JP6271900B2 - 固体撮像素子およびそれを用いた撮像装置 - Google Patents
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Description
前記ステップ状の部分の屈折率差が0.15以上であり、前記高屈折率領域の少なくとも一部の表面が、前記低屈折率領域と、前記マイクロレンズの入射面と前記光分離層との間に前記高屈折率領域及び前記低屈折率領域と隣接して配置されており前記高屈折率領域よりも屈折率の低い低屈折率媒質と、に覆われており、前記高屈折率領域が、前記画素の外側にまで配置されていることを特徴とする。
図1(a)は、実施形態1における固体撮像素子の一部に配置された測距画素100の概略図である。測距画素100は、光の入射側より順に、瞳分割手段であるマイクロレンズ101と、光分離層110と、集光用のマイクロレンズ102と、導波路上膜103と、導波路104と、光電変換部121、122と、を有している。導波路104はコア104aとクラッド104bとで構成されている。マイクロレンズ101は、後述する撮像装置の結像光学系の射出瞳を通過した光束を分割する。より具体的には、マイクロレンズ101は、結像光学系の射出瞳の約半分を通過した光束をマイクロレンズ102の一方へ、他の約半分を通過した光束をマイクロレンズ102の他方へ分割し、瞳分割光束を生成する。そして、瞳分割光束は、は、コア104a内を導波して光電変換部121、122で受光される。
図2は、本実施形態に係る固体撮像素子の測距画素100及び、従来の固体撮像素子の測距画素1000の感度の入射角依存性を比較して示したものである。従来の測距画素1000の構成は、図14(a)で図示されており、図1(a)の測距画素100とは、光分離層110が配置されていない点で異なる。図2から、従来の測距画素1000に対し、本実施形態の測距画素100はどの入射角度であっても、感度が向上していることがわかる。なお、入射角度は、図1(a)のz軸を基準としたものである。例えば、入射角度+10(deg)の光とは、z軸から+x方向に10(deg)傾いた角度から入射する光のことである。
光分離層110において、低屈折率領域113を形成する媒質の屈折率と、高屈折率領域111、112を形成する媒質の屈折率と、の屈折率差が大きいほうが好ましい。それは、低屈折率領域113に入射する光束を、高屈折率領域111側もしくは高屈折率領域112側に曲げる効果を大きくするためである。図3は、低屈折率領域113を形成する媒質と高屈折率領域111、112を形成する媒質との屈折率差の変化に伴う測距画素100の感度の入射依存性を示したものである。図3より、屈折率差が大きくなるほど測距画素100の感度が高くなっている。特に、屈折率差が0.15以上の場合には、垂直入射光(角度0(deg))に対する感度が、ピーク値の8割以上となる。従って、光分離層110において、屈折率のステップ状の部分の屈折率差は0.15以上であることが好ましい。さらに、屈折率のステップ状の部分の屈折率差が0.30以上であれば、垂直入射光(角度0(deg))に対する感度が、ピーク値とほぼ等しくなるため、更に好ましい。また、ステップ状の部分の屈折率差は、光分離層110として使用できる材料の観点から0.50以下であることが好ましい。
また、光分離層110の効果を大きくするためには、光分離層110の物理的な厚さは、入射光が屈折率のステップ状の変化を感じることができる程度厚いほうが好ましい。具体的には、光分離層110の物理的な厚さに、ステップ状の部分の屈折率差を乗じた値が、入射光の波長の0.10倍以上であることが好ましい。例えば、入射光の波長が600nm、屈折率差が0.30の場合は、光分離層110の物理的な厚さは200nm以上であることが好ましい。
図4(a)は、低屈折率領域113の幅が広い場合の低屈折率領域113の中央付近に入射した光の様子を示している。この場合、低屈折率領域113の中央付近に入射した光が、光分離層110内のステップ状に変化する屈折率差による影響を十分に受けない。そのため、バリア領域123にそのまま入射してしまう。一方、図4(b)は、低屈折率領域113の幅が狭い場合の低屈折率領域113の中央付近に入射した光の様子を示している。この場合、低屈折率領域113の中央付近に入射した光が十分に曲げられずに、バリア領域123にそのまま入射してしまう。なお、バリア領域123の幅とは光電変換部121、122の間の距離である。
光分離層110の製造方法は以下の二通りのどちらかを用いればよい。一つ目の方法は、低屈折率領域113を形成する媒質を成膜した後、フォトリソグラフィとエッチングによって光電変換部121、122の上部を除去し、そこに高屈折率領域111、112を形成する媒質を充填する方法である。この場合、図5(a)で示すように、一般的には高屈折率領域111、112の形状は、光の入射側から光電変換部121、122側に向かって徐々に小さくなる逆テーパー形状となる。
上記の例では、光分離層110において、高屈折率領域111、112を構成する材料と低屈折率領域113を構成する材料の種類を変えることで、屈折率をステップ状に変化させる例を示した。しかし、入射する光が感じる実効的な屈折率がステップ状に変化していればよい。
固体撮像素子は、上述した測距画素100(あるいは測距画素150)のみを有する構成でもよいが、図9(a)で示すような測距画素の他に通常の撮像画素130を有していてもよい。撮像画素130は、測距画素とは異なり、画素中に単一の光電変換部124を有し、光束の入射方向によらずに同一の光電変換部124で光を検出する構成になっている。
図10は、本実施形態に係る固体撮像素子を備えた撮像装置190の概略図である。撮像装置190は、測距画素100を有する固体撮像素子193の他に、結像光学系191、CPU192、転送回路194、信号処理部195を有する。CPU192は、転送回路194、信号処理部195の動作を制御する。光電変換部121、122で取得した信号を転送回路194によって信号処理部195に転送し、信号処理部195で各像を形成し、各々の像を信号処理部195で比較することで測距を行っている。また、同様に光電変換部121、122で取得した信号は、信号処理部195で処理され、撮影画像用の信号としても使用される。
