JP2007287872A - 半導体素子及び半導体素子の製造方法 - Google Patents
半導体素子及び半導体素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる半導体素子10は、基板21と、基板21に形成された光電変換部20Aを備え、光電変換部20A上に、透光性材料からなるテーパ形状の光導波路部31,41,51が複数積層されている。
【選択図】図4
Description
(1)基板と、基板に形成された光電変換部を備えた半導体素子であって、前記光電変換部上に、透光性材料からなるテーパ形状の光導波路部が複数積層されていることを特徴とする半導体素子。
(2)前記複数の光導波路部がそれぞれ下側に向ってその断面積が小さくなるように形成されていることを特徴とする上記(1)に記載の半導体素子。
(3)基板と、基板に形成された光電変換部を備えた半導体素子の製造方法であって、前記光電変換部上に、層間絶縁膜と透光性材料からなるテーパ形状の光導波路部とからなる層を、配線部ごとに複数積層することを特徴とする半導体素子の製造方法。
(4)前記光導波路部を、それぞれ下側に向ってその断面積が小さくなるように形成することを特徴とする上記(3)に記載の半導体素子の製造方法。
(5)前記光導波路部が、前記層間絶縁膜をパターニングしてエッチングで形成された開口に前記透光性材料を埋め込むことで形成されていることを特徴とする上記(3)又は(4)に記載の半導体素子の製造方法。
図1は、本実施形態の固体撮像素子の構造の一部を説明する断面図である。図2,3は、本実施形態の固体撮像素子の製造工程の一部を説明する断面図である。図4は、本実施形態の固体撮像素子を示す断面図である。
11,12,13 層
20A 光電変換部
20B 電荷転送部
21 基板
31,41,51 光導波路
28,42,52 層間絶縁膜
Claims (5)
- 基板と、基板に形成された光電変換部を備えた半導体素子であって、
前記光電変換部上に、透光性材料からなるテーパ形状の光導波路部が複数積層されていることを特徴とする半導体素子。 - 前記複数の光導波路部がそれぞれ下側に向ってその断面積が小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 基板と、基板に形成された光電変換部を備えた半導体素子の製造方法であって、
前記光電変換部上に、層間絶縁膜と透光性材料からなるテーパ形状の光導波路部とからなる層を、配線部ごとに複数積層することを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記光導波路部を、それぞれ下側に向ってその断面積が小さくなるように形成することを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記光導波路部が、前記層間絶縁膜をパターニングしてエッチングで形成された開口に前記透光性材料を埋め込むことで形成されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体素子の製造方法。
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