JP2010009025A5 - - Google Patents
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Claims (22)
- 基板の表面上に複数の開口部を備えた遮光性の導電体層を配して構成され、第一の波長の光を選択的に透過せしめる光学フィルタであって、
前記開口は、直交する２つの方向に有限の第一の波長以下の大きさを有し、
前記基板表面の面積に対する前記導電体層の面積の割合が、３６％以上７４％以下の範囲にあると共に、
前記導電体層に接して形成された誘電体層を備え、
前記導電体層に入射する光により前記開口部に誘起される表面プラズモンにより前記第一の波長の透過率を極大値とさせることを特徴とする光学フィルタ。 - 前記複数の開口部が、格子状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
- 前記第一の波長は可視域にあることを特徴とする請求項１または２に記載の光学フィルタ。
- 前記開口の形状が円形、正多角形のいずれかであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層の層厚は、可視域の光の波長以下の長さである請求項１から４のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層がＡｌもしくはＡｌを含む合金で構成されたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記基板は、誘電体からなることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記誘電体が酸化ケイ素、酸化チタン、窒化シリコンのいずれかで構成されることを特徴とする請求項７に記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が２２０ｎｍ以上２７０ｎｍ以下の範囲にあり、厚さは１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲にあり、配列周期が３１０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長６００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲に発現することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が１８０ｎｍ以上２２０ｎｍ未満の範囲にあり、厚さは１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲にあり、配列周期が２５０ｎｍ以上３１０ｎｍ以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長５００ｎｍ以上６００ｎｍ未満の範囲に発現することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が１００ｎｍ以上１８０ｎｍ未満の範囲にあり、厚さは１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の範囲にあり、配列周期が１７０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長４００ｎｍ以上５００ｎｍ未満の範囲に発現することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記基板の面内方向に、前記複数の開口からなる開口群とは、異なる別の開口群を有し、前記開口群と、前記別の開口群と、はこれら開口群を構成する開口の周期が互いに異なり、これらの開口群が前記基板上の相違した領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の開口を第１の開口として構成される第１の開口群とは別に、前記基板の面内方向の相違した領域に複数の第２の開口からなる第２の開口群を有し、前記第２の開口は前記第１の開口とは異なる大きさを有し、前記第２の開口群は、前記第一の波長とは異なる第二の波長の光の透過率を極大値とさせることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の開口を第１の開口として構成される第１の開口群と、これとは別の第２の開口からなる第２の開口群と、が前記基板上の重複した領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
- 前記第１の開口群を構成する第１の開口の周期と、前記第２の開口群を構成する第２の開口の周期と、は互いに異なり、前記第１の開口の大きさと、前記第２の開口の大きさと、が互いに等しいことを特徴とする請求項１４に記載の光学フィルタ。
- 前記第１の開口の大きさと、前記第２の開口の大きさと、が異なることを特徴とする請求項１４に記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層が、前記基板上に複数層配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
- 半導体基板に形成された光電変換部と、前記光電変換部に光を導くレンズと、電気回路部と、請求項１から１７のいずれかに記載の光学フィルタと、を備えたことを特徴とする光検出素子。
- 請求項１８に記載の光検出素子をマトリクス状に複数配置したこと特徴とする撮像素子。
- ＣＭＯＳセンサを構成することを特徴とする請求項１９に記載の撮像素子。
- 撮影レンズと、撮像素子と、を備えたカメラであって、前記撮像素子が請求項１９または２０に記載の撮像素子であることを特徴とするカメラ。
- 複数の画素を備えたセンサと、請求項１から１７のいずれかに記載の光学フィルタと、を有することを特徴とする分光素子。
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