JP2012243985A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のMOSFET(半導体装置)21は、SiC基板22の表面側にトレンチ26が形成され、このトレンチ26内にゲート絶縁膜27を介してゲート電極28が埋め込まれ、このトレンチ26の両側には、このトレンチ26より深さが深いトレンチ30が形成され、トレンチ30の底部には、高濃度のp型の半導体層41が形成されるとともに、このトレンチ30の内壁に側壁絶縁膜42が形成され、さらに、このトレンチ30内には半導体層41と非整流性接触する金属性導電体層43が埋め込まれている。
【選択図】図2
Description
図10は、従来のトレンチ構造型のMOSFET1を示す断面図であり、n型のSiC半導体基板2上にn型の低濃度のドリフト層3及びp型のボディ層4が順次積層され、このボディ層4を貫通してドリフト層3に至るトレンチ5が形成され、このトレンチ5の両側には、ソースコンタクト領域6及びボディーコンタクト領域7が形成され、トレンチ5内には、ゲート絶縁膜8を介してゲート電極9が埋め込まれ、ゲート絶縁膜8及びゲート電極9を覆うように層間絶縁膜10が形成されている。そして、ソースコンタクト領域6、ボディーコンタクト領域7及び層間絶縁膜10を覆うようにソース電極11が形成され、SiC半導体基板2の裏面にはドレイン電極12が形成されている。
そこで、ゲート絶縁膜を介してゲート電極が埋め込まれたトレンチ以外に、このトレンチより深い第2のトレンチを形成し、この第2のトレンチの内面をp型のイオン注入領域で覆った構造(特許文献1)、この構造の変形例として、p型のイオン注入領域の上にエピタキシャル再成長層を形成した構造のMOSFET(特許文献2)が提案されている。
さらに、この第2のトレンチ内に白金等の貴金属からなるコンタクトメタルを成膜してショットキー接触を形成した構造(特許文献4)が提案されている。
また、特許文献2に記載された構造では、p型のイオン注入領域の上に、さらにエピタキシャル再成長層を形成しなければならず、特殊なイオン注入に加えてエピタキシャル再成長が必要になる。
具体的には、特許文献3、4の構造を実現するプロセスとして、ボディ領域、ソースコンタクト領域及びボディーコンタクト領域を形成したSiC基板上に、第1及び第2のトレンチを形成し、この第1のトレンチ内壁面にゲート酸化膜を成膜し、このゲート酸化膜の上にゲート電極を埋め込み、このゲート電極上に層間絶縁膜を成膜し、さらに、コンタクトメタルを成膜しパターニングして、第2のトレンチの内壁面からコンタクトメタルを除去してコンタクトアニールを施し、その後、第2のトレンチの内壁面にショットキーメタルを成膜し、コンタクトメタルとショットキーメタルの上にAl等の金属を成膜する、というプロセスを採用可能とも考えられる。
しかしながら、上記のようなプロセスを採用した場合、第2のトレンチの内壁面からコンタクトメタルを除去する際に内壁面にコンタクトメタルが残ってしまうと、次のコンタクトアニールを施す工程において、コンタクトメタルが第2のトレンチの内壁面に接触している部分で意図せず障壁高さの低いショットキー接触が形成されてしまうこととなり、この障壁高さの低いショットキー接触が原因でリーク電流が増大し、実効的な耐圧が低下する虞がある。
これにより、第2のトレンチの底部の半導体領域と第2のトレンチの側面のMOS構造により第2のトレンチの間隙がピンチオフされ、よって、第1のトレンチに形成された第1の絶縁膜に過剰な電界が印加される虞が無くなる。
また、第2のトレンチの内壁に第2の絶縁膜を形成したことにより、この第2の絶縁膜が第2のトレンチの間隙の半導体領域との間のリーク電流を抑制する。
これにより、ショットキー障壁を設けた場合のようにショットキー障壁の高さが低くなる虞がなく、リーク電流が増大して実効的な耐圧が低下する虞もない。
