形態で一般に市販されている。この電池は、1つ(又は複数の)ポリマー材料によって基材間に保持される。特許EP−739042に記載されている発明の1つの実施態様によれば、太陽電池は2つの基材間に配置でき、その場合、基材間の中空スペースは、硬化性キャストポリマー、特には脂肪族のイソシアネートプレポリマーとポリエーテルポリオールとの反応から得られるポリウレタンに基づいた硬化性キャストポリマーで充填される。このポリマーは、必要であれば微圧下で、例えばオートクレーブにおいて熱硬化(30〜50℃)させることができる。エチレン−酢酸ビニルEVAなど、他のポリマーを使用することができ、(例えば、熱可塑性ポリマーの1つ又は複数のシートを用いて、電池の2つのガラスペイン間に積層することで)他の実装が可能である。
基材、ポリマー、及び太陽電池のこのアッセンブリは、“太陽電池モジュール”の名称で示されかつ販売されている。
それゆえ、本発明はこのモジュールにも関する。
太陽電池モジュールが、平方メートルではなく、送出電力によって販売される(1平方メートルの太陽電池は、約130ワットを提供できるとおおよそ概算できる)ことが知られている場合に、追加的な効率の各パーセントポイントによって、所与の大きさを有する太陽電池モジュールの電気性能が向上し、それゆえ価格が上昇する。
それゆえ、本発明の目的は、これらのモジュールの光電変換効率を改善するための手段、より具体的には、前述の電極を備えた“前面”のガラスペインに関する手段を追求することである。有利には、産業規模で実施するのに平易であり、かつこのタイプの製品についての公知の構造及び構成を変更しない手段が追求される。
まず第一に、本発明の主題は、1つ又は複数の金属酸化物に基づいた少なくとも1つの透明な導電層を含んで成る電極を備えたガラス基材であり、該層は、少なくとも3nmのRMS粗さを有する。好ましくは、それは少なくとも5nm、特には多くとも30nmである。好ましい粗さの範囲は、約5〜15nmにある。
このタイプの導電層は、“透明導電性酸化物”で略語TCOによって知られている。それは、太陽電池及びエレクトロニクスの分野で広く使用されている。
RMS粗さは“二乗平均”粗さを意味する。それは、粗さの平均二乗偏差の値を測定することにある測定法に関する。それゆえ具体的には、このRMS粗さは、平均高さに関し
て、粗さのピークと谷の平均高さを定量化する。したがって、3nmのRMS粗さは、2倍のピーク振幅を意味する。
RMS粗さは、異なる方法で、例えば、原子間力顕微鏡法、(例えば、DEKTAKの名称でビーコにより市販されている測定器を用いた)機械的スタイラスシステム、及び光学干渉法によって測定できる。この測定は、原子間力顕微鏡法により1μmに関して、及び機械的スタイラスシステムの場合には約50μm〜2mmのより大きな表面積に関して一般に行われる。
少なくとも3又は5nmのRMS粗さは、比較的高い値に相当する。本発明に従った導電層の化学的性質は公知であり、それはドープされた金属酸化物タイプのものである。もう一方で、非常に粗い特質を有する。好ましくは、この粗さは、いかなる特定の幾何学パターンも有さないという意味でランダムである。さらには、この粗さは、測定される領域のサイズに依存して分散している。
代わりとして又は累積的に、この導電層の粗さは、この粗さのパターンの平均寸法が少なくとも50nmであるように選択することもでき、測定は、基材表面に平行な大きさにおいて実施される。有利には、少なくとも100nm、好ましくは多くとも500nmが選択される。200〜400nmの平均パターン寸法が好都合である。この平均寸法は、特には走査電子顕微鏡法によって評価できる。層の粗さが、円柱の成長を有する結晶層に関する場合の(不規則な形状の)ピーク形態であるときには、それゆえ、この平均寸法は、これらピークのベース寸法(最も大きい寸法)に相当する。
この特定の粗さ(RMS粗さ及び/又はパターン寸法)は、非常に効果的であることが判明した。これは、層とそれを取り囲む材料との間の界面では、この特定の粗さによって、入射光の拡散が増し、入射光が太陽電池を貫くはるかに長い経路に沿うことを“強制される”からである。
このように光学経路を延長することによって、電池の能動素子によって光が吸収される機会を増やし、太陽電池の光電変換効率を改善する。こうして、光をより良く捕捉する。
上で規定される粗さは、複数の代替の又は累積的な手段によって産業規模で実行可能に得ることができる。
