JP2013050722A - 光学素子 - Google Patents
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- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Abstract
【解決手段】取付具2は、光学素子1が固定される内部リング3、作動要素4を介して接続される外部リング5とを備え光学要素1の振動エネルギーを摩擦により低減する。要素7は、付加質量8を備え、付加質量8は、流動性媒体9にて満たされると共に、内部リング3の切り欠き部11に位置するコンテナ10に配置する。
【選択図】図1
Description
この目的は、さらに、取付部材に固定され、取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する少なくとも1つの付加要素を備える、光学素子のための取付部材により達成される。
流動性媒体には、例えば、砂、粒状材料、または、粉末が用いられうる。
管が、柔軟性のある材料からなることが好ましい。
請求項36によれば、代替案は、少なくとも2つの取付部材を有する取付具であり、2つの取付部材のうちの1つは、接触点にて他方の取付部材に接続されると共に、他方の取付部材に接触圧力を及ぼす弾性要素を備える。取付具の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、接触点及び2つの取付部材により形成される。
本発明による少なくとも1つの取付具を備えるリソグラフィーオブジェクティブは、請求項38にて特定される。
請求項40は、このような投影露光装置を用いることにより、半導体部品を製造するための方法を与える。
図1は、本実施形態においては、レンズとして設計され、取付具2に保持される光学素子1を示す。取付具2は、2つの取付部品、具体的には、光学素子1が固定される内部リング3と、作動要素4を介して内部リング3に接続される外部リング5と、を備えている。光学素子1の位置の変更を可能とするように、内部リング3は、作動要素4を介して、所定の境界内で移動されうる。つまり、内部リング3は、例えば、米国特許6,191,898 B1に詳細が説明された種類のものであり、また、マニュピレータとすることが可能である。内部リング3は、さらに、米国特許6,191,898 B1に詳細が説明されたような機能を備えるばね要素6を介して外部リング5に接続されている。このような理由から、本書では、リングについてより詳細に説明することを意図していない。米国特許6,191,898 B1の開示内容は、本出願の主題として、本書に完全に組み込まれる。レンズとして設計される代わりに、光学素子1は、ミラー、または、プリズムとしても設計されうる。
ここまでに少し説明したように、光学素子1にリング28を接続するために、図11においては、接着剤31は、光学素子1の上面及び側面と、対応するように設計されたリング28との間に配置されている。しかしながら、図12の実施形態の場合には、接着剤31は、光学素子1の円周状の側面のみに塗布されており、図13の実施形態の場合には、接着剤31は、光学素子1の上面のみに塗布されている。
Claims (40)
- 光学素子に固定され、前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する少なくとも1つの付加要素を備える光学素子。
- 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、付加質量を備える請求項1に記載の光学素子。
- 前記付加質量は、接着剤により前記光学素子に接続される
請求項2に記載の光学素子。 - 前記付加質量は、繊維状媒体に配置される
請求項2に記載の光学素子。 - 前記付加質量は、繊維状媒体により囲まれる
請求項2に記載の光学素子。 - 前記付加質量は、前記光学素子に接続されるリングとして形成される
請求項2〜5の何れかに記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記光学素子の振動振幅が最も高い点のうちの1つ以上の点に固定される
請求項1〜6の何れかに記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記光学素子の外側に配置される
請求項1〜7の何れかに記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記光学素子以外の要素と接触するための機械的接触部を有しない
請求項1〜8の何れかに記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、流動性媒体にて満たされるコンテナを備える
請求項1〜9の何れかに記載の光学素子。 - 前記質量は、前記流動性媒体にて満たされるコンテナに配置される
請求項2及び10に記載の光学素子。 - 前記流動性媒体は、砂である
請求項10に記載の光学素子。 - 前記流動性媒体は、粒状材料である
請求項10に記載の光学素子。 - 前記流動性媒体は、粉末である
請求項10に記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、複数の個別のワイヤを有すると共に、両端にそれぞれ質量が配置されたワイヤケーブルを備える
請求項1〜14の何れかに記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、流動性媒体にて満たされた管として形成される
請求項1〜15の何れかに記載の光学素子。 - 前記管は、柔軟性を有する材料にて構成される
請求項16に記載の光学素子。 - 前記光学素子の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記光学素子の固有振動数に調整される
請求項1〜17の何れかに記載の光学素子。 - 取付部材に固定され、前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する少なくとも1つの付加要素
を備える取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、付加質量を備える
請求項19に記載の取付部材。 - 前記付加質量は、接着剤により前記取付部材に接続される
請求項20に記載の取付部材。 - 前記付加質量は、繊維状媒体に配置される
請求項20に記載の取付部材。 - 前記付加質量は、繊維状媒体により囲まれる
請求項20に記載の取付部材。 - 前記付加質量は、前記取付部材に接続されるリングとして形成される
請求項19〜23の何れかに記載の取付部材。 - 前記リングは、前記取付部材の環状の切り欠きに配置される
請求項22に記載の取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記取付部材の振動振幅が最も高い点のうちの1つ以上の点に固定される
請求項19〜25の何れかに記載の取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、減衰される前記取付部材にのみに接続され、他の要素と接触しない
請求項19〜26の何れかに記載の取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記取付部材における切り欠きに配置される
請求項19〜27の何れかに記載の取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、流動性媒体にて満たされるコンテナを備える
請求項19〜28の何れかに記載の取付部材。 - 前記質量は、前記流動性媒体にて満たされるコンテナに配置される
請求項19及び29に記載の取付部材。 - 前記流動性媒体は、砂である
請求項29に記載の取付部材。 - 前記流動性媒体は、粒状材料である
請求項29に記載の取付部材。 - 前記流動性媒体は、粉末である
請求項29に記載の取付部材。 - 前記取付部材の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記取付部材の固有振動数に調整される
請求項19〜33の何れかに記載の取付部材。 - 請求項19〜34の何れかに記載の取付部材の少なくとも1つを備える光学素子を保持するための取付具。
- 取付具であって、
少なくとも2つの取付部材を備え、前記2つの取付部材のうちの1つは、接触点にて他方の取付部材に接続されると共に前記他方の取付部材に接触圧力を及ぼす弾性要素を備え、当該取付具の振動エネルギーを摩擦により低減する要素は、前記接触点及び前記2つの取付部材により形成される取付具。 - 請求項1〜19の何れかに記載の光学素子の少なくとも1つを備えるリソグラフィーオブジェクティブ。
- 請求項35または36に記載の少なくとも1つの取付具を備えるリソグラフィーオブジェクティブ。
- 半導体部品を製造するために、照射システムと、請求項37または38に記載のリソグラフィーオブジェクティブと、を備える投影露光装置。
- 請求項39に記載の投影露光装置を用いることにより半導体部品を製造する方法。
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