JP2012114882A5 - 固体撮像素子及びカメラ - Google Patents

Description

本発明の固体撮像素子は、光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の光入射側に配置された光導波路と、を備えた画素を有する固体撮像素子であって、少なくとも前記光電変換部は基板内に配置され、前記光導波路は、それぞれがコア部とクラッド部とからなる第１の光導波路と第２の光導波路とを有し、前記第２の光導波路は前記第１の光導波路よりも前記光電変換部側に設けられ、前記第２の光導波路は、前記基板の面内方向に平行な方向に複数のコア部を有することを特徴とする。
また、本発明の固体撮像素子は、光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の光入射側に配置されたコア部とクラッド部とからなる光導波路と、を備えた画素を有する固体撮像素子であって、少なくとも前記光電変換部は基板内に配置され、前記光導波路はそれぞれがコア部とクラッド部とからなる第１の光導波路と第２の光導波路とを有し、前記第２の光導波路は前記第１の光導波路よりも前記光電変換部側に設けられ、前記光導波路のコア部は前記第１の光導波路のコア部と前記第２の光導波路のコア部を含み、前記第１の光導波路のコア部の屈折率は前記第２の光導波路のコア部の屈折率よりも小さく、前記光導波路のコア部内に遮光部材を有することを特徴とする。

Claims (14)

1. 光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の光入射側に配置された光導波路と、を備えた画素を有する固体撮像素子であって、
   少なくとも前記光電変換部は基板内に配置され、
   前記光導波路は、それぞれがコア部とクラッド部とからなる第１の光導波路と第２の光導波路とを有し、前記第２の光導波路は前記第１の光導波路よりも前記光電変換部側に設けられ、
   前記第２の光導波路は、前記基板の面内方向に平行な方向に複数のコア部を有することを特徴とする固体撮像素子。
2. 前記光電変換部は、前記基板の面内方向に複数の光電変換部を有することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
3. 前記複数の光電変換部は、前記第２の光導波路の複数のコア部にそれぞれ対応していることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像素子。
4. 前記第１の光導波路は、前記第２の光導波路の複数のコア部の全体に対応して設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
5. 前記第１の光導波路のコア部の屈折率は、前記第２の光導波路の複数のコア部の屈折率のいずれよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
6. 光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の光入射側に配置されたコア部とクラッド部とからなる光導波路と、を備えた画素を有する固体撮像素子であって、
   少なくとも前記光電変換部は基板内に配置され、
   前記光導波路は、それぞれがコア部とクラッド部とからなる第１の光導波路と第２の光導波路とを有し、前記第２の光導波路は前記第１の光導波路よりも前記光電変換部側に設けられ、前記光導波路のコア部は前記第１の光導波路のコア部と第２の光導波路のコア部を含み、
   前記第１の光導波路のコア部の屈折率は前記第２の光導波路のコア部の屈折率よりも小さく、
   前記光導波路のコア部内に遮光部材を有することを特徴とする固体撮像素子。
7. 前記遮光部材は、前記第１の光導波路のコア部と前記第２の光導波路のコア部との間に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の固体撮像素子。
8. 前記遮光部材は、前記第１の光導波路の射出端に配置されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の固体撮像素子。
9. 前記遮光部材は、前記画素の中心軸に対してその中心位置をシフトさせて配置されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
10. 前記第１の光導波路のコア部は、有機材料を含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
11. 前記第２の光導波路のコア部は、無機材料を含むことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
12. 前記第１の光導波路と前記第２の光導波路との間に、前記第１の光導波路のコア部の屈折率より大きく、前記第２の光導波路のコア部の屈折率より小さい屈折率をもつ材料を含む部材を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
13. 前記第１の光導波路は、前記画素の中心軸に対して非対称な形状を有することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
14. 請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の固体撮像素子と、結像レンズと、を有するカメラ。