前記炭化ケイ素半導体基板の一主面に第1のマスクにより高濃度の第2導電型の半導体領域を形成する工程と、前記第1のマスクの両側に第2のマスクを形成し、前記第1のマスク及び前記第2のマスクをマスクとして前記一主面上の前記第1のトレンチを形成すべき領域の両側に前記第2のトレンチを形成する工程と、を有することを特徴とする。
したがって、ショットキー障壁を設けた場合のようにショットキー障壁の高さが低くなる虞がなくなり、リーク電流が増大して実効的な耐圧が低下する虞もなくなる。
また、これらの工程では、特殊なイオン注入やエピタキシャル再成長の工程が不要になるので、工程の短縮、製造設備の簡単化及び製造コストの削減を図ることができる。
なお、この形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の第1の実施形態のトレンチ構造型のMOSFETを示す平面図、図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。
図において、符号21は本実施形態のMOSFETであり、n型(第1導電型)の高濃度のドレイン領域であるSiC基板22上に、例えば不純物濃度が7×1015cm−3のn型の低濃度のドリフト層23、例えば不純物濃度が2×1017cm−3のp型(第2導電型)のボディ層24が順次積層された構成である。
このSiC半導体基板22の表面(一主面)側には、(第1の)トレンチ26が形成され、このトレンチ26内には、ゲート絶縁膜(第1の絶縁膜)27を介してゲート電極(第1の導電体層)28が埋め込まれ、ゲート絶縁膜27及びゲート電極28を覆うように層間絶縁膜29が形成されている。このトレンチ26の両側には、このトレンチ26より深さが深い(第2の)トレンチ30が形成されている。
このSiC半導体基板22の表面の法線方向(図1中、紙面に垂直な方向)から見た場合のソースコンタクト領域32とボディーコンタクト領域33との境界34は、トレンチ30がSiC半導体基板22の表面に沿って延在する方向(図1中、矢印方向)に対して45°に傾斜している。
この金属性導電体層43は、チタン、アルミニウム等の導電性金属により構成されている。
そして、層間絶縁膜29、ソースコンタクト領域32、ボディーコンタクト領域33及び金属性導電体層43を覆うようにソース電極44が形成され、さらに、SiC半導体基板22の裏面にはドレイン電極45が形成されている。
これにより、ショットキー障壁を設けた場合のようにショットキー障壁の高さが低くなる虞がなく、リーク電流が増大して実効的な耐圧が低下する虞もない。
まず、図3(a)に示すように、SiC基板22上に、エピタキシャル成長によりn型の低濃度のドリフト層23、エピタキシャル成長またはイオン注入によりp型のボディ層24を順次形成した後、リンのイオン注入によりソースコンタクト領域51を形成し、アルミニウムのイオン注入によりボディーコンタクト領域52を形成する。
ここで、後述するトレンチエッチングの際にイオン注入領域が酸化やサイドエッチング等により変形する虞がある場合には、ここで、一旦、活性化アニール処理を施してもよい。
次いで、側壁保護膜54のうちトレンチ30の底部のみを除去し、残った側壁保護膜54及びプロテクション層53をマスクとして、トレンチ30の底部にアルミニウムのイオン注入により高濃度のp型の半導体層41を形成する。その後、側壁保護膜54及びプロテクション層53を除去する。
このトレンチ26を形成した後、必要に応じてトレンチ形状改善アニールを施してもよい。
この活性化アニール処理は、上記のトレンチ形状改善アニールと兼用してもよい。また、トレンチ26の形状と干渉する場合には、側壁保護膜54を除去した後に活性化アニール処理を行ってもよい。
この場合、トレンチ30の開口の面積は、トレンチ26の開口の面積より広いので、トレンチ26内はポリシリコン62で完全に埋められているものの、トレンチ30内は完全に埋められていない。そこで、等方性エッチングによりエッチバックを行うと、トレンチ30内のポリシリコン62はエッチバックにより消滅する。よって、図4(c)に示すように、トレンチ26内には、ゲート絶縁膜27を介してポリシリコン62からなるゲート電極28が埋め込まれることとなる。
