JP2014093343A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面の固体撮像素子は、複数の光電変換部と、該光電変換部よりも光の入射側に設けられた導波路と、を有する画素を含む固体撮像素子である。そして、前記導波路は、コア部材と、前記コア部材よりも屈折率が低い媒質により形成されるクラッド部材と、を有し、前記複数の光電変換部と前記導波路の間に、前記導波路から射出された光が伝搬する、該導波路の前記コア部材よりも屈折率が低い媒質を有する層が設けられたことを特徴とする。また、本発明の他の一側面の固体撮像素子は、複数の光電変換部と、該光電変換部よりも光の入射側に設けられた導波路と、を有する画素を含む固体撮像素子であって、前記導波路は、コア部材と、前記コア部材よりも屈折率が低い媒質により形成されるクラッド部材と、を有し、前記複数の光電変換部と前記導波路の間に、該導波路の前記コア部材よりも屈折率が低い媒質を有する層が設けられ、前記複数の光電変換部の間の領域に相対する位置に、前記層又は前記コア部材の少なくとも一方に覆われた散乱部が設けられ、前記コア部材の複数の射出端は、前記層に接し、前記散乱部により互いに分離されている。

Claims (15)

1. 複数の光電変換部と、該光電変換部よりも光の入射側に設けられた導波路と、を有する画素を含む固体撮像素子であって、
   前記導波路は、コア部材と、前記コア部材よりも屈折率が低い媒質により形成されるクラッド部材と、を有し、
   前記複数の光電変換部と前記導波路の間に、前記導波路から射出された光が伝搬する、該導波路の前記コア部材よりも屈折率が低い媒質を有する層が設けられたことを特徴とする固体撮像素子。
2. 前記層の厚みは４０ｎｍ以上であることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像素子。
3. 前記層の厚みは１２０ｎｍ以上であることを特徴とする、請求項１に記載の固体撮像素子。
4. 当該固体撮像素子の中央部に位置する画素よりも、当該固体撮像素子の周辺部に位置する画素の方が、前記層の厚みが厚くなっていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
5. 前記複数の光電変換部の間の領域に対応する位置に、周囲の媒質よりも屈折率が低い媒質からなる散乱部が設けられていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
6. 前記散乱部の少なくとも一部が前記層の中に含まれることを特徴とする、請求項５に記載の固体撮像素子。
7. 前記散乱部が前記層に包含されていることを特徴とする、請求項５に記載の固体撮像素子。
8. 前記散乱部と前記複数の光電変換部の間の領域との間の距離が２０ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項６または７に記載の固体撮像素子。
9. 当該固体撮像素子の中央部に位置する画素よりも、当該固体撮像素子の周辺部に位置する画素の方が、前記散乱部の大きさが大きいことを特徴とする、請求項５から８のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
10. 前記層の中において、前記光電変換部よりも外側の部分に対応する部分に光吸収部が形成されていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか１項に記載の固体撮像素子。
11. 当該固体撮像素子の中央部に位置する画素よりも、当該固体撮像素子の周辺部に位置する画素の方が、前記光吸収部の大きさが大きいことを特徴とする、請求項１０に記載の固体撮像素子。
12. 複数の光電変換部と、該光電変換部よりも光の入射側に設けられた導波路と、を有する画素を含む固体撮像素子であって、
    前記導波路は、コア部材と、前記コア部材よりも屈折率が低い媒質により形成されるクラッド部材と、を有し、
    前記複数の光電変換部と前記導波路の間に、該導波路の前記コア部材よりも屈折率が低い媒質を有する層が設けられ、
    前記複数の光電変換部の間の領域に相対する位置に、前記層又は前記コア部材の少なくとも一方に覆われた散乱部が設けられ、
    前記コア部材の複数の射出端は、前記層に接し、前記散乱部により互いに分離されていることを特徴とする固体撮像素子。
13. 請求項１から１２のいずれか１項に記載の固体撮像素子と、
    前記複数の光電変換部からの複数の出力信号を用いて被写体の距離情報を取得する信号処理部と、を有することを特徴とする測距装置。
14. 請求項１３に記載の測距装置と、被写体の像を前記固体撮像素子上に結像する光学系と、を有することを特徴とする撮像装置。
15. 請求項１３に記載の測距装置を有することを特徴とするカメラ。