JP5345303B2 - 表示装置とその製造方法 - Google Patents

表示装置とその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5345303B2
JP5345303B2 JP2007210903A JP2007210903A JP5345303B2 JP 5345303 B2 JP5345303 B2 JP 5345303B2 JP 2007210903 A JP2007210903 A JP 2007210903A JP 2007210903 A JP2007210903 A JP 2007210903A JP 5345303 B2 JP5345303 B2 JP 5345303B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
substrate
chemical polishing
wiring
protective film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007210903A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009047736A (ja
Inventor
人士 東
進 佐々木
隆男 海老根
富雄 矢口
正市 内野
晶子 岩田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Japan Display Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd, Japan Display Inc filed Critical Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Priority to JP2007210903A priority Critical patent/JP5345303B2/ja
Priority to US12/189,904 priority patent/US7903192B2/en
Publication of JP2009047736A publication Critical patent/JP2009047736A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5345303B2 publication Critical patent/JP5345303B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133351Manufacturing of individual cells out of a plurality of cells, e.g. by dicing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/851Division of substrate

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Description

本発明は、液晶パネルや有機ELパネルなどの表示装置とその製造方法に係り、特に表示装置を構成するガラス基板の板厚を薄くする研磨技術に関する。
薄型パネルディスプレイを構成する液晶パネルや有機ELパネルなどは、ガラス基板の主面に薄膜トランジスタ回路等で構成する多数の画素を配置した表示領域を形成したアクティブ基板を備える。アクティブ基板は薄膜トランジスタ基板(TFT基板)とも称し、液晶パネルでは、このTFT基板の主面に対向基板を重ね、両基板の間に液晶を封止する。有機EL(有機エレクトロルミネッセンス)パネルでは、TFT基板の画像部に発光層を形成し、その主面に封止基板とも称するガラス板を被せ、表示領域を外部環境から遮断する。
この種の表示装置の基板はガラス材料を用いるのが一般的である。これは、TFT基板の製造工程では高温プロセスが必要であり、そのためには耐熱性を有し、熱膨張係数が小さく、安価な材料であるガラスが適しているからである。しかしながら、ガラスは脆く、板状としたときの厚みに限界がある。これが、薄型パネルでのさらなる薄型化、軽量化、可撓化を実現する上での課題となっている。
図6と図7は、大判ガラス基板から複数の液晶表示パネルの作製を説明する図である。図6は平面図、図7は図6のX−X‘線に沿った断面図である。一方の大判ガラス基板(マザー基板、母基板)M−SUB1は薄膜トランジスタ基板、他方の大判ガラス基板(マザー基板、母基板)M−SUB2は対向基板である。二枚のマザー基板M−SUB1とM−SUB2を個別の液晶表示パネルPNL毎にシール材SLで張り合わせる。シール材SLで囲まれる内部には液晶LCが封入される。最外周にはマスターシール材M−SLが介在し、二枚のマザー基板を固定している。この後、個別の液晶表示パネルPNLに分離する。
