JP2010118477A - 光電変換装置及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換装置は、光電変換部と、前記光電変換部へ光を導く導波路構造とを備え、前記導波路構造は、前記光電変換部の上方に配され、第1の絶縁物より屈折率の高い第1の物質の側面が前記第1の絶縁物で囲まれた上部構造と、前記光電変換部と前記第1の物質との間に第2の絶縁物より屈折率の高い第2の物質が配され、前記第2の物質の側面が前記第2の絶縁物で囲まれた下部構造とを含み、前記第2の物質の誘電率は、前記第1の物質の誘電率より低い。
【選択図】図2
Description
100、200、300 光電変換装置
Claims (7)
- 光電変換部と、
前記光電変換部へ光を導く導波路構造と、
を備え、
前記導波路構造は、
前記光電変換部の上方に配され、第1の絶縁物より屈折率の高い第1の物質の側面が前記第1の絶縁物で囲まれた上部構造と、
前記光電変換部と前記第1の物質との間に第2の絶縁物より屈折率の高い第2の物質が配され、前記第2の物質の側面が前記第2の絶縁物で囲まれた下部構造と、
を含み、
前記第2の物質の誘電率は、前記第1の物質の誘電率より低い
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記下部構造では、前記第2の物質の側面が隙間を介して前記第2の絶縁物で囲まれている
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記隙間は、真空である、あるいは、空気が満たされている
ことを特徴とする請求項2に記載の光電変換装置。 - 前記第1の絶縁物及び前記第2の絶縁物は、いずれも、酸化シリコンで形成されており、
前記第1の物質は、窒化シリコンで形成されており、
前記第2の物質は、酸窒化シリコンで形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記第1の物質の下面は、前記光電変換部の受光面に垂直な方向から透視した場合に、前記第2の物質の上面の内側に位置している
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光電変換装置。 - 前記第1の物質の下面は、前記光電変換部の受光面に垂直な方向から透視した場合に、前記第1の物質の上面の内側に位置している
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光電変換装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置の撮像面へ像を形成する光学系と、
前記光電変換装置から出力された信号を処理して画像データを生成する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする撮像システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008290323A JP2010118477A (ja) | 2008-11-12 | 2008-11-12 | 光電変換装置及び撮像システム |
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JP2008290323A JP2010118477A (ja) | 2008-11-12 | 2008-11-12 | 光電変換装置及び撮像システム |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9634058B2 (en) | 2013-02-25 | 2017-04-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor and computing system having the same |
JP2019075441A (ja) * | 2017-10-13 | 2019-05-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および機器 |
JP2020038960A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像素子 |
US20220130809A1 (en) * | 2020-10-27 | 2022-04-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor structure and method for forming the same |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004221532A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-08-05 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2007095792A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Canon Inc | 撮像装置 |
-
2008
- 2008-11-12 JP JP2008290323A patent/JP2010118477A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004221532A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-08-05 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2007095792A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Canon Inc | 撮像装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9634058B2 (en) | 2013-02-25 | 2017-04-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor and computing system having the same |
US10096634B2 (en) | 2013-02-25 | 2018-10-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor and computing system having the same |
JP2019075441A (ja) * | 2017-10-13 | 2019-05-16 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および機器 |
JP2020038960A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 固体撮像素子 |
US20220130809A1 (en) * | 2020-10-27 | 2022-04-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor structure and method for forming the same |
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