JP2006261248A - 撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の画素を有する撮像素子において、複数の画素毎に配置され、受光した光を電気信号に変換する光電変換部152と、撮像素子に入射する光を光電変換部に集光するためのマイクロレンズ159と、マイクロレンズと光電変換部との間に配置され、マイクロレンズの開口の最外周部に入射した光線が光電変換部の開口110aの最外周部に入射する場合の光線の光路である光学的境界線13により形成される仮想開口200の最外周部の略外側に位置する偏向部112aとを具備する。
【選択図】 図1
Description
11は外部からの水分などの混入を抑えるために施される保護膜であり、井戸部10と同一材料のSiNにより形成される。56は平坦な表面を提供するための平坦化膜、57は赤(R)・緑(G)・青(B)などのカラーフィルタで、さらに平坦化層58を介してマイクロレンズ59が形成されている。マイクロレンズ59は、不図示の撮影レンズから入射する光束を最終的に受光部52に効率よく導くことができるようにレンズ形状が決められており、またマイクロレンズ59の位置は、中央画素での撮影レンズの主光線(入射角0°)に合わせて決定されている。
すなわち、図7のCMOS撮像素子では、Fナンバーが1.9よりも小さいレンズと組み合わせた場合、レンズ性能を十分に発揮させることができなくなる。
112は、井戸部110の上面開口110aとマイクロレンズ159の開口を結ぶ光学的な境界線113により形成される中間の仮想開口200の外側にプリズム形状部112aを有し、このプリズム形状部112aにより仮想開口200の外側に入射する光線を井戸部110に入射するように偏向させるための偏向膜である。なお、上記の光学的な境界線113とは、上記のプリズム形状部112aが無いと仮定した場合に、マイクロレンズ159の開口の最外周部に入射した光線が井戸部110の上面開口110aの最外周部に入射する場合の光線の光路である。
110 井戸部
110a 上面開口
112 偏向膜
112a プリズム形状部
112a1,112a2 テーパ面
113 光学的な境界線
152 受光部
155 配線電極
156 平坦化膜
157 カラーフィルタ
159 マイクロレンズ
160 CMOS撮像素子
200 仮想開口
Claims (6)
- 複数の画素を有する撮像素子において、
前記複数の画素毎に配置され、受光した光を電気信号に変換する光電変換部と、
前記撮像素子に入射する光を前記光電変換部に集光するためのマイクロレンズと、
前記マイクロレンズと前記光電変換部との間に配置され、前記マイクロレンズの開口の最外周部に入射した光線が前記光電変換部の開口の最外周部に入射する場合の前記光線の光路である光学的境界線により形成される仮想開口の最外周部の略外側に位置する偏向手段と、
を具備することを特徴とする撮像素子。 - 前記偏向手段は、前記マイクロレンズから入射して前記仮想開口の外側に入射する光線を前記光電変換部の開口内に向かう方向に偏向させることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
- 前記偏向手段は、前記マイクロレンズに近い側に配置された第1の屈折率を有する材料からなるプリズム形状部と、該プリズム形状部の前記光電変換部に近い側に隣接して配置され、前記第1の屈折率よりも高い第2の屈折率を有する材料からなる膜状部とを有することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
- 前記プリズム形状部は、断面三角形状又は台形状に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の撮像素子。
- 前記光電変換部に隣接して配置された集光手段であって、第3の屈折率を有する材料から形成されるとともに前記マイクロレンズに向かって広がる錐体状に形成され、前記マイクロレンズからの光線を前記光電変換部に案内するガイド部と、該ガイド部を取り巻いて配置され前記第3の屈折率よりも低い第4の屈折率を有する材料から形成された層状部とを備える集光手段をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
- 前記光電変換部の開口とは、前記ガイド部の前記マイクロレンズ側の端部の開口であることを特徴とする請求項5に記載の撮像素子。
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