まず第一に、層を堆積でき、次いで、例えば、化学エッチング又はサンドブラスチングによって浸食できる。層はまた、ざらざらしたように直接堆積させることもでき、それは産業的な見地からより有利である。というのも、これによって、太陽電池を形成する様々な層を堆積させる一連の工程の中間にある付加的な不連続の処理工程を回避するからである。
両方の展開において、さまざまな技術によって層を堆積させることが可能である。例えば、熱分解技術、特にはCVD(化学気相成長)によって層を堆積させることが可能である。この技術は、堆積パラメータを適切に調整することで、粗さのある度合いを得ることができるので本発明にとって有利である。
真空堆積技術、特には磁気により促進されたスパッタリングによって、層を堆積させることも可能である。スパッタリングは、(酸化雰囲気において金属若しくは亜酸化物のターゲットから開始する)反応性スパッタリング、又は(不活性雰囲気においてセラミックのターゲットから開始する)非反応性スパッタリングであることができる。
ここでさらに、堆積パラメータを変化させることによって、ある度合いの多孔性及び/又は粗さを得ることを可能とすることができる。したがって、堆積チャンバー内の圧力を適切に調整することが可能であり、即ち、比較的高い圧力によって、相当に多孔質かつ粗い表面を有する層を得ることが一般に可能となる。1つの可能性は、層が、場合によって、ある厚さに対して比較的高密度であり、その場合に、表面がより多孔質で/より粗くなるように、堆積中にこのパラメータを変化させることにある。
それ自体が粗い表面上、特にはそれ自体がある度合いの粗さを有するガラス上に導電層を堆積させることによって、導電層を粗くするか又はその粗さを増加させることも可能であり、これについては以降で詳細に記載する。
導電層は、多くとも1000、700、又は650nmの厚さを有することが好ましい。その厚さは、特には少なくとも400nm、例えば400〜800nmである。
導電層は、有利には以下の材料、即ち、特にフッ素又はアンチモンをドープした酸化スズ(CVDによる堆積の場合に使用できる前駆体は、フッ化水素酸又はトリフルオロ酢酸などのフッ素前駆体と結合した有機金属又はスズのハロゲン化物タイプであることができる)、特にアルミニウムをドープした酸化亜鉛(CVDによる堆積の場合に使用できる前駆体は、有機金属又は亜鉛及びアルミニウムのハロゲン化物タイプであることができる)、あるいは、特にスズをドープした酸化インジウム(CVDによる堆積の場合に使用できる前駆体は、有機金属又はスズ及びインジウムのハロゲン化物タイプであることができる)から選択できる。
変形態様によれば、最も特には、導電層の堆積と同時又はそれ以降に熱処理する場合に、ガラスから拡散することがある種、特にアルカリ金属に対するバリヤーとして使用できる層が可能である。その役割は光学的であることもでき、即ち、基材から反射する光のレベルを低下させることによって、層を通して伝達される光を増加させる。
層は、ケイ素酸化物、酸炭化物、酸窒化物、又は窒化物に基づいた層であることができる。導電層と同じタイプの技術、例えば、CVD又はスパッタリングにより公知の方法で層を堆積させることが可能である。
層が同様にある度合いの粗さを有するように、層を堆積させることも可能である。
有利には、導電層は、多くとも30Ω/□、特には多くとも20Ω/□、好ましくは多くとも10又は15Ω/□のシート抵抗(resistance per square)を有する。それは一般に5〜12Ω/□である。
上述のように、本発明の特に有利な変形態様は、導電層が(上述のバリヤー層など、1つ又は複数の他の層を介して)直接的又は間接的に堆積されるガラス基材の面A、それ自体が特定の粗さを有するという点にある。
この面AのRMS粗さは、100nm〜5000nmであることができ、有利には100〜2000nm、好ましくは少なくとも500又は1000nmであり、このことは、面Aがランバート面として文献で参照されるものであることを意味する。このRMS粗さは、上記導電層のRMS粗さと同じ重要性を有し、それと同じように測定することができる。代わりとして又は累積的に、この面Aの粗さは、基材表面に平行な大きさに沿って測定されたパターンの平均寸法が少なくとも5μmであるようなものである。有利には、それは5〜100μm、特には10〜50μmである。