図11は、本実施形態に係る固体撮像素子の一部もしくは全部に配置された測距画素200の概略図である。本実施形態に係る測距画素200は、実施形態1に示す測距画素100に対し、マイクロレンズ102がなく、導波路上膜103と光分離層210が接続している点で異なっている。導波路104の上部に導波路104のコア104aと同一の材料からなる導波路上膜103が配置されている。このため、光分離層210と導波路上膜103と導波路104とが接続されている。このような構成とすることで、マイクロレンズ102を設ける工程が不要となり、光分離層210を導波路上膜103の一部分を除去することにより製造できるため、製造が容易となる。
測距画素200の具体的な製造方法を、図12を用いて説明する。なお、公知の構成についての製造方法の詳細な説明は省略する。まず、図12(a)で示すように、基板120内に光電変換部121、122を形成し、次に、ゲッタリング層106、クラッド部材104cと配線105を形成する。次に、図12(b)で示すように、クラッド部材104cにおいて、導波路104のクラッド104bとなる部分を残し、コアとなる部分をフォトリソグラフィとエッチングによって除去する。
<光電変換部直上に光分離層を配置した場合>
図13(a)は、本実施形態に係る固体撮像素子の一部もしくは全部に配置された測距画素300の概略図である。測距画素300は、実施形態1に示す測距画素100に対し、マイクロレンズ102、導波路上膜103、導波路104が設けられず、ゲッタリング層106を介して光電変換部121、122の直上に光分離層310が設けられている点が異なる。また、バリア領域123上には配線が設けられず、図1(a)のバリア領域123上の配線105に対応する配線は、光電変換部121、122の外側の配線305の一部で構成される。
101 マイクロレンズ
108 導波路
110 光分離層
111、112、161、162、163、164、311、312 高屈折率領域
113、165、313 低屈折率領域
121、122、171、172、173、174 光電変換部
193 固体撮像素子
Claims (16)
- マイクロレンズと前記マイクロレンズを通過した光を受光する複数の光電変換部とを有する画素、を有する固体撮像素子であって、
前記マイクロレンズと前記複数の光電変換部の間に、前記複数の光電変換部の上に配置されている複数の高屈折率領域と、前記複数の高屈折率領域の間に配置されており前記高屈折率領域よりも屈折率の低い低屈折率領域と、を有する光分離層を有し、
前記高屈折率領域と前記低屈折率領域との境界において、屈折率がステップ状に変化しており、
前記ステップ状の部分の屈折率差が0.15以上であり、
前記高屈折率領域の少なくとも一部の表面が、前記低屈折率領域と、前記マイクロレンズの入射面と前記光分離層との間に前記高屈折率領域及び前記低屈折率領域と隣接して配置されており前記高屈折率領域よりも屈折率の低い低屈折率媒質と、に覆われており、
前記高屈折率領域が、前記画素の外側にまで配置されていることを特徴とする、固体撮像素子。 - 前記ステップ状の部分の屈折率差が0.30以上であることを特徴とする、請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記ステップ状の部分の屈折率差が0.50以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の固体撮像素子。
- 前記光分離層の物理的な厚さに、前記ステップ状の部分の屈折率差を乗じた値が、入射光の波長の0.10倍以上であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記光分離層の物理的な厚さに、前記高屈折率領域の屈折率を乗じた値が、入射光の波長の2.0倍以下であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記低屈折率領域の幅が、前記複数の光電変換部の間の距離の0.40倍以上であることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記低屈折率領域の幅が、前記複数の光電変換部の間の距離の1.4倍以下であることを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記ステップ状の部分の幅が、入射光の波長以下であることを特徴とする、請求項1から7のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記ステップ状の部分の幅が、入射光の波長の0.20倍以下であることを特徴とする、請求項1から8のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記光分離層において、前記高屈折率領域の平面視形状が、四角形であることを特徴とする、請求項1から9のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記光分離層と前記複数の光電変換部の間に、前記複数の光電変換部の各々に対応した複数のレンズを有することを特徴とする、請求項1から10のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記光分離層と前記複数の光電変換部の間に、前記複数の光電変換部の各々に対応した複数の導波路を有することを特徴とする、請求項1から11のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記導波路と前記光分離層との間に、前記導波路のコアと同一の材料からなる導波路上膜を有し、前記高屈折率領域と前記導波路上膜と前記導波路とが接続されていることを特徴とする、請求項12に記載の固体撮像素子。
- 前記導波路上膜の厚さが、200nm以上800nm以下であることを特徴とする、請求項13に記載の固体撮像素子。
- 前記複数の光電変換部の間に対応する領域に配線が設けられていることを特徴とする、請求項1から14のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 結像光学系と、請求項1から15のいずれか1項に記載の固体撮像素子と、を備えた撮像装置。
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