JP2009252983A - 撮像センサー、及び撮像センサーの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部導波構造14は、上部の幅W1が下部の幅W2より広い。上部導波構造14は、上面縁部14bから下面縁部14cへ光電変換部2の受光面の中心を通る法線PA1に近づくように傾斜しながら延びた側面14aを有する。また、エアギャップ構造AG1における隙間11は、光電変換部2の受光面における内側領域を露出せずに外側領域を露出するように、第1の層間絶縁膜4aとなるべき第1の層間絶縁層をエッチングして形成できる。
【選択図】図2
Description
rc=1.22*λ*(Fナンバー)=0.61*λ/NA・・・数式1
となる。但し、Fナンバー=(1/2)*NAとし、NA=n*sinαとしている。収束可能な光束径(直径)は、数式1により、
d=2*rc=1.22*λ/NA・・・数式2
と表すことができる。
d=1.68μm・・・数式3
と算出される。この値は、上述の画素ピッチに近い値になっており、フォトダイオード上の遮光層により規定される開口領域の寸法に近い値になっている。
Claims (9)
- 光電変換部と、
光を前記光電変換部へ導く光導波路と、
を備え、
前記光導波路は、
前記光が前記光電変換部へ向かうように、第1の絶縁部より屈折率の高い物質が前記第1の絶縁部で側面を囲まれた上部導波構造と、
前記光電変換部と前記上部導波構造との間に部材が配され、前記部材と第2の絶縁部との間に隙間が設けられたエアギャップ構造と、
を含む
ことを特徴とする撮像センサー。 - 前記部材は、前記第2の絶縁部と同じ物質で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像センサー。 - 前記光電変換部の上方に配されたマイクロレンズと、
前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に配された複数の配線層と、
をさらに備え、
前記エアギャップ構造は、前記光電変換部の受光面を含む第1の平面と前記複数の配線層における最下の配線層の下面を含む第2の平面との間に配されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像センサー。 - 前記光導波路は、前記上部導波構造と前記エアギャップ構造との間に配された反射防止膜をさらに含む
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像センサー。 - 前記上部導波構造は、上部の幅が下部の幅より広い
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の撮像センサー。 - 前記上部導波構造は、上面縁部から下面縁部へ前記光電変換部の受光面の中心を通る法線に近づくように傾斜しながら延びた側面を有する
ことを特徴とする請求項5に記載の撮像センサー。 - 光電変換部と、
光を前記光電変換部へ導く光導波路と、
を備え、
前記光導波路は、
前記光が前記光電変換部へ向かうように、第1の絶縁部より屈折率の高い物質が前記第1の絶縁部で側面を囲まれた上部導波構造と、
前記光電変換部と前記上部導波構造との間における絶縁層が前記光電変換部の受光面における内側領域を露出せずに外側領域を露出するようにエッチングされることにより、前記絶縁層のうち前記内側領域の上の部分である部材と、前記絶縁層のうち前記外側領域の周辺の部分である第2の絶縁部との隙間が設けられたエアギャップ構造と、
を含む
ことを特徴とする撮像センサー。 - 光電変換部を有する撮像センサーの製造方法であって、
前記光電変換部を覆うように第1の絶縁層を形成する第1の工程と、
前記光電変換部の受光面における内側領域を露出せずに外側領域を露出するように前記第1の絶縁層をエッチングすることにより、前記第1の絶縁層のうち前記内側領域の上の部分である部材と、前記第1の絶縁層のうち前記外側領域の周辺の部分である第1の絶縁膜との隙間が設けられたエアギャップ構造を形成する第2の工程と、
前記エアギャップ構造の上に反射防止膜を形成する第3の工程と、
前記反射防止膜の上に第2の絶縁層を形成する第4の工程と、
前記第2の絶縁層における前記エアギャップ構造の上方に位置する部分に開口を形成することにより、第2の絶縁膜を形成する第5の工程と、
前記第2の絶縁膜よりも屈折率の高い物質を前記開口に埋め込むことにより、上部導波構造を形成する第6の工程と、
前記上部導波構造の上方にマイクロレンズを形成する第7の工程と、
を備え、
前記上部導波構造、前記反射防止膜、及び前記エアギャップ構造は、前記マイクロレンズを通過した光を前記光電変換部へ導く光導波路として機能する
ことを特徴とする撮像センサーの製造方法。 - 前記第5の工程では、前記反射防止膜が、前記開口を形成するように前記第2の絶縁層をエッチングする際におけるエッチングストッパーとして機能する
ことを特徴とする請求項8に記載の撮像センサーの製造方法。
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