好ましくは、この粗さは均一ではなく、ランダムである。ガラス表面上に規則的なパターンはないが、表面全体に渡って任意に分布されたガラス表面上の様々なサイズの突起及び/又は谷がある。有利には、この粗さにより、主として“前方”方向に、即ち、しかし主として太陽電池へ光を拡散させるように、基材によって伝達される光を相当に拡散させ
ることができる。
ここでさらに、目的は、入射太陽放射線を可能な限り“捕捉する”こと、及び異なる方法でこれを行うことである。
ガラスとそれに接触している材料との間に拡散界面が作り出され、この粗さが、少なくとも部分的に、この粗い表面上に連続的に堆積される層に伝えられる。即ち、層は、堆積される基材の粗さにしっかりと追従する傾向がある。
本発明の好ましい実施態様においては、基材の粗さは、層それ自体が有することができる粗さよりもはるかに大きい。即ち、粗い基材上に堆積される層は、したがって2桁の粗さを有する。
粗い表面を作り出すことによって、このように、他の連続した拡散界面を連続して作り出すことが可能であり、以下の層のそれぞれが、この粗さにほぼしっかりと追従する。それ自体が本質的な又は誘発された粗さを有することもできる導電層で以って艶を消した粗いガラス基材を組み合せることによって、電池内部に伝達される光に対する拡散の寄与を相当に増加させることができる。これによって、明らかに改善された変換効率が与えられ、さまざまな材料の粗さが互いに加えられて、非常に有益に組み合わさる。
こうして、光の“捕捉”を改善することができる。というのも、導電層の不規則な表面構造が、(導電層と以下のケイ素に基づいた層との間に存在する屈折率の差と組み合せて
)この前方拡散を作り出すからであるか、及び/又はガラスの任意の不規則表面が、同様に(ガラスと導電層との間に同様に存在する屈折率の差と組み合せて)前方拡散を作り出すからである。
ガラス基材の面Aの粗さは、さまざまなタイプの浸食、例えば、サンドブラスチング又は化学エッチングによって得ることができる。化学エッチングの場合には、例えば、水酸化ナトリウム及びフッ化水素酸、又はフッ化水素酸のみから成る溶液を用いた艶消し操作を伴うことができる。一般には、連続的であっても又は連続的でなくてもよい一連の“クレーター”に類似した表面外観は、酸を用いたこの種の艶消しで以って得られる。この艶消しは、複数の工程で実施することができ、異なる溶液と接触させて連続的に面を処理する。より顕著でない艶消しについては、フッ化水素酸のみの溶液が使用できる。溶液中の能動素子濃度、エッチングの浸漬時間、及び/又はエッチング中の工程の数によって、ガラス表面上に作り出される“穴”のサイズ及び深さを調節することができる。有利には、少なくともこの面上で“粗い”ガラス表面は、発光体D65下において、少なくとも70
又は75%、特には約80%の合計光透過率を有する。拡散透過率は、少なくとも40〜45%、特には約50%であることができる。
さらに有利には、導電層の大部分は、とりわけ5〜200nm、特には50〜150nmの平均結晶サイズを有する結晶である。
先のものに対して累積的又は代替的であることができる変形態様によれば、ガラス基材の面B(上述の面Aと反対側の面)を、その面がまたある度合いの粗さを有するように選択することができる。この粗さは、上記の面Aの粗さと同様にランダム又は不均一であることができる。しかしながら、規則的であるよう選択することもでき、規則的なタイプのパターンを有することができる。即ち、その場合、この表面は模様付けされていると言われる。模様という語は、起伏の複数の幾何学的パターンを意味すると解され、このパターンは、基材の模様付けされている面の一般平面に関して凹状又は凸状である。
1つの有益な模様のタイプは、以下のように規定できる。即ち、基材は、基材面の一般平面に関して起伏のある複数の幾何学的パターンにより、基材面のうち少なくとも一方に模様付けされ、模様付けされた面が、光を受け入れる側に配置され、互いに交差する2つの平面があり、それぞれが2つの点のうち1つを含むように、幾何学的パターンのそれぞれの表面が少なくとも2つの点を含んで成り、以下の条件の両方を互いにもたらす。即ち、
−これらの平面は、プレートの模様付けされた面の一般平面にすべて垂直であり、及び
−これらの平面のそれぞれは、該表面に垂直でかつ該2つの点のうち1つを通過する2つの直線のうち1つを含む。
有利には、この点のそれぞれが異なる平坦な表面上にあり、そのパターンが頂点に半角を有する角錐である。
角錐の底面は正方形であることができる。そのパターンは、例えば、70°又は60°未満、特には25〜50°の頂半角を有する錐体であることもできる。
