KR101073560B1 - 마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

마스크는 제1 투명 기판 및 제1 투명 기판 표면에 형성되어 제1 투명 기판을 노출하는 개구부를 가지는 차광 패턴을 포함하는 제1 기판, 차광 패턴을 사이에 두고 제1 투명 기판과 대향하는 제2 투명 기판 및 차광 패턴과 대응하여 제2 투명 기판 내에 위치하는 열 전도부를 포함하는 제2 기판 및 열 전도부에 대응하며, 제2 기판 외부로 돌출되어 위치하는 열 팽창부를 포함한다.
마스크, 레이저 빔, 열 팽창부

Description

마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법{MASK AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING THE MASK}
본 발명은 마스크에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 실런트를 경화할 때 이용되는 마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자(organic light emitting diode)를 갖는 표시 기판과, 표시 기판과 대향 배치되어 표시 기판의 유기 발광 소자를 보호하는 봉지 기판과, 표시 기판과 봉지 기판을 서로 합착 밀봉하는 실런트(sealant)를 포함한다.
표시 기판과 봉지 기판을 서로 합착 밀봉시키기 위해서는 실런트를 표시 기판과 봉지 기판 사이에 개재시킨 후, 레이저로부터 발생한 레이저 빔을 이용해 실런트를 경화시켜서 표시 기판과 봉지 기판을 서로 합착 밀봉시킨다.
그런데, 실런트가 경화될 때, 레이저 빔으로부터 발생되는 열로 인해 실런트 자체의 부피가 변형됨으로써, 실런트와 접촉하고 있는 봉지 기판의 부위가 변형되는 문제점이 있었다.
또한, 실런트에 의해 표시 기판과 봉지 기판의 합착 밀봉 공정은 통상, 셀 단위의 유기 발광 표시 장치가 복수로 구비되는 이른바 원장 기판 상태에서 이루어지게 되는데, 상기한 실런트의 경화 공정 시 실런트에 의해 밀봉되는 공간의 압력과 외부의 압력의 차이로 인해 유기 발광 표시 장치의 중심 부분에서 봉지 기판이 휘게 되어 실런트와 접촉하고 있는 봉지 기판의 부위가 더 변형되는 문제점이 있었다.
이와 같이, 봉지 기판이 변형되면 봉지 기판에 굴곡이 생김으로써, 이 굴곡진 부위에 뉴턴환(newton's ring) 현상이 발생되는 동시에, 상기한 경화 공정 이후 수행되는 절단 공정 시 변형된 봉지 기판에 대한 절단 상태가 매끄럽지 못하거나 이 부위가 원하는 상태로 되지 못하고 파손될 확률이 높으며, 비록 어느 정도 상태로 절단되더라도 이에 따라 제조된 유기 발광 표시 장치는 실런트 주위의 기판 상태 불량으로 강도 측면에서 불리하다.
즉, 실런트 주위의 봉지 기판의 변형에 의해 발생되는 뉴턴환 현상 및 유기 발광 표시 장치 자체의 기계적 강도 저하 등으로 인해 소비자의 만족도 저하를 불러 일으킬 수 있다.
본 발명은 전술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저 빔을 이용해 실런트를 경화할 때, 봉지 기판이 변형되는 것을 억제하는 마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 제1 측면은 제1 투명 기판 및 제1 투명 기판 표면에 형성되어 제1 투명 기판을 노출하는 개구부를 가지는 차광 패턴을 포함하는 제1 기판, 차광 패턴을 사이에 두고 제1 투명 기판과 대향하는 제2 투명 기판 및 차광 패턴과 대응하여 제2 투명 기판 내에 위치하는 열 전도부를 포함하는 제2 기판 및 열 전도부에 대응하며, 제2 기판 외부로 돌출되어 위치하는 열 팽창부를 포함하는 마스크를 제공한다.
열 전도부는 차광 패턴 및 열 팽창부와 접촉하고 있을 수 있다.
레이저로부터 발생된 레이저 빔이 개구부를 통해 피조사체로 조사되며, 개구부의 폭은 레이저 빔의 폭보다 작을 수 있다.