このような構造において、化学研磨(以下、エッチングとも言う)でガラス基板の板厚を薄くする方式が提案されている。エッチングによりガラス板厚を薄くする方式に関しては、特許文献1に開示がある。
ガラス板厚をエッチングによって薄くすると、エッチング液であるフッ酸溶液中で大面積ガラス基板が撓んで割れたり、エッチング後の大面積ガラスを個別パネルに切断する時に割れたりする。一方、特許文献2が開示するように、予め母基板を個別セルに切断してからエッチングを行うという方法もある。また、特許文献3はガラスエッチング用レジスト樹脂組成物及びガラス基板エッチング方法を提案する。
特開2003−15111号公報 特開2007‐1789号公報 特開2006‐337670号公報
特許文献1はガラス表面に生じるリンプルを対策してエッチングにより板厚を薄くするプロセスを開示する。しかし、薄く加工したTFT基板に配線材(フレキシブルプリント基板:FPC)を熱圧着で接続するため、この作業の際にTFT基板を破損する畏れがある。
本発明の目的は、薄厚後のTFT基板に対する配線材の接続に伴う当該TFT基板の破損を低減させた平板パネル型表示装置とその製造方法を提供することにある。
本発明は、先ず、一対の大判ガラス基板(マザー基板、母基板)を貼り合わせる。これを個別の表示パネル毎に、又は1列×N枚又は2列×N枚(Nは2以上)の表示パネルを含む短冊状のユニット(短冊状ユニット)毎に切断する。個別の表示パネル又は短冊状ユニットの配線接続部に配線材を接続した後にガラス基板をエッチングで薄くする。このエッチング工程では、貼り合わせた表示パネルの配線接続部に配線材を接続した後、エッチングする部分をマスキングする。
マスキングした個別の表示パネル又は短冊状ユニット全体に有機膜の化学研磨保護膜(エッチング保護膜)を塗布する。その後、マスキングを、その上のエッチング保護膜と共に剥離して化学研磨液(エッチング液)に浸漬し、露出したガラス基板の表面を所定厚に研磨する。所定厚はガラス基板の側面に残留するエッチング保護膜の位置で規定される。短冊状ユニットの場合は、更に短冊状ユニットを個別の表示パネルに分離する。その後、配線材の化学研磨保護膜を除去する。
なお、エッチング保護膜を配線接続部や配線材部分には塗布しないでおき、配線接続部と配線材はエッチング液に浸漬させないようにしてもよい。
配線材をガラス基板のエッチング処理前に接続することで、ガラス基板をより薄くすることができ、表示パネルの薄型化、軽量化、さらに曲面化やフレキシブル化が可能となる。
以下本発明の最良の実施形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の表示装置の実施例1を説明する平面図である。また、図2は、図1のX−X‘線に沿った断面図である。この表示装置は液晶表示パネルを用いたものである。液晶表示パネルは、第1のガラス基板である薄膜トランジスタ基板(TFT基板)SUB1と、第2のガラス基板である対向基板SUB2とを対向させて枠状のシール材で貼り合わせてある。TFT基板SUB1は、主面の一部を露出させ、露出部に配線接続部TMAを形成している。
配線材FPCは、所謂フレキシブルプリント基板であり、TFT基板SUB1の配線接続部TMAに一端側を接続し、他端側に外部回路と接続するコネクタを有する。この液晶表示パネルの側面、かつシール材SLの側面にエッチング保護膜PERを有する。そして、エッチング保護膜PERが配線接続部TMAと配線材FPCを覆っている。シール材SLの内側に液晶LCを封入している。
実施例1では、液晶表示パネルの側面、かつシール材SLの側面にエッチング保護膜PERを有する。この部分のエッチング保護膜PERは、研磨(エッチング)の際に、シール材SLとガラス基板(TFT基板SUB1、対向基板SUB2)の対向面も研磨(エッチング)されて板厚が極端に薄くなり、この部分が脆くなるのを回避し、またシール材SLとガラス基板の間にエッチング液が浸入して研磨(エッチング)が起こり、シール不良になるのを防止する機能を果たしたものである。
配線接続部TMAや配線材FPCの部分を覆ったエッチング保護膜PERの少なくとも配線材FPC部分は剥離する。なお、エッチングの際に、エッチング保護膜PERを配線接続部TMAや配線材FPC部分には塗布しないでおき、配線接続部と配線材はエッチング液に浸漬させないようにすることもできる。この場合の液晶表示パネルは、配線接続部TMAと配線材FPC部分にエッチング保護膜PERを有しない構造となる。
図3は、本発明の実施例1の液晶表示パネルを製作する工程を説明する図2と同様の断面図である。図3において、ガラス基板であるTFT基板SUB1と対向基板SUB2の間に液晶LCを封入してシール材SLで貼り合わせる。TFT基板SUB1の配線接続部TMAに配線材FPCを熱圧着する(プロセス1、以下P−1のように表記)。
