JP2006032897A - Cmosイメージセンサー及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CMOSイメージセンサーは、半導体基板上に形成された複数の光感知素子と、複数の光感知素子上に形成された層間絶縁層と、光感知素子それぞれに対応し、各波長帯域毎の光を透過させる複数のカラーフィルタ層と、カラーフィルタ層上の全面に形成されて、光を集束する第1マイクロレンズ層と、第1マイクロレンズ層上に、それぞれ光感知素子に対応して形成され、第1マイクロレンズ層の屈折率と異なる屈折率を有する第2マイクロレンズ層とから構成される。
【選択図】 図3
Description
32 層間絶縁層
33 保護層
34 カラーフィルター層
35 トップコーティング層
36 第1マイクロレンズ層
37 第2マイクロレンズ層
Claims (8)
- CMOSのイメージセンサーであって、
半導体基板上に形成された複数の光感知素子と、
前記複数の光感知素子の上に形成された層間絶縁層と、
前記光感知素子のそれぞれに対応していて、各波長帯域毎の光を透過させる複数のカラーフィルタ層と、
前記カラーフィルタ層上の全面に形成されて、光を集束する第1マイクロレンズ層と、
前記第1マイクロレンズ層の上に、それぞれの光感知素子に対応して形成され、第1マイクロレンズ層の屈折率とは異なる屈折率を有する第2マイクロレンズ層と、
を備えていることを特徴とするCMOSイメージセンサー。 - 第1マイクロレンズ層の屈折率は、第2マイクロレンズ層の屈折率に比べて大きくなっていることを特徴とする請求項1に記載のCMOSイメージセンサー。
- 第2マイクロレンズ層は凸状である半球形状に形成されていて、第1マイクロレンズ層は平板形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のCMOSイメージセンサー。
- CMOSイメージセンサーの製造方法であって、
複数の光感知素子が形成された半導体基板の上に、層間絶縁層を形成する段階と、
前記層間絶縁層の上に、各光感知素子に対応させたカラーフィルタ層を形成する段階と、
前記カラーフィルタ層の上に、第1マイクロレンズ層を形成する段階と、
前記第1マイクロレンズ層の上に、第2マイクロレンズ層を形成する段階と、
を備えていることを特徴とするCMOSイメージセンサーの製造方法。 - 第1マイクロレンズ層と第2マイクロレンズ層とはそれぞれ、酸化物層とフォトレジストとから形成され、または、互いの屈折率が異なるような任意の材料から形成されていることを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサー製造方法。
- カラーフィルタ層の屈折率をn3、第1マイクロレンズ層の屈折率をn2、第2マイクロレンズ層の屈折率をn1としたとき、屈折率の大きさが、
n3>n2>n1
の関係になっていることを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサー製造方法。 - 前記層間絶縁層とカラーフィルタ層との間に保護層を形成する段階を更に備えていることを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサー製造方法。
- 前記カラーフィルタ層と第1マイクロレンズ層との間に、トップコーティング層を形成する段階を更に備えていることを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサー製造方法。
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