有利には、そのパターンの底面を含むことができる最も小さい円は、0.001mm〜5mmの直径を有する円に内接している。
基材の模様付けされた面の一般平面から最も遠くに離れたパターンの先端は、有利には、一般平面から0.25D〜Dの距離だけ隔てられており、式中、Dは、基材の模様付けされた面の一般平面に含まれ、かつそのパターンの底面を含むことができる最も小さい円の直径を表す。
模様付けされた面は、連続的なパターンを含んで成ることができる。
1つの実施態様によれば、それゆえ、模様付けされた面は、一点に終わる連続的なパターンを含んで成る。
有利には、ガラス基材は、超透明な、即ち、酸化鉄などの酸化物顔料が非常に乏しいタイプのものであることができる。1つの例は、サン−ゴバングラスによってDIAMANTの名称で市販されているガラスである。このようなガラスの利点は、非常に高い光透過率を有することであり、それは、太陽光線を可能な限り太陽電池内部に透過させるのに役立つ。
本発明の主題はまた、上記基材の太陽電池における使用、太陽電池それ自体、及び基材がその一部であることができる太陽電池モジュールである。
本発明は、限定的でない例、及び以下の図を用いて以下に詳述される。
本発明に従った試料のSEM(走査電子顕微鏡法)により得られたプレートである。 本発明に従った試料のSEM(走査電子顕微鏡法)により得られたプレートである。 本発明に従った試料のSEM(走査電子顕微鏡法)により得られたプレートである。 本発明に従った試料のSEM(走査電子顕微鏡法)により得られたプレートである。 本発明に従った太陽電池の一部を、2つの変形態様により断面において単純化した図である。 本発明に従った太陽電池の一部を、2つの変形態様により断面において単純化した図である。
図2a及び2bは、それらの解釈を容易にするために、“前面”のガラスが、その内面に関して粗い(図2a)か、又は滑らか(図2b)である太陽電池を、断面図において縮
尺に関係なく非常に図式的に示している。“内面”という語は、電池のすべての層で、一方が他方に接しているのを見出す面のことを言う。
両方の場合において、順々に、
−透明ガラスから作製された1〜3mm厚さのガラスペイン1;
−前駆体を熱分解することにより得られるフッ素をドープした酸化スズに基づいた導電層3(この層は、以降の工程において600℃に加熱したガラスペイン上にCVDにより公知の方法で堆積された);
−層の重ね合せ、即ち、pa−Si/ia−Si/na−Si/pa−SiGe/ia−SiGe/na−SiGeであるケイ素及びゲルマニウムに基づいたコーティング4;
−銀層5
がある。
[例1]
ガラスペイン1は、フランスのサン−ゴバングラスによりPLANILUXの名称で市販されている特定の処理を行っていない標準的なシリカソーダライムガラスである。
F:SnO層3は、500nmの厚さを有し、約5±2nmのRMS粗さを有する。
[例2]
例1に比べて、ガラスペイン1が、その面Bをエッチングすることによって艶消しされかつ拡散性にされたガラスペインである。エッチングは以下のようにして実施した。即ち、当該面をNaOH/HF(又はHFのみ)の水溶液で以って、1時間から1時間半の間pH2でエッチングした。相当に連続したクレーターのようなパターンの形態で艶消しを得て、ガラス表面上に鋭い縁を作り出した。約1.8μmのRMS粗さと約50μmのパターン寸法を測定した。
[例3]
これは、今回(先の例の面Bについてと同様に)ガラスペインの面Aの艶を消し、それを拡散性にしたこと以外は、例2と同一であった。この展開においては、それゆえ、F:SnO層は、粗いガラス上に堆積され、特にその堆積パラメータを修飾することによって変化させることのできるそれ自体の粗さに加え、ガラスの粗さに少なくとも部分的に“追従する”。
図1a及び1bは、F:SnO層が例1及び例2に従った滑らかな基材上に堆積される場合に、その厚さを通して見た(1a)及び上から見た(1b)F:SnO層を示し、本質的に円柱成長の十分に結晶化された層、及び平均で約200〜300nmである(層を備えたガラスペインに平行な平面に沿って測定された)パターン寸法を有する粗い表面を見ることができる。
図1c及び図1dは、上部から見た(1c)及びその厚さにおいて見た(1d)、例3に従ったF:SnO層で被覆したガラスの粗い表面を示す。それ自体が粗さを有するが、はるかにより小さい規模の粗さを有する層によって“追従される”連続的にへこんだパターンを備えたガラスの粗さにおけるクレーターのようなプロファイルを見ることができ