레이저 빔는 피조사체로서 이웃하는 한 쌍의 원장 기판 사이에 위치하는 실런트의 경화 시 이용되며, 개구부는 실런트와 대응할 수 있다.
열 팽창부는 한 쌍의 원장 기판 중 하나의 원장 기판과 접촉하며, 레이저 빔에 의해 발생되는 열이 차광 패턴으로부터 열 전도부를 거쳐 열 팽창부로 전도되면 열 팽창부가 원장 기판 방향으로 열 팽창할 수 있다.
한 쌍의 원장 기판 사이에는 복수개의 실런트가 위치하고 있으며, 열 팽창부는 이웃하는 실런트 사이에 대응하여 위치할 수 있다.
열 팽창부에 대응하여 제1 기판 상에 위치하는 가압부를 더 포함할 수 있다.
열 팽창부는 중합체(polymer) 또는 탄성중합체(elastomer)를 포함할 수 있다.
본 발명의 제2 측면은 복수개의 유기 발광 소자가 형성된 제1 원장 기판을 마련하는 단계, 복수개의 유기 발광 소자 각각을 둘러싸도록 형성되는 복수개의 실런트가 형성된 제2 원장 기판을 마련하는 단계, 복수개의 실런트가 각각 복수개의 유기 발광 소자를 둘러싸도록 복수개의 실런트를 이용해 제1 원장 기판과 제2 원장 기판을 상호 합착하는 단계, 제1 투명 기판 및 실런트와 대응하는 개구부를 가지는 차광 패턴을 포함하는 제1 기판, 제1 투명 기판과 대향하는 제2 투명 기판 및 차광 패턴과 대응하여 제2 투명 기판 내에 위치하는 열 전도부를 포함하는 제2 기판 및 열 전도부에 대응하며 제2 기판 외부로 돌출되어 위치하는 열 팽창부를 포함하는 마스크를 열 팽창부가 제2 원장 기판에 접촉하도록 배치하는 단계, 마스크의 개구부를 통해 실런트에 레이저로부터 발생한 레이저 빔을 조사하여 실런트를 경화하는 단계 및 실런트의 외곽을 따라 제1 원장 기판 및 제2 원장 기판을 절단하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
실런트에 레이저 빔을 조사하여 실런트를 경화하는 단계는 레이저 빔에 의해 발생되는 열이 차광 패턴으로부터 열 전도부를 거쳐 열 팽창부로 전도되면 열 팽창부가 원장 기판 방향으로 열 팽창하여 제2 원장 기판을 가압한 상태에서 수행될 수 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 빔을 이용해 실런트를 경화할 때, 봉지 기판이 변형되는 것이 억제된 마스크 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 일 부분이 다른 부분 “상에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 상에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
본 발명에 따른 마스크는 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display) 및 액정 표시 장치(liquid crystal display device) 등의 평판 표시 장치에 포함된 실런트(sealant)를 레이저 빔을 이용해 경화할 때 이용되는 마스크이며, 이하에서는 레이저 빔의 피조사체로서 유기 발광 표시 장치에 포함된 프릿(frit)을 예로 들어서 설명한다.
이하, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.
우선, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 원장 기판(1000)을 마련한다(S110).
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제1 원장 기판을 나타낸 평면도이다.
구체적으로, 제1 원장 기판 본체부(1100) 상에 복수개의 유기 발광 소자(organic light emitting diode)(1200)를 형성하여 복수개의 유기 발광 소자(1200)를 포함하는 제1 원장 기판(1000)을 마련한다.
다음, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 원장 기판(2000)을 마련한다(S120).
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제2 원장 기판을 나타낸 평면도이다.
