JP2005064385A - 撮像素子、該撮像素子を備えたデジタルカメラ - Google Patents
撮像素子、該撮像素子を備えたデジタルカメラ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 撮像素子は、光電変換部104を有するセンサ基板10と、マイクロレンズ124、第1および第2の屈折率層125,129、およびダイクロイックフィルタ層132,135を少なくとも含む光学部材が透明のガラス基板120上に形成された光学基板12とが互いに貼り合わされて構成されている。上記の光学部材は、屈折率が互いに異なる複数種類の透明材料(SiO2やTiO2等)で構成されている。
【選択図】図1
Description
図1〜図5は本発明の第1の実施形態を示す図であり、図1は本発明の第1の実施形態の撮像素子の概略断面図、図2Aおよび図2Bは図1に示した撮像素子のセンサ基板の製造プロセスを示す図、図3Aおよび図3Bは図1に示した撮像素子の光学基板の製造プロセスを示す図、図4は図1に示した撮像素子のダイクロイックフィルタの分光特性図、図5は図1に示した撮像素子における光線追跡図である。
図7〜図11は本発明の第2の実施形態を示す図であり、図7は本発明の第2の実施形態の撮像素子の概略断面図、図8Aおよび図8Bは図7に示した撮像素子のセンサ基板の製造プロセスを示す図、図9Aおよび図9Bは図7に示した撮像素子の光学基板の製造プロセスを示す図である。
次に、図12を参照して、本発明の撮像素子をデジタルカメラに適用した場合の一実施形態について詳述する。図12は、本発明の撮像素子を適用したデジタルカメラを示すブロック図である。
12,22 光学基板
100,200 Si基板
101,201 酸化シリコン膜
102,105,108,111,115,122,126,130,133,202,205,208,211,214,222,225,228,231 フォトレジスト
103,106,112,116,123,127,131,134,230,206,209,212,215,223,226,229,232 フォトマスク
104,204 光電変換部
107,207 第1の配線層(Al配線層)
109 エッチングストッパ膜
110,114,210,216 層間膜
113,213 第2の配線層(Al配線層)
117 導波路
120,220 ガラス基板
121,221 低屈折率層
124,224 マイクロレンズ
125 第1の屈折率層
129 第2の屈折率層
132,135,138 ダイクロイックフィルタ層
136 反射防止層
227,230 カラーフィルタ
235 導波路
301 バリア
302 レンズ
303 絞り
304 固体撮像素子
305 撮像信号処理回路
306 A/D変換器
307 信号処理部
308 タイミング発生部
309 全体制御・演算部
310 メモリ部
311 記録媒体制御インターフェース部
312 記録媒体
313 外部インターフェース部
Claims (6)
- 光電変換部を有するセンサ基板と、光学部材が透明基板上に形成された光学基板とが互いに貼り合わされて構成されている撮像素子において、
前記光学部材は前記透明基板上に順に積層されたマイクロレンズ、第1および第2の屈折率層、およびダイクロイックフィルタ層を少なくとも含んでおり、
かつ前記光学部材は屈折率が互いに異なる複数種類の透明材料で構成されていることを特徴とする撮像素子。 - 前記複数種類の透明材料は2種類以上、4種類以下の透明材料からなる、請求項1に記載の撮像素子。
- 光電変換部を有するセンサ基板と、マイクロレンズおよびカラーフィルタが透明基板上に形成された光学基板とが互いに貼り合わされて構成された撮像素子において、
前記センサ基板および前記光学基板の互いの貼り合わせ面にはそれぞれ凹凸部が設けられており、前記センサ基板に設けられた凹凸部と前記光学基板に設けられた凹凸部とは、前記センサ基板と前記光学基板とを貼り合わせたときに互いに噛み合うように構成されていることを特徴とする撮像素子。 - 前記センサ基板に設けられた凹凸部と前記光学基板に設けられた凹凸部とは、前記センサ基板と前記光学基板とを貼り合わせたときに互いに隙間をおいて配置されるように構成されている、請求項3に記載の撮像素子。
- 前記光学基板に設けられた凹凸部のうちの凸部は前記カラーフィルタで構成されている、請求項3または4に記載の撮像素子。
- 撮像レンズで結像した被写体像を撮像素子で光電変換することによって画像信号を得るデジタルカメラであって、
前記撮像素子として請求項1から5のいずれか1項に記載の撮像素子を備えていることを特徴とするデジタルカメラ。
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