JP2012173347A5

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Publication number: JP2012173347A5
Application number: JP2011032432A
Authority: JP
Filing date: 2011-02-17
Publication date: 2014-04-03
Anticipated expiration: 2031-02-17

Description

本発明の光モジュールでは、前記接着層の厚み寸法は、当該接着層の厚み寸法をＴａ（ｍｍ）、前記第一基板の線膨張係数をα１（Ｋ−１）、前記第一基板のヤング率をＥ１（ＧＰａ）、前記第一基板の厚み寸法をＴ１（ｍｍ）、前記固定部の線膨張係数をα２（Ｋ−１）、前記固定部のヤング率をＥ２（ＧＰａ）、前記固定部の厚み寸法をＴ２（ｍｍ）、ゲル状樹脂に基づく係数をＡとして、
（α１・Ｅ１・Ｔ１２）≦（α２・Ｅ２・Ｔ２２）である場合に、下記式（１）を満たし、
（α１・Ｅ１・Ｔ１２）＞（α２・Ｅ２・Ｔ２２）である場合、下記式（２）を満たすことが好ましい。

可動部５２１は、撓みを防止するために、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成されている。
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、例えば厚み寸法が５０μｍに形成されている。なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部５２２を例示するが、例えば、可動部の中心に対して点対称となる位置に設けられる複数対の梁構造を有する保持部が設けられる構成としてもよい。

［第二実施形態］
次に本発明の第二実施形態について、図面に基づいて説明する。
図５は、第二実施形態における測色センサー３（光モジュール）の干渉フィルター５の近傍を示す断面図である。なお、以降の説明において、上記第一実施形態と同様の構成については、同符号を付し、その説明を省略または簡略する。
この測色センサー３においては、図５に示すように、干渉フィルター５の一部は、硬化性接着剤を硬化させてなる硬化接着層６１を介して透明基板７に固定され、干渉フィルター５の他の部分は、接着層６を介して透明基板７に固定されている。そして、干渉フィルター５は、配線Ｒにより電圧制御部３２に接続されている。また、図５に示すように、硬化接着層６１は、平面視において第一電極端子５４１Ｂまたは第二電極端子５４２Ｂと重なる領域の一部（一箇所）に設けられている。
この硬化接着層６１を形成させるための硬化性接着剤としては、適宜公知の硬化性の接着剤を用いることができる。また、この硬化接着層６１のヤング率は１ＭＰａ以上である。

図９は、干渉フィルターを備えたガス検出装置の一例を示す概略図である。
図１０は、図９のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置１００は、図９に示すように、センサーチップ１１０と、吸引口１２０Ａ、吸引流路１２０Ｂ、排出流路１２０Ｃ、および排出口１２０Ｄを備えた流路１２０と、本体部１３０と、を備えて構成されている。
本体部１３０は、流路１２０を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー１３１、排出手段１３３、筐体１３４、光学部１３５、フィルター１３６、干渉フィルター５、および受光素子１３７（受光部）等を含む検出部（光モジュール）と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部１３８、電力を供給する電力供給部１３９等から構成されている。また、光学部１３５は、光を射出する光源１３５Ａと、光源１３５Ａから入射された光をセンサーチップ１１０側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子１３７側に透過するビームスプリッタ―１３５Ｂと、レンズ１３５Ｃ，１３５Ｄ，１３５Ｅと、により構成されている。
また、図１０に示すように、ガス検出装置１００の表面には、操作パネル１４０、表示部１４１、外部とのインターフェイスのための接続部１４２、電力供給部１３９が設けられている。電力供給部１３９が二次電池の場合には、充電のための接続部１４３を備えてもよい。
さらに、ガス検出装置１００の制御部１３８は、図１０に示すように、ＣＰＵ等により構成された信号処理部１４４、光源１３５Ａを制御するための光源ドライバー回路１４５、干渉フィルター５を制御するための電圧制御部１４６、受光素子１３７からの信号を受信する受光回路１４７、センサーチップ１１０のコードを読み取り、センサーチップ１１０の有無を検出するセンサーチップ検出器１４８からの信号を受信するセンサーチップ検出回路１４９、および排出手段１３３を制御する排出ドライバー回路１５０などを備えている。