구체적으로, 투명한 재질로 이루어진 제2 원장 기판 본체부(2100) 상에 복수개의 유기 발광 소자(1200) 각각을 둘러싸도록 유기 발광 소자(1200)와 대응하는 가상의 유기 발광 소자 선(OL)을 둘러싸는 복수개의 실런트(2200)를 형성하여 복수개의 실런트(2200)를 포함하는 제2 원장 기판(2000)을 마련한다. 실런트(2200)는 파우더(powder) 형태의 유리 원료인 프릿(frit)이나, 본 발명에 따른 실런트(2200)는 이에 한정되지 않고 경화가 가능한 어떠한 재료여도 상관없다.
다음, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 원장 기판(1000)과 제2 원장 기판(2000)을 상호 합착한다(S130).
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제1 원장 기판과 제2 원장 기판을 상호 합착한 상태를 나타낸 평면도이다. 도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따른 단면도이다.
구체적으로, 제1 원장 기판(1000) 상에 제2 원장 기판(2000)을 정렬하여, 제1 원장 기판(1000)에 제2 원장 기판(2000)을 대향 배치한다. 이 때, 복수개의 실런트(2200)는 각각 복수개의 유기 발광 소자(1200)를 둘러싸게 되며, 실런트(2200)는 제1 원장 기판(1000)과 접촉하게 된다. 여기서, 실런트(2200)가 유기 발광 소자(1200)를 둘러싼 상태에서 제1 원장 기판(1000)과 접촉함으로써, 유기 발광 소자(1200)가 위치하는 공간이 실런트(2200)에 의해 밀봉된다.
다음, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 마스크(101)를 제2 원장 기판 상에 배치한다(S140).
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방 법에 따라 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 제2 원장 기판 상에 배치한 단면도이다. 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이다.
구체적으로, 제2 원장 기판(2000) 상에 마스크(101)를 배치하는데, 후술할 마스크(101)의 개구부(113)가 실런트(2200)에 대응된 상태에서 열 팽창부(130)가 제2 원장 기판(2000)에 접촉하도록 제2 원장 기판(2000) 상에 마스크(101)를 배치한다.
이하, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 구체적으로 설명한다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크(101)는 레이저(L, 도 8에 도시됨)로부터 발생된 레이저 빔(LB, 도 8에 도시됨)를 이용한 실런트(2200)의 경화 시 사용되는 마스크이며, 제1 기판(110), 제2 기판(120), 열 팽창부(130) 및 가압부(140)를 포함한다.
제1 기판(110)은 레이저 빔(LB, 도 8에 도시됨)가 최초로 투과하는 기판이며, 제1 투명 기판(111) 및 차광 패턴(112)을 포함한다.
제1 투명 기판(111)은 유리 또는 석영(quartz) 등의 투명한 절연 기판으로 이루어져 있다. 제1 투명 기판(111) 표면에는 차광 패턴(112)이 형성되어 있다.
차광 패턴(112)은 제1 투명 기판(111)의 표면에 형성된다. 차광 패턴(112)은 레이저 빔(LB)에 의한 피조사체인 실런트(2200)에 대응하여 제1 투명 기판(111)을 노출하는 개구부(113)를 포함한다. 차광 패턴(112)은 열 전도성 물질로 형성되며, 알루미늄(Al), 티타늄(Ti) 및 구리(Cu) 중 하나 이상을 포함한다. 차광 패턴(112)의 개구부(113)는 화학 기상 증착(chemical vapor deposition, CVD) 등의 증착 공정을 이용해 알루미늄, 티타늄 및 구리 중 하나 이상을 포함하는 열 전도층을 형성한 후, 포토리소그래피(photolithography) 등의 멤스(MEMS, microelectromechanical systems) 기술을 이용해 열 전도층을 식각함으로써 형성될 수 있다. 차광 패턴(112)의 개구부(113)의 폭(d1)은 실런트(2200)의 경화 수단인 레이저 빔(LB)의 폭(d2)보다 좁으며, 이 개구부(113)의 폭(d1)은 피조사체인 실런트(2200)의 폭(d3)과 실질적으로 동일하다. 이와 같이, 차광 패턴(112)의 개구부(113)가 제1 기판(110)을 투과하는 레이저 빔(LB)의 폭(d2)을 실런트(2200)의 폭(d3)과 실질적으로 동일하게 설정함으로써, 제1 기판(110)을 투과한 레이저 빔(LB)이 피조사체인 실런트(2200)에만 조사된다. 차광 패턴(112)은 레이저 빔(LB)이 제1 기판(110)을 투과할 때, 레이저 빔(LB)으로부터 발생되는 열을 전달 받는다. 제1 기판(110)과 대향하여 제2 기판(120)이 위치하고 있다.