る。それゆえ、これは層に2桁の粗さを与える。
下表1は、3つの例のそれぞれについて、(接続後、電池の3つの例について公知かつ同一の方法で)以下のデータ、即ち、
−Jsc、即ち、0Vで太陽電池モジュールにより発生する電流密度mA/cmの値(短絡に相当する電流密度である);
−FF(%)、即ち、最大電池出力をJsc及び“開放電圧”の略語であるVocの値で除したものとして規定される“曲線因子”;
−η(%)、即ち、最大電池出力を1000W/m、25℃及びAM1.5スペクトルでの電池の最大光電力で除したものとして規定される太陽電池の効率
を集めている。
その面の少なくとも1つが粗いガラスペインを使用することによって、効率の僅かではない向上がもたらされるということを知ることができる。最良の結果は、導電層がこの粗い表面上に堆積される場合に得られる。即ち、その理由は完全には説明されていないが、実際、ガラスペインの粗さと層固有の粗さとの間に、非常に有利な相乗作用があるようである。このようにして、ガラスペイン1により伝達される光の最大量が拡散され、光電変換が起こるケイ素に基づいた材料に、光を様々な入射角で数回通過させることが可能となる。
本発明が、CiS、CdTe、GaAs若しくはGaInP、Ge、GaSb、InP、GaInAs、又はCuInSeなど、ケイ素に基づいた半導体以外の半導体を使用した太陽電池に対して同様に適用できることは言うまでもない。
本発明はまた、ガラスペインにより伝達される光の割合をさらに向上させるために、ガラスペイン1に関して超透明ガラスを使用することもできる。
それゆえ、本発明は、ガラスペイン1が粗くなく、導電層3が粗い電極に関し、その逆もまた同じである。本発明の好ましい実施態様は、図1c及び1dで図示するように、それらの粗さを組み合せることにある。
例3と同様、2つの粗さを重ね合わせた場合、その時には、導電層の表面上で、太陽電池の全体的な性能に関して、基材によって与えられる粗さと、導電層が同じ条件のもとで、しかし滑らかなガラスペイン上に堆積された場合に、その層が有するであろう粗さとを区別することは困難になる場合がある。即ち、まさに組み合せの効果がある。特にアルミニウムをドープしたZnOから作製された導電層は、例で使用されるフッ素をドープした酸化スズ層に対する非常に有利な代替物である。
本発明は、上記の例示的な実施態様には限定されず、さらに以下の変形態様、即ち、
−ガラス、特にはベースから拡散することがある種に対してバリヤー機能を有するか、及び/又は光学的機能を有する少なくとも1つの層2が、ガラス基材1と導電層3の間に配置されること;
−導電層3が直接的に又は他の方法で配置されたガラス基材1の面Aそれ自体が、少なくとも100nm、即ち、1000〜5000nm、特には1500〜2000nmのRMS粗さを有すること
を包含する。
さらには、1つ又は複数の金属酸化物に基づいた少なくとも1つの透明な導電層3を含んで成る電極を備えたこのガラス基材1は、該導電層3が直接的に又は他の方法で堆積された該ガラス基材1の面Aが、少なくとも1000nm、特には1000〜5000nmのRMS粗さ、及び/又は平均パターン寸法が少なくとも5μm、特には5〜100μmであるような粗さを有することを特徴とする。
面Bの粗さは、特には三角形又は正方形底面の錐体又は角錐の形状を有するパターンの規則的な模様を有し、該模様が凹状又は凸状であることにも注目すべきである。

Claims (24)

  1. 少なくとも1つの金属酸化物に基づいた透明な導電層(3)を含んで成る電極を備えたガラス基材(1)であって、該層が、少なくとも3nm、特には少なくとも5nmのRMS粗さ、及び/又は少なくとも50nmのこの粗さの平均パターン寸法を有し、該層が、該基材の一方の面(A)上に直接的に又は他の方法で配置され、この基材(A)それ自体が少なくとも100nmのRMS粗さを有することを特徴とする、電極を備えたガラス基材。
  2. 前記導電層(3)のRMS粗さが、3nm〜30nm、特には5〜15nmであることを特徴とする、請求項1に記載の基材。
  3. 前記導電層の粗さのパターンが、少なくとも100nm、特には多くとも500nmの平均寸法を有することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の基材。
  4. 前記導電層の粗さのパターンが、200〜400nmの平均寸法を有することを特徴とする、請求項1〜3の何れか1項に記載の基材。
