JP6989266B2 - 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 - Google Patents
波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6989266B2 JP6989266B2 JP2017015343A JP2017015343A JP6989266B2 JP 6989266 B2 JP6989266 B2 JP 6989266B2 JP 2017015343 A JP2017015343 A JP 2017015343A JP 2017015343 A JP2017015343 A JP 2017015343A JP 6989266 B2 JP6989266 B2 JP 6989266B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- substrate
- sub
- wavelength selection
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
まず、第1の基板11Aに第1の反射膜12Aを形成する(図3、ステップS11)。図4(a)は、第1の反射膜12Aが形成された第1の基板11Aを示す断面図である。具体的には、まず、両主面に化学機械研磨を行って平坦化された平板形状の第1の基板11Aを準備する。次に、第1の基板11Aの主面の一方(第1の主面)MS1上に第1の反射膜12Aを形成する。本実施例においては、主面MS1の中央部を第1の主表面PL1とし、第1の主表面PL1上に円形のAg膜を形成することで、第1の反射膜12Aを形成した。
次に、第2の基板11Bに突起PJ及び第2の反射膜12Bを形成する(図3、ステップS12)。図4(b)は、突起PJ及び第2の反射膜12Bが形成された第2の基板11Bを示す断面図である。
次に、凹部RC1の底面である第2の主表面PL2に第2の反射膜12Bを形成する。本実施例においては、第2の主表面PL2上に円形のAg膜を形成することで、第2の反射膜12Bを形成した。なお、本実施例においては、第2の反射膜12Bは、第1の反射膜12Aと同一の形状及びサイズとした。
次に、第2の基板11Bに接合部材BDを塗布する(図3、ステップS13)。図4(c)は、接合部材BDが塗布された状態の第2の基板11Bを示す断面図である。
次に、第1及び第2の基板11A及び11B同士を互いに突き当てる(図3、ステップS14)。また、第1及び第2の基板11A及び11Bを突き当てた状態で、接合部材BDを硬化させ、第1及び第2の基板11A及び11Bを互いに接合する(図3、ステップS15)。図4(d)は、接合された第1及び第2の基板11A及び11Bを示す断面図である。
11、21、31 一対の基板
11A、21A、31A 第1の基板
11B、21B、31B 第2の基板
12 一対の反射膜
12A 第1の反射膜
12B 第2の反射膜
PP 一対の主表面
13、22 接合部
14、23 突当り部
32 可動部
33 支持部
Claims (8)
- 透光性を有し、間隙をおいて互いに対向する主表面を有する一対の基板と、
前記互いに対向する主表面上に形成され、光学距離をおいて互いに対向する一対の反射膜と、
前記一対の基板を互いに接合し、前記一対の基板よりも硬化後の硬度が小さな硬化型接着剤からなる接合部と、
前記一対の基板が互いに直接突き当たって前記間隙を画定する突当り部と、を有し、
前記接合部は、前記一対の反射膜を取り囲むように設けられた第1の副接合部と、前記第1の副接合部の外側に設けられ、前記第1の副接合部よりも硬化後の硬度が大きな硬化型接着剤からなる第2の副接合部とを有することを特徴とする波長選択素子。 - 前記突当り部は、前記一対の反射膜と前記第1の副接合部との間において前記一対の反射膜の外周を取り囲むように形成されている第1の副突当り部と、前記第2の副接合部と前記第1の副突当り部との間に設けられた第2の副突当り部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の波長選択素子。
- 前記一対の基板の一方における前記第1の副突当り部の内側に設けられ、前記一対の反射膜の前記光学距離を変位させる可動部を有することを特徴とする請求項2に記載の波長選択素子。
- 前記接合部は、硬化後の弾性力が前記一対の基板の前記第1の副突当り部を支点とした曲げ反力よりも小さい硬化型接着剤からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の波長選択素子。
- 前記一対の基板は、所定の範囲内の環境温度で使用され、
前記接合部は、前記環境温度よりも低いガラス転移点を有する材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の波長選択素子。 - 前記接合部は、前記一対の基板の各々間において点在する複数の接合片からなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の波長選択素子。
- 前記接合部は、アクリル系接着剤又はエポキシ系接着剤からなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の波長選択素子。
- 第1の基板における第1の主面に第1の反射膜を形成する第1の反射膜形成工程と、
凹部を備えた第2の主面を有する第2の基板の前記凹部に第2の反射膜を形成する第2の反射膜形成工程と、
前記第2の基板の前記第2の主面における前記凹部の外側の領域上に、前記第1の基板よりも硬化後の硬度が小さい硬化型接着剤からなる接合部材を塗布する塗布工程と、
前記第1及び第2の反射膜が光学距離をおいて互いに対向するように、前記第1の主面を前記第2の主面に直接突き当てる突き当て工程と、
前記接合部材を硬化させ、前記第1及び第2の基板を接合する接合工程と、を含み、
前記接合部材は、前記第1及び第2の反射膜を取り囲むように塗布される第1の副接合部材並びに前記第1の副接合部材の外側に設けられるように塗布される第2の副接合部材であり、第2の副接合部材が前記第1の副接合部材よりも硬化後の硬度が大きな硬化型接着剤であることを特徴とする波長選択素子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017015343A JP6989266B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
JP2021195895A JP2022033131A (ja) | 2017-01-31 | 2021-12-02 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
JP2023173415A JP2023174755A (ja) | 2017-01-31 | 2023-10-05 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017015343A JP6989266B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021195895A Division JP2022033131A (ja) | 2017-01-31 | 2021-12-02 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018124373A JP2018124373A (ja) | 2018-08-09 |
JP6989266B2 true JP6989266B2 (ja) | 2022-01-05 |
Family
ID=63110526