제2 기판(120)은 제1 기판(110)과 대향하고 있으며, 제1 기판(110)을 투과한 레이저 빔(LB)이 투과하는 기판이다. 제2 기판(120)은 제2 투명 기판(121) 및 열 전도부(122)를 포함한다.
제2 투명 기판(121)은 유리 또는 석영 등의 투명한 절연 기판으로 이루어져 있다. 제2 투명 기판(121)의 두께는 제1 투명 기판(111)의 두께보다 얇다. 제2 투명 기판(121) 내에는 차광 패턴(112)과 대응하여 열 전도부(122)가 위치하고 있다.
열 전도부(122)는 제2 투명 기판(121)의 내부에서 실런트(2200)를 사이에 두도록 실런트(2200)의 외곽을 따라 위치하고 있다. 보다 상세하게는, 열 전도부(122)는 실런트(2200)와 대응하는 차광 패턴(112)의 개구부(113)가 평면적으로 사이에 위치하도록 평면적으로 개구부(113) 및 실런트(2200)를 둘러 싸도록 위치한다. 열 전도부(122)는 차광 패턴(112)과 열 팽창부(130) 사이에서 차광 패턴(112)과 열 팽창부(130)와 직접 접촉하고 있다. 열 전도부(122)는 열 전도도가 이웃하는 제2 투명 기판(121)보다 높은 물질을 포함한다. 열 전도부(122)는 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 및 알루미늄(Al) 중 하나 이상을 포함한다. 열 전도부(122)는 레이저 빔(LB)이 제2 기판(120)을 투과할 때, 레이저 빔(LB)으로부터 발생되는 열을 전달 받는 동시에, 차광 패턴(112)으로부터 열을 전달 받는다. 열 전도부(122)와 대응하여 열 팽창부(130)가 위치하고 있다.
열 팽창부(130)는 열 전도부(122)와 대응하며, 제2 기판(120) 외부로 돌출되어 위치하고 있다. 열 팽창부(130)는 열 전도부(122)와 대응하여 개구부(113) 및 실런트(2200)를 둘러 싸도록 위치하고 있으며, 제2 원장 기판(2000)과 접촉하고 있다. 열 팽창부(130)는 열팽창 계수가 제2 원장 기판(2000) 및 열 전도부(122)보다 큰 물질로 이루어져 있다. 열 팽창부(130)는 중합체(polymer) 또는 탄성중합체(elastomer)를 포함하며, 제2 원장 기판(2000)과 접촉하는 부분이 곡면으로 형성될 수 있다. 열 팽창부(130)는 레이저 빔(LB)이 제2 기판(120)을 투과할 때, 레이저 빔(LB)으로부터 발생되는 열을 전달 받는 동시에, 열 전도부(122)로부터 열을 전달 받는다. 열 팽창부(130)는 열팽창 계수가 큰 물질로 이루어지기 때문에, 레이저 빔(LB) 및 열 전도부(122)로부터 열을 전달 받게 되면, 제2 원장 기판(2000) 방향으로 열 팽창하여 제2 원장 기판(2000)의 변형을 억제한다.