また、電子機器としては、本発明に係る干渉フィルターにより光を分光することで、分光画像を撮像する分光カメラ、分光分析機などにも適用できる。このような分光カメラの一例として、干渉フィルターを内蔵した赤外線カメラが挙げられる。
図１２は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ３００は、図１２に示すように、カメラ本体３１０と、撮像レンズユニット３２０と、撮像部３３０とを備えている。
カメラ本体３１０は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット３２０は、カメラ本体３１０に設けられ、入射した画像光を撮像部３３０に導光する。また、この撮像レンズユニット３２０は、図１２に示すように、対物レンズ３２１、結像レンズ３２２、およびこれらのレンズ間に設けられた干渉フィルター５を備えて構成されている。
撮像部３３０は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット３２０により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ３００では、干渉フィルター５により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。

Claims

第一熱膨張係数を有する第一基板、
前記第一基板と互いに対向する第二基板、
前記第一基板に設けられた第一反射膜、
および、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜を有する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターの前記第一基板が固定され、前記第一熱膨張係数とは異なる値である第二熱膨張係数を有する固定部と、を備え、
前記干渉フィルターは、ゲル状樹脂の接着層を介して前記固定部に固定された
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１に記載の光モジュールにおいて、
前記接着層の厚み寸法は、
当該接着層の厚み寸法をＴａ（ｍｍ）、前記第一基板の線膨張係数をα１（Ｋ−１）、前記第一基板のヤング率をＥ１（ＧＰａ）、前記第一基板の厚み寸法をＴ１（ｍｍ）、前記固定部の線膨張係数をα２（Ｋ−１）、前記固定部のヤング率をＥ２（ＧＰａ）、前記固定部の厚み寸法をＴ２（ｍｍ）、ゲル状樹脂に基づく係数をＡとして、
（α１・Ｅ１・Ｔ１２）≦（α２・Ｅ２・Ｔ２２）である場合に、下記式（１）を満たし、
（α１・Ｅ１・Ｔ１２）＞（α２・Ｅ２・Ｔ２２）である場合、下記式（２）を満たす
ことを特徴とする光モジュール。
［数１］
Ｔａ≧Ａ・（α２・Ｅ２・Ｔ２２）／（α１・Ｅ１・Ｔ１２） …（１）
Ｔａ≧Ａ・（α１・Ｅ１・Ｔ１２）／（α２・Ｅ２・Ｔ２２） …（２）
請求項１または請求項２に記載の光モジュールにおいて、
前記接着層のヤング率が１０ｋＰａ以上１００ｋＰａ以下である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記干渉フィルターは、前記第一反射膜および前記第二反射膜により多重干渉された光が透過する光透過領域を有し、
前記接着層は、前記光を透過可能であり、空気よりも前記第一基板に近い屈折率を有し、かつ、前記第一基板および前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記光透過領域と重なる領域に設けられる
ことを特徴とする光モジュール。
請求項４に記載の光モジュールにおいて、
前記第一基板および前記第二基板は、ガラス基板であり、
前記接着層の屈折率が１．３以上１．７以下である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項５のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記干渉フィルターの一部は、硬化性接着剤を硬化させてなる硬化接着層を介して前記固定部に固定され、
前記干渉フィルターの他の部分は、前記接着層を介して前記固定部に固定される
ことを特徴とする光モジュール。
請求項６に記載の光モジュールにおいて、
前記硬化接着層のヤング率が１ＭＰａ以上である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項６または請求項７に記載の光モジュールにおいて、
前記干渉フィルターは、前記第一基板に設けられた電極端子を備え、
前記硬化接着層は、前記第一基板および前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において前記電極端子と重なる領域の一部に設けられる
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項８のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記固定部は、前記干渉フィルターを透過した光を透過可能な透明基板である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項８のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記固定部は、前記干渉フィルターを透過した光を受光する受光素子である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
外装部と、前記干渉フィルターに入射する光が導入される光入射用基板と、前記干渉フィルターを透過した光が出射される光出射用基板とを備え、内部に密閉された空間を形成する筐体を備え、
前記干渉フィルターは、前記筐体の内部に収納された
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１１に記載の光モジュールにおいて、
前記固定部は、前記筐体の前記光出射用基板である
ことを特徴とする光モジュール。
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の光モジュールを備えることを特徴とする電子機器。