JP4730429B2 - 固体撮像装置、および、その製造方法、カメラ - Google Patents
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Description
[装置構成]
図1は、本発明にかかる実施形態1において、カメラ40の構成を示す構成図である。
以下より、上記の固体撮像装置1を製造する製造方法について説明する。
・グリーンフィルタ層301Gの反射率:4.8%
・レッドフィルタ層301Rの反射率:2.9%
・ブルーフィルタ層301Bの反射率:12.6%
これに対して、露光光を吸収する色素を第2のコア部131bに含有させずに形成したカラーフィルタ301の場合には、反射率は、以下であった。
・グリーンフィルタ層301Gの反射率:6.6%
・レッドフィルタ層301Rの反射率:8.5%
・ブルーフィルタ層301Bの反射率:16.2%
図13は、本発明にかかる実施形態2において、固体撮像装置1bの要部を示す断面図である。図13は、図4の場合と同様に、画素Pの断面を示している。
本実施形態は、第2のコア部131bを形成する工程の一部が、実施形態1と異なっている。この点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する部分については、記載を省略する。
具体的には、本実施形態において形成したカラーフィルタ301の反射率は、以下であった。
・グリーンフィルタ層301Gの反射率:4.9%
・レッドフィルタ層301Rの反射率:3.0%
・ブルーフィルタ層301Bの反射率:11.4%
・グリーンフィルタ層301Gの反射率:6.6%
・レッドフィルタ層301Rの反射率:8.5%
・ブルーフィルタ層301Bの反射率:16.2%
本実施形態では、第2のコア部131bを形成する工程の一部が、実施形態1と異なっている。この点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する部分については、記載を省略する。
・1,3−Butadiene(吸収波長λmax=217nm)
・1,3,5-Hexatriene(吸収波長λmax=268nm)
・1,3,5,7-octatertaene(吸収波長λmax=304nm)
・1,3,5,7,9-decapentaene(吸収波長λmax=334nm)
・1,3,5,7,9,11-dodecahexaene(吸収波長λmax=364nm)
・Benzene(吸収波長λmax=203nm)
・Naphthalene(吸収波長λmax=314nm)
・Anthracene(吸収波長λmax=370nm)
・1,3,5,7,9,11,13-tetradecaheptaene(吸収波長λmax=390nm)
・1,3,5,7,9,11,13,15-hexadecaoctaene(吸収波長λmax=410nm)
・1,3,5,7,9,11,13,15,17,19-icosadecaene (吸収波長λmax=422nm)
・Naphthacene(吸収波長λmax=460nm)
Claims (10)
- 光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部を、基板に形成する光電変換部形成工程と、
前記受光面へ光を導く光導波路を、前記受光面の上方に形成する光導波路形成工程と、
カラーフィルタを前記光導波路の上方に形成するカラーフィルタ形成工程と
を含み、
前記光導波路形成工程は、
前記基板において前記光電変換部を被覆するように絶縁膜を形成する、絶縁膜形成ステップと、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に孔を形成する、孔形成ステップと、
前記孔の内部を埋め込むと共に前記絶縁膜の上面を被覆するように、前記光導波路のコア部を形成する、コア部形成ステップ
を有し、
前記カラーフィルタ形成工程においては、着色剤を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって、前記感光性樹脂膜から前記カラーフィルタを形成し、
前記コア部形成ステップでは、前記孔の内部を埋め込むと共に前記絶縁膜の上面を被覆するように、共役二重結合を含む樹脂を成膜した後に、前記カラーフィルタ形成工程にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、前記光導波路のコア部が前記カラーフィルタに対面する表面で吸収するように、前記共役二重結合を含む樹脂の共役二重結合を切断する表面処理を実施することで、当該コア部を形成する、
固体撮像装置の製造方法。 - 前記カラーフィルタと前記光導波路のコア部とを密着させる密着強化層を形成する密着強化層形成工程
を、さらに含み、
前記密着強化層形成工程は、前記光導波路形成工程と前記カラーフィルタ形成工程との間に実施される、
請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記密着強化層形成工程においては、前記カラーフィルタを形成する際に用いる樹脂を含むように、前記密着強化層を形成する、
請求項2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記コア部形成ステップにおいては、前記孔の内部表面および前記絶縁膜の上面を被覆するように、第1のコア部を成膜後に、前記第1コア部を介して、前記孔の内部を埋め込むと共に前記絶縁膜の上面を平坦に被覆するように、第2のコア部を成膜することで、前記光導波路のコア部を形成する、
請求項1から3のいずれかに記載の固体撮像装置の製造方法。 - 光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部を、基板に形成する光電変換部形成工程と、
前記受光面へ光を導く光導波路を、前記受光面の上方に形成する光導波路形成工程と、
カラーフィルタを前記光導波路の上方に形成するカラーフィルタ形成工程と
を含み、
前記光導波路形成工程は、