가압부(140)는 제1 기판(110) 상에 위치하여 제1 기판(110) 및 제2 기 판(120)을 제2 원장 기판(2000) 방향으로 가압하고 있으며, 열 팽창부(130)로 열이 전달되어 열 팽창부(130)가 제2 원장 기판(2000) 방향으로 열 팽창 할 때, 제1 기판(110) 및 제2 기판(120)이 열 팽창부(130)의 열 팽창으로 인해 상 측 방향으로 움직이는 것을 억제하는 역할을 한다. 가압부(140)는 투명 재질로 이루어지며, 이웃하는 실런트(2200) 사이에 대응하여 위치하고 있다. 가압부(140)는 후술할 레이저 빔(LB)에 의한 실런트(2200)의 경화 시 가압부(140)가 레이저 빔(LB)에 간섭되지 않도록 그 위치가 제1 기판(110) 상에서 이동될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크(101)는 레이저 빔(LB)에 의한 실런트(2200)의 경화를 위해 제2 원장 기판(2000) 상에 배치되며, 후술할 레이저 빔(LB)의 의한 실런트(2200)의 경화 시 레이저 빔(LB)의 폭(d2)을 실런트(2200)의 폭(d3)과 대응하도록 설정하는 동시에, 레이저 빔(LB)으로부터 열 팽창부(130)로 전달된 열로 인해 열 팽창부(130)가 제2 원장 기판(2000) 방향으로 열 팽창하여 제2 원장 기판(2000)을 가압하여 제2 원장 기판(2000)의 변형을 억제한다.
다음, 도 8에 도시된 바와 같이, 실런트(2200)를 경화한다(S150).
도 8은 도 6에 도시된 본 발명의 제1 실시에에 따른 마스크를 통해 레이저 빔이 실런트로 조사되는 것을 나타낸 단면도이다.
구체적으로, 마스크(101)를 통해 레이저(L)로부터 발생된 레이저 빔(LB)을 실런트(2200)에 조사하여 실런트(2200)를 경화한다. 마스크(101)를 통해 레이저 빔(LB)을 실런트(2200)에 조사할 때, 상술한 바와 같이, 레이저 빔(LB)에 의해 발 생되는 열이 차광 패턴(112)으로부터 열 전도부(122)를 거쳐 제2 원장 기판(2000)과 접촉하고 있는 열 팽창부(130)로 전달되어 열 팽창부(130)가 열 팽창하게 되며, 열 팽창부(130)가 열 팽창하여 제2 원장 기판(2000)을 가압함으로써, 실런트(2200)의 경화로 인한 실런트(2200) 자체의 부피 변형에 따른 제2 원장 기판(2000)의 변형이 억제된다. 이와 같이, 레이저 빔(LB)에 의해 실런트(2200)가 경화됨에 따라 실런트(2200) 자체의 부피가 변형되지만, 레이저 빔(LB)에 의해 마스크(101)의 열 팽창부(130)가 열 팽창하여 제2 원장 기판(2000)을 가압하기 때문에, 실런트(2200)의 변형에 따라 제2 원장 기판(2000)은 변형되지 않는다. 즉, 마스크(101)의 열 팽창부(130)가 경화 수단인 레이저 빔(LB)에 의해 열 팽창되어 제2 원장 기판(2000)을 가압함으로써, 실런트(2200)의 경화 후에도 제2 원장 기판(2000)의 판면이 실런트(2200) 경화 전 상태인 플랫(flat)한 상태로 유지된다.
이와 같이, 실런트(2200) 자체 부피 변형에 의한 제2 원장 기판(2000)의 변형을 마스크(101)의 열 팽창부(130)가 억제함으로써, 실런트(2200)에 대응하는 제2 원장 기판(2000)의 판면이 플랫한 상태를 이루게 된다. 즉, 실런트(2200)의 변형에 의해 실런트(2200)에 대응하는 제2 원장 기판(2000)의 판면에 스트레스가 잔존하는 것이 억제된다.
또한, 마스크(101)의 열 팽창부(130)에 의해 제2 원장 기판(2000)의 변형이 억제됨으로써, 실런트(2200) 자체 부피의 변형도 억제되어 실런트(2200)와 제2 원장 기판(2000) 사이의 계면에 잔존하는 스트레스도 최소화된다.
다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 원장 기판(1000) 및 제2 원장 기 판(2000)을 절단하여 유기 발광 표시 장치를 제조한다(S160).