TFT基板SUB1と対向基板SUB2のガラス基板の表面とエッチングで除去する厚みの部分まで当該ガラス基板の側面をマスキング材MSKを塗布してマスキングする(P−2)。
マスキングした液晶表示パネルの全表面を覆ってエッチング保護膜PERを塗布する(P−3)。
マスキング材MSKを、その上のエッチング保護膜PERと共に除去し、ガラス基板のエッチングすべき部分を露出する(P−4)。
エッチングすべき部分を露出させた液晶表示パネルをフッ酸を好適とするエッチング液に浸漬して所要の板厚までエッチングする(P−5)。エッチング処理した液晶表示パネルは洗浄してエッチング液を除去する。最後に、配線材FPCの部分のエッチング保護膜PERを除去する。以上のプロセスで板厚を薄くした液晶表示パネルを製作する。
実施例1の液晶表示パネルによれば、配線材をガラス基板のエッチング研磨処理前に接続することで、ガラス基板をより薄くすることができ、表示パネルの薄型化、軽量化、さらに曲面化やフレキシブル化を実現可能となる。
第1のガラス基板SUB1を薄膜トランジスタ基板とし、第2のガラス基板SU2を封止基板として、シール材SLの内側、かつ前記第1のガラス基板の主面に有機EL発光層を形成して有機ELパネルとした。その他の構成、製作プロセスは実施例1と同様である。
実施例2の有機ELパネルによれば、配線材をガラス基板のエッチング研磨処理前に接続することで、ガラス基板をより薄くすることができ、表示パネルの薄型化、軽量化、さらに曲面化やフレキシブル化を実現可能となる。
実施例1では、個別の表示パネルごとにエッチング処理をしているが、本発明は短冊状に配置した複数の表示パネル短冊状ユニットごとにエッチング処理することもできる。図4は、本発明の実施例3を説明する平面図であり、液晶表示装置を構成する3枚の液晶表示パネルを短冊状に配置した短冊状ユニットを示す。
図4において、先ず、第1の基板である薄膜トランジスタ基板SUB1と第2の基板である対向基板SUB2を貼り合わせた複数枚取り大サイズのパネル母基板を短冊状に切断して短冊状ユニットとする。短冊状ユニットは1(又は2)×N枚の表示パネルを一方向に配置したもので、実施例3の短冊状ユニットB-PNLは3枚の表示パネルPNL1、PNL2、PNL3を一方向に配置している。
この短冊状ユニットB-PNLに配線材FPCであるフレキシブルプリント配線基板を取り付ける。配線材FPCは各表示パネルPNL1、PNL2、PNL3の端子部TMAで異方性導電フィルムなどを介した熱圧着等により接続される。その後実施例1と同様のマスキングを行い、エッチング保護膜を全体に塗布する。マスキング材とその上にあるエッチング保護膜を除去してエッチング処理する。
図4はエッチング処理した状態の短冊状ユニットB-PNLを示す。エッチング保護膜PERは、二枚のガラス基板の側面、端子部TMA、配線材FPCを覆っていると共に、隣接する表示パネルのシール材SLの間にも塗布されている。その後、この短冊状ユニットB-PNLを個々の液晶表示パネルに分離する。有機ELパネルへの適用も実施例1と同様である。
図5は、本発明の実施例4を説明する平面図であり、液晶表示装置を構成する複数の液晶表示パネルを二列の短冊状に配置したものである。この短冊状ユニットB−PNLは、薄膜トランジスタ基板SUB1と対向基板SUB2を貼り合わせた複数枚取り大サイズのパネル母基板を2列の短冊状に切断したものである。図5では、2×3枚の表示パネルで一枚の短冊状ユニットB−PNLとした。
この短冊状ユニットB−PNLは、図4で説明した1×3枚の短冊状ユニットを、フレキシブルプリント配線基板FPCを設置する長辺とは反対側の辺に関して鏡像関係になるように配置したものである。ガラス厚薄型化は、上記の実施例と同様であるので、繰り返しの説明はしない。
本発明により、表示部のガラス厚0.1mm〜0.05mm程度の超薄型パネルが生産でき、これを曲面状に成型し、固定して、湾曲した表示パネルとすることも可能になる。有機ELパネルへの適用も実施例1と同様である。
本発明の表示装置の実施例1を説明する平面図である。 図1のX―X線に沿った断面図である。 本発明の実施例1の液晶表示パネルを製作する工程を説明する図2と同様の断面図である。 本発明の実施例3を説明する平面図である。 本発明の実施例4を説明する平面図であり、液晶表示装置を構成する複数の液晶表示パネルを二列の短冊状に配置したものである。 大判ガラス基板から複数の液晶表示パネルの作製を説明する平面図である。 図6のX−X‘線に沿った断面図である。
符号の説明
PNL・・・表示パネル、B−PNL・・・短冊状ユニット、SUB1・・・薄膜トランジスタ基板、SUB2・・・対向基板、SL・・・シール材、TM・・・端子、TMA・・・端子部、MSK・・・マスキング、PER・・・エッチング保護膜、TCP・・・配線材。

