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KR20120012763A KR101407909B1 (ko) 2011-02-09 2012-02-08 광전 변환 소자, 광전 변환 장치 및 촬상 시스템
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CN201210028220.6A CN102637710B (zh) 2011-02-09 2012-02-09 光电转换元件、光电转换装置和图像感测系统
US14/274,529 US9140603B2 (en) 2011-02-09 2014-05-09 Photoelectric conversion element, and photoelectric conversion apparatus and image sensing system

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6120094B2 (ja) 2013-07-05 2017-04-26 ソニー株式会社 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器
JP6444066B2 (ja) * 2014-06-02 2018-12-26 キヤノン株式会社 光電変換装置および撮像システム
JP6425427B2 (ja) * 2014-06-16 2018-11-21 キヤノン株式会社 光電変換装置およびその製造方法、撮像システム
KR102356695B1 (ko) * 2014-08-18 2022-01-26 삼성전자주식회사 광 유도 부재를 가지는 이미지 센서
JP2016133510A (ja) * 2015-01-16 2016-07-25 パーソナル ジェノミクス タイワン インコーポレイテッドＰｅｒｓｏｎａｌ Ｇｅｎｏｍｉｃｓ Ｔａｉｗａｎ，Ｉｎｃ． 導光機能を有する光学センサー及びその製造方法
JP2017069553A (ja) 2015-09-30 2017-04-06 キヤノン株式会社 固体撮像装置、その製造方法及びカメラ
JP6711692B2 (ja) * 2016-05-24 2020-06-17 キヤノン株式会社 光電変換装置及び画像読み取り装置
JP6895724B2 (ja) * 2016-09-06 2021-06-30 キヤノン株式会社 撮像素子及び撮像装置
JP6929057B2 (ja) 2016-12-27 2021-09-01 キヤノン株式会社 光電変換素子、撮像システム
JP6905191B2 (ja) * 2017-09-14 2021-07-21 日本電信電話株式会社 レンズ及び複眼レンズ
RU2688863C1 (ru) * 2018-07-11 2019-05-22 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (КБГУ) Способ изготовления полупроводникового прибора
RU2694160C1 (ru) * 2018-11-29 2019-07-09 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Чеченский государственный университет" Способ изготовления полупроводникового прибора

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2833941B2 (ja) * 1992-10-09 1998-12-09 三菱電機株式会社 固体撮像装置とその製造方法
JP3620237B2 (ja) * 1997-09-29 2005-02-16 ソニー株式会社 固体撮像素子
JP3672085B2 (ja) * 2000-10-11 2005-07-13 シャープ株式会社 固体撮像素子およびその製造方法
JP2004133446A (ja) * 2002-09-20 2004-04-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光モジュール及び製造方法
JP4427949B2 (ja) * 2002-12-13 2010-03-10 ソニー株式会社 固体撮像素子及びその製造方法
JP2004221487A (ja) * 2003-01-17 2004-08-05 Sharp Corp 半導体装置の製造方法及び半導体装置
KR100689885B1 (ko) * 2004-05-17 2007-03-09 삼성전자주식회사 광감도 및 주변광량비 개선을 위한 ｃｍｏｓ 이미지 센서및 그 제조방법
JP2006191000A (ja) * 2004-12-08 2006-07-20 Canon Inc 光電変換装置
US8013409B2 (en) * 2005-09-27 2011-09-06 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric conversion device and fabrication method therefor
JP2007305690A (ja) * 2006-05-09 2007-11-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置用素子及びその製造方法
JP2008103633A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Fujifilm Corp 固体撮像素子
JP2008166677A (ja) * 2006-12-08 2008-07-17 Sony Corp 固体撮像装置とその製造方法並びにカメラ
JP5065691B2 (ja) * 2007-01-16 2012-11-07 富士フイルム株式会社 固体撮像装置
JP2008192951A (ja) * 2007-02-07 2008-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置およびその製造方法
JP4705067B2 (ja) * 2007-04-10 2011-06-22 日本電信電話株式会社 三次元交差導波路
JP5055033B2 (ja) * 2007-06-14 2012-10-24 富士フイルム株式会社 固体撮像素子
JP2010123745A (ja) * 2008-11-19 2010-06-03 Sony Corp 固体撮像装置、カメラ
JP4730429B2 (ja) * 2008-12-03 2011-07-20 ソニー株式会社 固体撮像装置、および、その製造方法、カメラ
JP2010182765A (ja) * 2009-02-04 2010-08-19 Sony Corp 固体撮像装置および電子機器
JP5504695B2 (ja) * 2009-05-29 2014-05-28 ソニー株式会社 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法および電子機器
JP2010287636A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Panasonic Corp 固体撮像素子及びその製造方法
JP2011023409A (ja) * 2009-07-13 2011-02-03 Panasonic Corp 固体撮像装置
JP2011023481A (ja) * 2009-07-14 2011-02-03 Panasonic Corp 固体撮像装置及びその製造方法

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