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 제조된 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
구체적으로, 마스크(101)를 제2 원장 기판(2000)으로부터 이격시킨 후, 실런트(2200) 외곽을 따른 가상의 절단선을 따라 제1 원장 기판(1000) 및 제2 원장 기판(2000)을 절단함으로써, 제1 원장 기판(1000) 및 제2 원장 기판(2000)으로부터 도 9에 도시된 복수개의 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display)가 제조된다. 이 때, 제2 원장 기판(2000)이 플랫한 상태이고, 제2 원장 기판(2000)과 실런트(2200) 사이의 계면에서 부피 변형에 의해 잔존되는 스트레스가 최소화되었기 때문에, 제1 원장 기판(1000) 및 제2 원장 기판(2000)의 절단 시 절단에 의한 충격으로 제2 원장 기판(2000) 또는 실런트(2200)가 의도하지 않게 파손되지 않는다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 제조된 유기 발광 표시 장치는 변형 되지 않은 제2 원장 기판(2000)으로부터 제조된 판면이 플랫한 봉지 기판(EG)을 통해 유기 발광 소자에서 발광된 빛이 외부에서 시인되기 때문에, 굴곡진 부위를 가지는 봉지 기판에서 발생되는 뉴턴환(newton's rings) 현상이 발생되지 않는다. 즉, 표시 품질이 개선된 유기 발광 표시 장치가 제조된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법은 절단 공정 시 절단에 의한 충격으로 인해 제2 원장 기판(2000) 및 실런트(2200) 가 파손되는 것이 억제됨으로써, 유기 발광 표시 장치의 제조 수율이 향상되어 유기 발광 표시 장치의 제조 비용이 감소된다.
또한, 제1 원장 기판(1000) 및 제2 원장 기판(2000)으로부터 절단되어 제조된 유기 발광 표시 장치는 제2 원장 기판(2000)으로부터 제조된 봉지 기판(EG)과 실런트(2200) 사이의 계면에 잔존하는 스트레스가 최소화되기 때문에, 외부의 약한 충격에 의해 봉지 기판(EG)과 실런트(2200)가 상호 이격되지 않는 동시에 봉지 기판(EG) 또는 실런트(2200)가 파손되지 않는다.
이하, 도 10을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크를 설명한다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크를 나타낸 단면도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크(102)는 열 전도부(122) 및 열 팽창부(130)가 이웃하는 실런트(2200) 사이에만 위치하여 실런트(2200)의 외곽을 따라 실런트(2200)를 둘러싸고 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크(102)는 열 팽창부(130)가 열팽창 계수가 큰 물질로 이루어지기 때문에, 레이저 빔(LB) 및 열 전도부(122)로부터 열을 전달 받게 되면, 제2 원장 기판(2000) 방향으로 열 팽창하여 레이저 빔(LB)에 의한 실런트(2200)의 변형에 따른 제2 원장 기판(2000)의 변형을 억제한다.
이하, 도 11을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크를 설명한다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크(103)의 가 압부(140)는 유기 발광 소자(1200)에 대응하여 위치하고 있으며, 레이저 빔(LB)에 의한 실런트(2200)의 경화 시 가압부(140)가 레이저 빔(LB)에 간섭되지 않도록 그 위치가 제1 기판(110) 상에서 이동될 수 있다.
이상과 같은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크(103)는 가압부(140)가 유기 발광 소자(1200)에 대응하여 위치함으로써, 열 팽창부(130)로 열이 전달되어 열 팽창부(130)가 제2 원장 기판(2000) 방향으로 열 팽창할 때, 제1 기판(110) 및 제2 기판(120)이 열 팽창부(130)의 열 팽창으로 인해 상 측 방향으로 움직이는 것을 억제하는 역할을 한다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제1 원장 기판을 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제2 원장 기판을 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 마련된 제1 원장 기판과 제2 원장 기판을 상호 합착한 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 선을 따른 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 제2 원장 기판 상에 배치한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 본 발명의 제1 실시에에 따른 마스크를 통해 레이저 빔이 실런트로 조사되는 것을 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 따라 제조된 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크를 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크를 나타낸 평면도이다.