Claims (4)

  1. 第1のガラス基板と第2のガラス基板とを有する表示装置であって、
    前記第1のガラス基板と前記第2のガラス基板とは、各々の主面同士を対向し、且つ枠状のシール材で貼り合わされて表示パネルを形成し、
    前記第1のガラス基板は、前記主面に配線接続部を有し、
    前記配線接続部は、前記第2のガラス基板から露出しており、
    前記配線接続部に一端側を接続し、他端側を外部回路と接続する配線材と、
    化学研磨保護膜が前記配線接続部と前記配線材を覆い、
    前記表示パネルの側面、かつ前記シール材の側面に前記化学研磨保護膜を有し、
    前記表示パネルの前記配線接続部に前記配線材が接続された後、前記化学研磨保護膜が形成され、前記化学研磨保護膜が形成された後、前記第1及び第2のガラス基板は化学研磨液によって研磨されたものであることを特徴とする表示装置。
  2. 請求項1において、
    前記第1のガラス基板は薄膜トランジスタ基板で、前記第2のガラス基板は対向基板であり、前記シール材の内側に液晶を封入してなることを特徴とする表示装置。
  3. 請求項1において、
    前記第1のガラス基板は薄膜トランジスタ基板で、前記第2のガラス基板は対向基板であり、前記シール材の内側、かつ前記第1のガラス基板の主面に有機EL発光層を形成してなることを特徴とする表示装置。
  4. 表示装置を構成する表示パネルのガラス基板の所要部分の板厚を薄く研磨する表示装置の製造方法であって、
    第1のガラス基板と第2のガラス基板を表示パネル部分毎にシール剤で貼り合わせた複数枚取りのパネル母基板から1列×N枚又は2列×N枚(Nは2以上)の表示パネル毎に切断して短冊状ユニットとする短冊状ユニット形成工程と、
    前記短冊状ユニットの各表示パネルの端子部に配線材を接続する配線材設置工程と、
    前記短冊状ユニットの前記第1のガラス基板と第2のガラス基板の表面の全域、およびその側面の化学研磨で除去する部分を覆ってマスキング材を形成するマスキング工程と、
    前記配線材とマスキング材を含めた前記短冊状ユニット全体を覆って化学研磨保護膜形成する化学研磨保護膜形成工程と、
    前記マスキング材をその上の前記化学研磨保護膜と共に除去するマスキング材剥離工程と、
    前記マスキング材の剥離で露出した前記第1のガラス基板と第2のガラス基板の前記表面および側面を化学研磨液によって研磨する化学研磨工程と、
    を含む表示装置の製造方法。


JP2007210903A 2007-08-13 2007-08-13 表示装置とその製造方法 Active JP5345303B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007210903A JP5345303B2 (ja) 2007-08-13 2007-08-13 表示装置とその製造方法
US12/189,904 US7903192B2 (en) 2007-08-13 2008-08-12 Display device and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007210903A JP5345303B2 (ja) 2007-08-13 2007-08-13 表示装置とその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009047736A JP2009047736A (ja) 2009-03-05
JP5345303B2 true JP5345303B2 (ja) 2013-11-20

