JPH0653458A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH0653458A
JPH0653458A JP4206311A JP20631192A JPH0653458A JP H0653458 A JPH0653458 A JP H0653458A JP 4206311 A JP4206311 A JP 4206311A JP 20631192 A JP20631192 A JP 20631192A JP H0653458 A JPH0653458 A JP H0653458A
Authority
JP
Japan
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light
microlenses
light receiving
state image
incident
Prior art date
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Pending
Application number
JP4206311A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshikimi Mori
嘉王 森
Toshiyuki Kozono
利幸 小薗
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体撮像装置の受光部への集光率を高め、感
度を向上させる。 【構成】 受光部２上のマイクロレンズ９とマイクロレ
ンズ９との間でカラーフィルター・レンズ間層８の表面
に凹部１０を形成した構造にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の固体撮像装置の断面図を示
す。図３において、１はシリコン基板、２はシリコン基
板１上に形成されたフォトダイオードからなる受光部、
３は受光部２で変換された電荷を転送する転送部、４は
転送部３に対向して形成されたポリシリコン、５はポリ
シリコン４上を覆うアルミ遮光膜、６はポリシリコン
４、アルミ遮光膜５を含んでシリコン基板１上に形成さ
れた平坦化層、７は平坦化層６上に形成されたカラーフ
ィルター層、８はカラーフィルター層７上に形成された
カラーフィルター・レンズ間層、９はカラーフィルター
・レンズ間層８上で受光部２に対向して各画素単位に分
離形成されたマイクロレンズであり、マイクロレンズ９
と隣接するマイクロレンズ９の間のカラーフィルター・
レンズ間層８は平坦になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
造では、マイクロレンズ９間に光が入射した場合、図４
に示すように、その光は集光されずにアルミ遮光膜５で
反射されてしまい、受光部２には入射されない。
【０００４】本発明は上記問題を解決するもので、マイ
クロレンズ間に入射する光を無駄なく受光部に入射さ
せ、感度を向上させることができる固体撮像装置を提供
することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の固体撮像装置は、マイクロレンズが形成され
たカラーフィルター・レンズ間層表面の、マイクロレン
ズ間の位置に凹部を形成したものである。
【０００６】
【作用】上記構成により、マイクロレンズ間に入射する
光は凹部により屈折され、受光部に無駄なく入射するよ
うになり、固体撮像装置の感度を向上させることができ
る。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例について図面を参照し
ながら説明する。図１は本発明の一実施例の固体撮像装
置の断面図であり、図３と同一符号のものは同一の機能
を有し、その詳細な説明は省略する。図１において、１
０はマイクロレンズ９間のカラーフィルター・レンズ間
層８の表面に形成された凹部である。
【０００８】図２は上記構成において光の入射を説明す
る図である。従来の場合は図３に示すように、マイクロ
レンズ９間に入射した光は集光されずアルミ遮光膜５へ
向かい反射されてしまい受光部２には入射されない。本
実施例では、図２に示すように、そこに入射した光は凹
部１０により屈折され、受光部２に入射する。このよう
にして受光部２への集光率は高められ、同一光量でも受
光部２に入射される光量は多くなり、固体撮像装置の感
度を向上できる。
【０００９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、マイク
ロレンズの間に凹部を形成することにより入射光の集光
率は高められ、受光により多くの光量が入射され、固体
撮像装置の感度向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の固体撮像装置の断面図
【図２】本発明の一実施例の固体撮像装置における光の
入射を説明する図
【図３】従来の固体撮像装置の断面図
【図４】従来の固体撮像装置における光の入射を説明す
る図
【符号の説明】
１ シリコン基板 ２ 受光部 ３ 転送部 ４ ポリシリコン ５ アルミ遮光膜 ６ 平坦化層 ７ カラーフィルター層 ８ カラーフィルター・レンズ間層 ９ マイクロレンズ層 10 凹部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】マイクロレンズが形成されたカラーフィル
    ターレンズ間層の、マイクロレンズ間に凹部を形成した
    ことを特徴とする固体撮像装置。
JP4206311A 1992-08-03 1992-08-03 固体撮像装置 Pending JPH0653458A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0945884A (ja) * 1995-07-31 1997-02-14 Nec Corp 固体撮像装置及びその製造方法
GB2335078A (en) * 1998-03-05 1999-09-08 Samsung Electronics Co Ltd CCD microlens array
KR20020057277A (ko) * 2000-12-30 2002-07-11 박종섭 이중 렌즈를 구비하는 이미지 센서 및 그 제조 방법
KR20030002901A (ko) * 2001-06-30 2003-01-09 주식회사 하이닉스반도체 이미지센서
JP2006032897A (ja) * 2004-07-15 2006-02-02 Dongbuanam Semiconductor Ltd Ｃｍｏｓイメージセンサー及びその製造方法
KR100782778B1 (ko) * 2006-08-31 2007-12-05 동부일렉트로닉스 주식회사 이미지 센서의 평탄화층을 제조하는 방법 및 상기 평탄화층을 포함하는 이미지 센서

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0945884A (ja) * 1995-07-31 1997-02-14 Nec Corp 固体撮像装置及びその製造方法
GB2335078A (en) * 1998-03-05 1999-09-08 Samsung Electronics Co Ltd CCD microlens array
US6157017A (en) * 1998-03-05 2000-12-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Solid-state imaging devices having combined microlens and light dispersion layers for improved light gathering capability and methods of forming same
KR20020057277A (ko) * 2000-12-30 2002-07-11 박종섭 이중 렌즈를 구비하는 이미지 센서 및 그 제조 방법
KR20030002901A (ko) * 2001-06-30 2003-01-09 주식회사 하이닉스반도체 이미지센서
JP2006032897A (ja) * 2004-07-15 2006-02-02 Dongbuanam Semiconductor Ltd Ｃｍｏｓイメージセンサー及びその製造方法
US7297570B2 (en) 2004-07-15 2007-11-20 Dongbu Electronics Co., Ltd. Complementary metal oxide semiconductor image sensor and method for fabricating the same
KR100782778B1 (ko) * 2006-08-31 2007-12-05 동부일렉트로닉스 주식회사 이미지 센서의 평탄화층을 제조하는 방법 및 상기 평탄화층을 포함하는 이미지 센서

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