Claims (10)

  1. 제1 투명 기판 및 상기 제1 투명 기판 표면에 형성되어 상기 제1 투명 기판을 노출하는 개구부를 가지는 차광 패턴을 포함하는 제1 기판;
    상기 차광 패턴을 사이에 두고 상기 제1 투명 기판과 대향하는 제2 투명 기판 및 상기 차광 패턴과 대응하여 상기 제2 투명 기판 내부에 위치하는 열 전도부를 포함하는 제2 기판; 및
    상기 열 전도부에 대응하며, 상기 제2 기판 외부로 돌출되어 위치하는 열 팽창부;
    를 포함하는 마스크.
  2. 제1항에서,
    상기 열 전도부는 상기 차광 패턴 및 상기 열 팽창부와 접촉하고 있는 마스크.
  3. 제2항에서,
    레이저로부터 발생된 레이저 빔이 상기 개구부를 통해 피조사체로 조사되며, 상기 개구부의 폭은 상기 레이저 빔의 폭보다 작은 마스크.
  4. 제3항에서,
    상기 레이저 빔은 상기 피조사체로서 이웃하는 한 쌍의 원장 기판 사이에 위치하는 실런트의 경화 시 이용되며,
    상기 개구부는 상기 실런트와 대응하는 마스크.
  5. 제4항에서,
    상기 열 팽창부는 상기 한 쌍의 원장 기판 중 하나의 원장 기판과 접촉하며, 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 열이 상기 차광 패턴으로부터 상기 열 전도부를 거쳐 상기 열 팽창부로 전도되면 상기 원장 기판 방향으로 열 팽창하는 마스크.
  6. 제5항에서,
    상기 한 쌍의 원장 기판 사이에는 복수개의 실런트가 위치하고 있으며, 상기 열 팽창부는 이웃하는 상기 실런트 사이에 대응하여 위치하는 마스크.
  7. 제6항에서,
    상기 열 팽창부에 대응하여 상기 제1 기판 상에 위치하는 가압부를 더 포함하는 마스크.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에서,
    상기 열 팽창부는 중합체(polymer) 또는 탄성중합체(elastomer)를 포함하는 마스크.
  9. 복수개의 유기 발광 소자가 형성된 제1 원장 기판을 마련하는 단계;
    상기 복수개의 유기 발광 소자 각각을 둘러싸도록 형성되는 복수개의 실런트가 형성된 제2 원장 기판을 마련하는 단계;
    상기 복수개의 실런트가 각각 상기 복수개의 유기 발광 소자를 둘러싸도록 상기 복수개의 실런트를 이용해 상기 제1 원장 기판과 상기 제2 원장 기판을 상호 합착하는 단계;
    제1 투명 기판 및 상기 실런트와 대응하는 개구부를 가지는 차광 패턴을 포함하는 제1 기판, 상기 제1 투명 기판과 대향하는 제2 투명 기판 및 상기 차광 패턴과 대응하여 상기 제2 투명 기판 내부에 위치하는 열 전도부를 포함하는 제2 기판 및 상기 열 전도부에 대응하며 상기 제2 기판 외부로 돌출되어 위치하는 열 팽창부를 포함하는 마스크를 상기 열 팽창부가 상기 제2 원장 기판에 접촉하도록 배치하는 단계;
    상기 마스크의 상기 개구부를 통해 상기 실런트에 레이저로부터 발생한 레이저 빔을 조사하여 상기 실런트를 경화하는 단계; 및
    상기 실런트의 외곽을 따라 상기 제1 원장 기판 및 상기 제2 원장 기판을 절단하는 단계
    를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 실런트에 레이저 빔을 조사하여 상기 실런트를 경화하는 단계는,
    상기 레이저 빔에 의해 발생되는 열이 상기 차광 패턴으로부터 상기 열 전도부를 거쳐 상기 열 팽창부로 전도되면 상기 열 팽창부가 상기 원장 기판 방향으로 열 팽창하여 상기 제2 원장 기판을 가압한 상태에서 수행되는 것인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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