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017015343A Active JP6989266B2 (ja) | 2017-01-31 | 2017-01-31 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
JP2021195895A Pending JP2022033131A (ja) | 2017-01-31 | 2021-12-02 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
JP2023173415A Pending JP2023174755A (ja) | 2017-01-31 | 2023-10-05 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021195895A Pending JP2022033131A (ja) | 2017-01-31 | 2021-12-02 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
JP2023173415A Pending JP2023174755A (ja) | 2017-01-31 | 2023-10-05 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP6989266B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004109843A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 波面収差補正装置および光ピックアップ |
TW555687B (en) * | 2002-12-11 | 2003-10-01 | Delta Electronics Inc | Method of manufacturing MEMS Fabry-Perot device |
US7734131B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-06-08 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
JP5131110B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2013-01-30 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 固定構造、光走査装置、画像形成装置及び固定方法 |
JP5428805B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、光センサー、および光モジュール |
JP5703813B2 (ja) * | 2011-02-16 | 2015-04-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
JP5708009B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光モジュールおよび電子機器 |
JP6548476B2 (ja) * | 2015-06-17 | 2019-07-24 | パイオニア株式会社 | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 |
-
2017
- 2017-01-31 JP JP2017015343A patent/JP6989266B2/ja active Active
-
2021
- 2021-12-02 JP JP2021195895A patent/JP2022033131A/ja active Pending
-
2023
- 2023-10-05 JP JP2023173415A patent/JP2023174755A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018124373A (ja) | 2018-08-09 |
JP2022033131A (ja) | 2022-02-28 |
JP2023174755A (ja) | 2023-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20180018890A (ko) | 임프린트 마스터 템플릿 및 이의 제조 방법 | |
TW201701450A (zh) | 在具有徑向變化之曲度的模具中彎折半導體晶片 | |
JP2006147864A (ja) | 半導体パッケージ及びその製造方法 | |
JP6989266B2 (ja) | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 | |
JP2014002260A (ja) | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 | |
JP2014110488A (ja) | 圧電振動素子,圧電ウエハおよび圧電振動素子の製造方法 | |
TWI689239B (zh) | 電子裝置 | |
JP6548476B2 (ja) | 波長選択素子及び波長選択素子の製造方法 | |
CN113167944A (zh) | 凹面衍射光栅的制造方法、制造装置以及凹面衍射光栅 | |
JP2013043445A (ja) | 型、インプリント装置、インプリント方法及び物品製造方法 | |
US10852529B2 (en) | Mirror driving apparatus and method for manufacturing thereof | |
JP5545190B2 (ja) | 波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
US20120024453A1 (en) | Structure including holder unit and device unit and fixing method for the same | |
JP2010228029A (ja) | Memsデバイスの実装構造 | |
JPH1172723A (ja) | マイクロ光学素子,機能素子ユニット,およびこれらの製造方法 | |
JP5740819B2 (ja) | 空間光変調器の製造方法、空間光変調器、照明光発生装置および露光装置 | |
JP2010199190A (ja) | 接合方法およびデバイス製造方法 | |
JP2010118483A (ja) | 基板保持部材および接合装置 | |
TWI581031B (zh) | 晶圓級透鏡系統及其製造方法 | |
CN113646678A (zh) | 光波导元件 | |
WO2017029842A1 (ja) | 接着方法、光モジュールの製造方法、及び光モジュール | |
TWI840485B (zh) | 三維列印裝置及其製作方法 | |
KR101073560B1 (ko) | 마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 | |
JP2018101702A (ja) | 発光装置の製造方法 | |
WO2019031563A1 (ja) | 光学モジュールの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201110 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20201224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6989266 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |