JP2008218650A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像素子10は、複数のフォトダイオード11が形成された半導体基板15と、絶縁膜16を介して半導体基板15の上に形成された転送電極17と、この転送電極17を遮光し、フォトダイオード11に合わせた位置に開口18が形成された遮光膜20と、フォトダイオード11の直上に形成された導波路22と、この導波路22の周囲に形成された平坦化層23と、カラーフィルタ24と、マイクロレンズ25とを有する。マイクロレンズ25は、近軸領域26aの焦点位置f1が導波路22の内部でフォトダイオード11に近接する位置にあり、遠軸領域26bの焦点位置f2が導波路22の内部でマイクロレンズ25に近接する位置にある。
【選択図】図4
Description
11 フォトダイオード(受光部)
15 半導体基板
17 転送電極
18 開口
20 遮光膜
22,32,34,36,38,42,44,46,48,122 導波路
23 平坦化層(中間層)
25,50 マイクロレンズ
Claims (19)
- 複数の受光部が形成された半導体基板と、前記半導体基板の少なくとも一部を覆って遮光し、且つ前記受光部の位置に合わせて開口が形成された遮光層と、前記受光部の上方に位置し、その上面が上方に向かって凸となるマイクロレンズと、このマイクロレンズと前記半導体基板との間に位置し、前記受光部からマイクロレンズに向かって垂直に延びる導波路とを備えた固体撮像素子において、
前記導波路は、前記マイクロレンズに近接する入射面、及び前記受光部に近接する出射面を有しており、前記出射面は、前記マイクロレンズの光軸付近の領域から入射した光が焦点を結ぶ焦点位置の付近に位置し、前記入射面は、前記マイクロレンズの周縁付近の領域から入射した光の焦点位置の付近に位置していることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記マイクロレンズ及び受光部の間に位置し、前記導波路の外周面に接する中間層が形成されており、前記導波路の屈折率が前記中間層の屈折率よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記半導体基板と垂直な方向に沿って延びる柱形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ側から前記受光部側に向かって徐々に断面積が減少するテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、前記半導体基板と平行な面に沿って切断した断面積がほぼ一定な第1の柱形状と、前記受光部寄りに位置し、前記半導体基板と平行な面に沿って切断した断面積が前記第1の柱形状よりも小さい第2の柱形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、断面積が前記マイクロレンズ側から前記受光部側に向かって徐々に減少するテーパー形状と、前記受光部寄りに位置し、前記テーパー形状の受光部側先端から前記半導体基板と垂直な方向に沿って延びる柱形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、前記受光部に向かって凸となる曲面を持つ平凸レンズ形状と、前記受光部寄りに位置し、前記平凸レンズ形状の受光部側先端から前記半導体基板と垂直な方向に沿って延びる柱形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、断面積が前記マイクロレンズ側から前記受光部側に向かって徐々に減少する第1のテーパー形状と、前記受光部寄りに位置し、前記第1のテーパー形状の受光部側先端と連続した端部から前記受光部側へ向かって断面積が徐々に減少し、且つ垂直方向に対する母線の傾斜角度が前記第1のテーパー形状よりも小さい第2のテーパー形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、前記受光部に向かって凸となる曲面を持つ平凸レンズ形状と、前記受光部寄りに位置し、前記平凸レンズ形状の受光部側先端から前記受光部側へ向かって徐々に断面積が減少するテーパー形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置し、前記半導体基板と平行な面に沿って切断した断面積がほぼ一定の柱形状と、前記受光部寄りに位置し、前記半導体基板と平行な面に沿って切断した断面積が前記柱形状よりも小さく、且つ前記マイクロレンズ側から前記受光部側へ向かって徐々に断面積が減少するテーパー形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズ寄りに位置する柱形状と、この柱形状の受光部側先端と連続した端部から前記受光部へ向かって徐々に断面積が減少するテーパー形状とを重ねた形状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記マイクロレンズから入射した光を全反射させて前記受光部へ導くことを特徴とする請求項1ないし11いずれか記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、その周壁部分に、前記中間層よりも反射率の高い金属によって形成された薄膜を備えることを特徴とする請求項1ないし14いずれか記載の固体撮像素子。
- 前記薄膜は、アルミニウム、金、銀、銅、タングステンのいずれかの金属によって形成されていることを特徴とする請求項15記載の固体撮像素子。
- 前記導波路は、前記開口の内壁面とは一定の間隔を持って形成されていることを特徴とする請求項1ないし16いずれか記載の固体撮像素子。
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