Family

ID=40362419

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007210903A Active JP5345303B2 (ja) 2007-08-13 2007-08-13 表示装置とその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7903192B2 (ja)
JP (1) JP5345303B2 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI587734B (zh) * 2009-03-26 2017-06-11 精工愛普生股份有限公司 有機el裝置、有機el裝置之製造方法、及電子機器
KR102076503B1 (ko) * 2013-01-24 2020-02-13 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
CN105044956B (zh) * 2015-09-08 2018-01-26 京东方科技集团股份有限公司 显示面板的制备方法、绑定切割装置
KR20170098351A (ko) * 2016-02-19 2017-08-30 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
US10534227B2 (en) * 2016-09-19 2020-01-14 Lg Display Co., Ltd. Integrated display module and ultra-slim display device
WO2018119026A1 (en) 2016-12-23 2018-06-28 3M Innovative Properties Company Printable compositions including polymeric and polymerizable components, articles, and methods of making articles therefrom
WO2018138836A1 (ja) * 2017-01-26 2018-08-02 株式会社 電硝エンジニアリング ディスプレイ用電子基板の製造方法、ディスプレイ用電子基板の研磨方法および研磨装置
KR102350908B1 (ko) * 2017-06-12 2022-01-14 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN107179642A (zh) * 2017-07-04 2017-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板及液晶显示模组
US10831046B2 (en) 2017-07-04 2020-11-10 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Frameless liquid crystal display panel and liquid crystal display module
KR102491515B1 (ko) * 2017-07-07 2023-01-26 삼성디스플레이 주식회사 표시장치용 글래스 부재, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 표시장치
CN110741427B (zh) * 2017-11-10 2021-10-22 深圳市柔宇科技股份有限公司 柔性面板的制作方法、柔性面板和显示装置
CN107817621B (zh) * 2017-12-15 2021-01-26 江西沃格光电股份有限公司 平板显示器的修复方法
US10895785B2 (en) * 2018-06-29 2021-01-19 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display panel, liquid crystal display panel body component, and method of producing liquid crystal display panels
CN113651539A (zh) * 2021-08-16 2021-11-16 江西沃格光电股份有限公司 玻璃基板的减薄方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10186300A (ja) * 1996-12-27 1998-07-14 Sony Corp 液晶パネルの基板表面の付着物等の除去方法
JP4750969B2 (ja) 2001-06-27 2011-08-17 東芝モバイルディスプレイ株式会社 平面表示装置の製造方法
US6894840B2 (en) * 2002-05-13 2005-05-17 Sony Corporation Production method of microlens array, liquid crystal display device and production method thereof, and projector
JP4411956B2 (ja) * 2002-12-10 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP4337337B2 (ja) * 2002-12-10 2009-09-30 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP4082239B2 (ja) * 2003-02-27 2008-04-30 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2005241827A (ja) * 2004-02-25 2005-09-08 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 液晶表示装置
JP4526415B2 (ja) * 2004-03-15 2010-08-18 シャープ株式会社 表示装置及び表示装置用ガラス基板
JP4378314B2 (ja) * 2005-04-26 2009-12-02 シャープ株式会社 表示装置及び表示装置の製造方法
JP4628186B2 (ja) 2005-06-01 2011-02-09 日本ペイント株式会社 ガラスエッチング用レジスト樹脂組成物及びガラス基板エッチング方法
JP4712454B2 (ja) 2005-06-21 2011-06-29 西山ステンレスケミカル株式会社 ガラス表面の研磨方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009047736A (ja) 2009-03-05
US7903192B2 (en) 2011-03-08
US20090045752A1 (en) 2009-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5345303B2 (ja) 表示装置とその製造方法
KR101050959B1 (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
US9104049B2 (en) Display device with a base material made of plastic
CN110570764A (zh) 一种显示面板及其制作方法
KR101618157B1 (ko) 표시 장치 및 이의 제조 방법
US8736803B2 (en) Mother panel wherein a sealing material includes a first sealing material and a second sealing material wherein the first and second sealing material enables air tight sealing within a periphery of the mother panel
CN113614816B (zh) 阵列基板及其制造方法、显示面板、显示装置
US20120069509A1 (en) Method for fabricating display panel
JP4301302B2 (ja) 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器
JP2018132542A (ja) 表示パネル
JP2009047897A (ja) 薄型パネルの製造方法
JP4323115B2 (ja) 機能性パネルの製造方法
KR20140081408A (ko) 콘택홀 형성방법 및 박막트랜지스터 어레이 기판의 제조방법
JP2009258324A (ja) 表示パネル及びその製造方法、並びに電子機器
JP2019178018A (ja) 薄型ガラス基板製造方法
US7704795B2 (en) Display device and manufacturing method thereof
JP3550027B2 (ja) 平面型表示パネルの製造方法
JP2018026260A (ja) 表示装置製造方法
TWI815428B (zh) 發光二極體顯示面板的製造方法
JP2000284260A (ja) 液晶装置の製造方法
US20220357627A1 (en) Display device and fabrication method of the same
JPH10206871A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
US20240145453A1 (en) Display panel and display device
JP2016126111A (ja) 液晶パネル用基板
JP2011014780A (ja) 半導体装置用基板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100709

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20110218

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20110218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120424

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120619

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121009

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130723

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130814

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5345303

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350