次いで、絶縁膜64上にポリシリコン65を成膜させ、次いで、このポリシリコン65にエッチバックを施し、トレンチ30内にポリシリコン65を埋め込む。
次いで、絶縁膜64及びポリシリコン65上に、フォトレジストによりコンタクトホール用マスク66を形成する(図5(a))。
これにより、ゲート絶縁膜27及びゲート電極28を覆う絶縁膜は層間絶縁膜29となり、トレンチ30内の絶縁膜は側壁絶縁膜42となる。
裏面にも同様にして、ドレイン電極45(の一部)を成膜する。このドレイン電極45における熱処理は、上記の導電性金属の熱処理と同時におこなってもよい。
次いで、表面にさらにチタン、アルミニウム等の導電性金属を成膜することにより、ソース電極44及びトレンチ30内の金属性導電体層43を形成する。
裏面にさらに導電性金属を成膜することにより、ドレイン電極45(の残り)を形成する。
以上により、本実施形態のMOSFET21を作製することができる。
図6は、本発明の第2の実施形態のトレンチ構造型のMOSFETを示す平面図、図7は、図6のB−B線に沿う断面図である。
本実施形態のトレンチ構造型のMOSFET71の構成が第1の実施形態のMOSFET21と異なる点は、第1の実施形態のMOSFET21では、ソースコンタクト領域32とボディーコンタクト領域33とを同一平面上に形成し、かつ、ソースコンタクト領域32とボディーコンタクト領域33との境界34を、トレンチ30がSiC半導体基板22の表面に沿って延在する方向(図1中、矢印方向)に対して45°に傾斜させたのに対し、本実施形態のMOSFET71では、トレンチ26の上端部の両側の平面視帯状の領域31に、n型の高濃度のソースコンタクト領域(第1導電型の高濃度領域)72及びp型の高濃度のボディーコンタクト領域(第2導電型の高濃度領域)73を、その延在方向(図6中、矢印方向)に互いに平行となるように、かつ、その延在方向の断面が段差となるように形成した点であり、その他の構成については第1の実施形態のMOSFET21と全く同様である。
まず、図8(a)に示すように、SiC基板22上に、n型の低濃度のドリフト層23、エピタキシャル成長またはイオン注入によりp型のボディ層24を順次形成した後、リンのイオン注入によりソースコンタクト領域51を形成する。
ここで、後述するSiCエッチングの際にイオン注入領域が酸化やサイドエッチング等により変質・変形する虞がある場合には、ここで、一旦、活性化アニール処理を施してもよい。
次いで、これら第1のマスク81、エッチストップ膜82及び第2のマスク83を、ソースコンタクト領域51のうちボディーコンタクト領域73に対応する位置を含む外側の領域の表面が露出するようにパターニングし、マスク84とする。
次いで、SiO2からなる膜を成膜し、その後エッチバックして第3のマスク85とする。この場合、開口86は、第3のマスク85を形成したときに、マスク84の開口部のうち、上記のSiO2の開口部の側面での厚みに相当する部分を除いた部分に自動的に形成されることとなる。それゆえに、ボディーコンタクト領域73とトレンチ30は、セルフアラインすることとなる。
次いで、図9(a)に示すように、側壁保護膜を成膜後、エッチバックし、トレンチ30の側壁に側壁保護膜54を形成するとともに、トレンチ30の底部及びボディ層24のうちボディーコンタクト領域73となる領域の表面を露出させる。
次いで、熱リン酸を用いてエッチストップ膜82を除去し、BHFを用いて側壁保護膜54及び第1のマスク81を除去する。
ただし、SiO2の異方性エッチングによりコンタクトホールを開口する際に、ソースコンタクト領域72の表面のみではなく、ソースコンタクト領域72より下方に位置するボディーコンタクト領域73の表面をも露出させる必要があるので、エッチバックの量は増加する。