  5. 前記導電層(3)が、熱分解、特には化学気相成長によって堆積されたことを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載の基材。
  6. 前記層(3)がスパッタリングによって堆積されたことを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載の基材。
  7. 前記導電層(3)が、特にフッ素又はアンチモンをドープした酸化スズ、特にアルミニウムをドープした酸化亜鉛、及び特にスズをドープした酸化インジウムから選択されたことを特徴とする、請求項1〜6の何れか1項に記載の基材。
  8. 前記ガラス基材(1)と前記導電層(3)との間に、該ガラスから拡散することがある種、特にアルカリ金属に対してバリヤー機能を有するか、及び/又は光学的機能を有する少なくとも1つの層(2)を配置したことを特徴とする、請求項1〜7の何れかに記載の基材。
  9. 前記バリヤー層(2)が、特に熱分解又はスパッタリングによって堆積されたケイ素酸化物、酸炭化物、酸窒化物、又は窒化物に基づいていることを特徴とする、請求項8に記載の基材。
  10. 前記導電層(3)が、多くとも30又は20Ω/□、特には多くとも15Ω/□のシート抵抗(resistance per square)を有することを特徴とする、請求項1〜9の何れか1項に記載の基材。
  11. 前記導電層(3)が、多くとも1000nm、好ましくは少なくとも400nmの厚さを有することを特徴とする、請求項1〜10の何れか1項に記載の基材。
  12. 前記ガラス基材の面Aそれ自体が、100〜5000nm、特には1500〜2000nmのRMS粗さを有することを特徴とする、請求項1に記載の基材。
  13. 前記導電層(3)が直接的に又は他の方法で堆積された前記ガラス基材(1)の面Aそれ自体が、少なくとも5μm、特には少なくとも10μmの平均パターン寸法の粗さを有することを特徴とする、請求項1〜12の何れか1項に記載の基材。
  14. 前記ガラス基材(1)の面Aが、5〜100μm、特には10〜50μmの平均パターン寸法の粗さを有することを特徴とする、請求項13に記載の基材。
  15. 1つ又は複数の金属酸化物に基づいた少なくとも1つの透明な導電層(3)を含んで成る電極を備えたガラス基材(1)であって、該導電層(3)が直接的に又は他の方法で堆積された該ガラス基材(1)の面Aが、少なくとも100nm、特には100〜1000nmのRMS粗さ、及び/又は平均パターン寸法が少なくとも5μm、特には5〜100μmであるような粗さを有することを特徴とする、電極を備えたガラス基材。
  16. 前記ガラス基材(1)の面Aの粗さが、不均一/ランダムであることを特徴とする、請求項1〜15の何れか1項に記載の基材。
  17. 前記ガラス基材(1)の面Aの粗さが、化学エッチング、又はサンドブラスチングタイプの機械的浸食によって得られたことを特徴とする、請求項1〜16の何れか1項に記載の基材。
  18. 前記導電層(3)が直接的に又は他の方法で配置された前記面Aから反対側の前記ガラス基材(1)の面Bが、ランダム又は非ランダムな粗さを有することを特徴とする、請求項1〜17の何れか1項に記載の基材。
  19. 前記ガラス基材(1)の面Bの粗さが、その面Aの粗さと同様にランダムであることを特徴とする、請求項18及び請求項1又は請求項15に記載の基材。
  20. 前記面Bの粗さが、特に三角形又は正方形底面の錐体又は角錐の形状を有するパターンの規則的な模様を有し、該パターンが凹状又は凸状であることを特徴とする、請求項18に記載の基材。
  21. 前記ガラス基材(1)の面Aが、前方透射光の拡散を生じさせる粗さを有し、該基材が、特には少なくとも70〜75%の合計光透過率を有し、少なくとも40〜45%の拡散光透過率を含むことを特徴とする、請求項1〜15の何れか1項に記載の基材。
  22. 1つ又は複数の前記導電層が、主として特に大部分が結晶質であることを特徴とする、請求項1〜21の何れか1項に記載の基材。
  23. 太陽電池における請求項1〜22の何れか1項に記載の基材の使用。
  24. 請求項1〜22の何れか1項に記載の基材を含んで成ることを特徴とする、太陽電池。
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