前記基板において前記光電変換部を被覆するように絶縁膜を形成する、絶縁膜形成ステップと、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に孔を形成する、孔形成ステップと、
前記孔の内部を埋め込むと共に前記絶縁膜の上面を被覆するように、前記光導波路のコア部を形成する、コア部形成ステップ
を有し、
前記カラーフィルタ形成工程においては、着色剤を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって、前記感光性樹脂膜から前記カラーフィルタを形成し、
前記光導波路形成工程においては、前記カラーフィルタ形成工程にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、前記光導波路のコア部にて前記カラーフィルタに対面する表面において拡散反射するように、当該コア部の表面に凹凸を形成する表面処理を実施する、
固体撮像装置の製造方法。 - 前記コア部形成ステップにおいては、前記孔の内部表面および前記絶縁膜の上面を被覆するように、第1のコア部を成膜後に、前記第1コア部を介して、前記孔の内部を埋め込むと共に前記絶縁膜の上面を平坦に被覆するように、第2のコア部を成膜することで、前記光導波路のコア部を形成する、
請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板の面に形成されており、光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板において前記光電変換部が形成された面を被覆するように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に形成された孔の内部を、共役二重結合を含む樹脂で埋め込むと共に、当該共役二重結合を含む樹脂で前記絶縁膜の上面を被覆するように形成されており、前記受光面へ光を導く光導波路のコア部と、
前記光導波路のコア部の上方に形成されており、光が前記光導波路のコア部へ出射されるカラーフィルタと
を含み、
前記カラーフィルタは、色素を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって形成され、
前記光導波路のコア部は、前記カラーフィルタ形成工程にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、前記光導波路のコア部が前記カラーフィルタに対面する表面で吸収するように、前記共役二重結合を含む樹脂の共役二重結合を切断する表面処理を実施することで形成されている、
固体撮像装置。 - 基板の面に形成されており、光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板において前記光電変換部が形成された面を被覆するように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に形成された孔の内部を埋め込むと共に、前記絶縁膜の上面を被覆するように形成されており、前記受光面へ光を導く光導波路のコア部と、
前記光導波路のコア部の上方に形成されており、光が前記光導波路のコア部へ出射されるカラーフィルタと
を含み、
前記カラーフィルタは、色素を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって形成され、
前記光導波路のコア部は、前記カラーフィルタの形成にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、当該光導波路のコア部にて前記カラーフィルタに対面する表面において拡散反射するように、当該コア部の表面に、凹凸が形成されている、
固体撮像装置。 - 基板の面に形成されており、光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板において前記光電変換部が形成された面を被覆するように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に形成された孔の内部を、共役二重結合を含む樹脂で埋め込むと共に、当該共役二重結合を含む樹脂で前記絶縁膜の上面を被覆するように形成されており、前記受光面へ光を導く光導波路のコア部と、
前記光導波路のコア部の上方に形成されており、光が前記光導波路のコア部へ出射されるカラーフィルタと
を含み、
前記カラーフィルタは、色素を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって形成され、
前記光導波路のコア部は、前記カラーフィルタ形成工程にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、前記光導波路のコア部が前記カラーフィルタに対面する表面で吸収するように、前記共役二重結合を含む樹脂の共役二重結合を切断する表面処理を実施することで形成されている、
カメラ。 - 基板の面に形成されており、光を受光面で受光し、当該受光面にて受光した光を光電変換することによって信号電荷を生成する光電変換部と、
前記基板において前記光電変換部が形成された面を被覆するように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜において前記光電変換部の前記受光面に対応する部分に形成された孔の内部を埋め込むと共に、前記絶縁膜の上面を被覆するように形成されており、前記受光面へ光を導く光導波路のコア部と、
前記光導波路のコア部の上方に形成されており、光が前記光導波路のコア部へ出射されるカラーフィルタと
を含み、
前記カラーフィルタは、色素を含む感光性樹脂膜について露光処理を実施後に現像処理を実施することによって形成され、
前記光導波路のコア部は、前記カラーフィルタの形成にて露光処理を実施する際に前記感光性樹脂膜に照射する露光光を、当該光導波路のコア部にて前記カラーフィルタに対面する表面において拡散反射するように、当該コア部の表面に、凹凸が形成されている、
カメラ。
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