さらに、第3のマスク85を用いて、ボディ層24の所定位置にトレンチ30を形成し、次いで、このトレンチ30の側壁に側壁保護膜54を形成し、マスク84及び側壁保護膜54をマスクとしてイオン注入を行い、ボディーコンタクト領域73及び半導体層41をそれぞれ形成するので、ボディーコンタクト領域73及び半導体層41を同時に形成することができる。したがって、工程を簡略化することができる。
また、金属性導電体層43に加えて、ソース電極44をも導電性のポリシリコンとしてもよい。
2 SiC半導体基板
3 ドリフト層
4 ボディ層
5 トレンチ
6 ソースコンタクト領域
7 ボディーコンタクト領域
8 ゲート絶縁膜
9 ゲート電極
10 層間絶縁膜
11 ソース電極
12 ドレイン電極
21 MOSFET
22 SiC基板
23 ドリフト層
24 ボディ層
26 (第1の)トレンチ
27 ゲート絶縁膜(第1の絶縁膜)
28 ゲート電極(第1の導電体層)
29 層間絶縁膜
30 (第2の)トレンチ
32 ソースコンタクト領域(第1導電型の高濃度領域)
33 ボディーコンタクト領域(第2導電型の高濃度領域)
34 境界
41 半導体層(半導体領域)
42 側壁絶縁膜(第2の絶縁膜)
43 金属性導電体層(第2の導電体層)
44 ソース電極
45 ドレイン電極
51 ソースコンタクト領域
52 ボディーコンタクト領域
53 プロテクション層
54 側壁保護膜
61 酸化膜
62 ポリシリコン
64 絶縁膜
65 ポリシリコン
66 マスク
71 MOSFET
72 ソースコンタクト領域(第1導電型の高濃度領域)
73 ボディーコンタクト領域(第2導電型の高濃度領域)
81 マスク
82 エッチストップ膜
83 マスク
84 マスク
85 マスク
86 開口
Claims (4)
- 第1導電型の炭化ケイ素半導体基板の一主面に、第1の絶縁膜を介して第1の導電体層が埋め込まれた第1のトレンチが形成され、前記第1のトレンチの両側に、前記第1のトレンチより深さが深い第2のトレンチが形成され、
前記第2のトレンチの底部に高濃度の第2導電型の半導体領域が形成されるとともに、前記第2のトレンチの内壁に第2の絶縁膜が形成され、前記第2の絶縁膜が形成された前記第2のトレンチ内に前記半導体領域と非整流性接触する第2の導電体層が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。 - 前記炭化ケイ素半導体基板の一主面上かつ前記第1のトレンチの両側に第1導電型の高濃度領域が形成され、前記第1導電型の高濃度領域の外側に第2導電型の高濃度領域が形成され、
前記第2導電型の高濃度領域は、前記第1導電型の高濃度領域より下方に位置していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記一主面の法線方向から見た場合の前記第1導電型の高濃度領域と前記第2導電型の高濃度領域との境界は、前記第2のトレンチが前記一主面に沿って延在する方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置。
- 第1導電型の炭化ケイ素半導体基板の一主面に、第1の絶縁膜を介して第1の導電体層が埋め込まれた第1のトレンチが形成され、前記第1のトレンチの両側に、前記第1のトレンチより深さが深い第2のトレンチが形成され、前記第2のトレンチの底部に高濃度の第2導電型の半導体領域が形成されるとともに、前記第2のトレンチの内壁に第2の絶縁膜が形成され、前記第2の絶縁膜が形成された前記第2のトレンチ内に前記半導体領域と非整流性接触する第2の導電体層が埋め込まれている半導体装置の製造方法であって、
前記炭化ケイ素半導体基板の一主面に第1のマスクにより高濃度の第2導電型の半導体領域を形成する工程と、
前記第1のマスクの両側に第2のマスクを形成し、前記第1のマスク及び前記第2のマスクをマスクとして前記一主面上の前記第1のトレンチを形成すべき領域の両側に前記第2のトレンチを形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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