CN110741427B

CN110741427B - 柔性面板的制作方法、柔性面板和显示装置

Info

Publication number: CN110741427B
Application number: CN201780092075.9A
Authority: CN
Inventors: 周启豪; 叶昱均
Original assignee: Shenzhen Royole Technologies Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Royole Technologies Co Ltd
Priority date: 2017-11-10
Filing date: 2017-11-10
Publication date: 2021-10-22
Anticipated expiration: 2037-11-10
Also published as: CN110741427A; TWI689807B; TW201918823A; WO2019090695A1

Abstract

一种柔性面板(10)的制作方法、一种柔性面板(10)和显示装置。柔性面板(10)的制作方法包括：提供刚性基板(20)，刚性基板(20)包括第一面(22)和与第一面(22)相背的第二面(24)，在第一面(22)上形成柔性衬底(12)；在柔性衬底(12)上形成器件层(14)，在器件层(14)上形成保护膜(16)，保护膜(16)贴附刚性基板(20)，柔性衬底(12)、器件层(14)和保护膜(16)形成柔性面板(10)；从第二面(24)的一侧进行激光剥离制程以使柔性衬底(12)与第一面(22)分离；冷却保护膜(16)使保护膜(16)与第一面(22)分离；和分离柔性面板(10)与刚性基板(20)。

Description

柔性面板的制作方法、柔性面板和显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种柔性面板的制作方法、柔性面板和显示装置。

背景技术

在相关技术中，柔性面板一般需要在刚性基板上制作一层柔性衬底，并在柔性衬底上制备器件层以及覆盖保护膜，最后再采用激光扫描方法将柔性衬底与刚性基板分离，从而形成柔性面板。

在激光扫描后，柔性衬底已经与刚性基板分离，但是由于保护膜的黏性不受激光的影响并且覆盖在柔性衬底的上方，使得柔性衬底、器件层以及保护膜仍贴附在刚性基板上。为了将柔性衬底、器件层以及保护膜彻底与玻璃基板分离，一般使用刀片切开保护膜与刚性基板之间的胶层，但是，这种操作需要精确对位且存在刀片刮伤柔性面板的风险。

发明内容

本发明的实施方式提供一种柔性面板的制作方法、柔性面板和显示装置。

本发明实施方式的柔性面板的制作方法，包括：

提供刚性基板，所述刚性基板包括第一面和与所述第一面相背的第二面，在所述第一面上形成柔性衬底；

在所述柔性衬底上形成器件层，并在所述器件层上形成保护膜，所述保护膜贴附所述刚性基板，所述柔性衬底、所述器件层和所述保护膜形成所述柔性面板；

从所述第二面的一侧进行激光剥离制程以使所述柔性衬底与所述第一面分离；

冷却所述保护膜使所述保护膜与所述第一面分离；和

分离所述柔性面板与所述刚性基板。

本发明实施方式的柔性面板的制作方法，通过冷却保护膜，可使保护膜降低黏性并产生翘曲，这样保护膜可与刚性基板的第一面分离，然后再分离柔性面板与刚性基板。如此，可实现快速、无损且无需精确对位的柔性面板分离方式，同时，也避免对柔性面板造成刮伤的风险。

本发明实施方式的柔性面板，所述柔性面板采用上述实施方式任一项所述的制作方法制成。

本发明实施方式的柔性面板，柔性面板与刚性基板的分离无需精确对位，且可避免对柔性面板造成刮伤的风险。

本发明实施方式的显示装置，包括上述实施方式所述的柔性面板。

本发明实施方式的显示装置，柔性面板与刚性基板的分离无需精确对位，且可避免对柔性面板造成刮伤的风险。

本发明的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实施方式的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明实施方式的柔性面板的制作方法的流程示意图；

图2是本发明实施方式的柔性面板的结构示意图；

图3是本发明实施方式在刚性基板上形成柔性面板的示意图；

图4是本发明实施方式的激光剥离制程的示意图；

图5是本发明实施方式的柔性面板与刚性基板分离的示意图；

图6是本发明实施方式的喷洒装置的运动轨迹的示意图。

主要元件符号附图说明：

柔性面板10、柔性衬底12、器件层14、保护膜16、刚性基板20、第一面22、第二面24、吸盘30、喷洒装置40。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

请参阅图1至图5，本发明实施方式的柔性面板10的制作方法，包括：

步骤S11：提供刚性基板20，刚性基板20包括第一面22和与第一面22相背的第二面24，在第一面22上形成柔性衬底12；

步骤S13：在柔性衬底12上形成器件层14，并在器件层14上形成保护膜16，保护膜16贴附刚性基板20，柔性衬底12、器件层14和保护膜16形成柔性面板10；

步骤S15：从第二面24的一侧进行激光剥离制程以使柔性衬底12与第一面22分离；

步骤S17：冷却保护膜16使保护膜16与第一面22分离；和

步骤S19：分离柔性面板10与刚性基板20。

本发明实施方式的柔性面板10的制作方法，通过冷却保护膜16，可使保护膜16降低黏性并产生翘曲，这样保护膜16可与刚性基板20的第一面22分离，然后再分离柔性面板10与刚性基板20。如此，可实现快速、无损且无需精确对位的柔性面板10分离方式，同时，也避免对柔性面板10造成刮伤的风险。

可以理解，柔性面板10包括柔性衬底12、器件层14和保护膜16。在本发明的实施方式中，进行激光剥离制程后，柔性衬底12已经与刚性基板20分离，但是由于保护膜16贴附刚性基板20且保护膜16的黏性不受激光影响，保护膜16和刚性基板20仍未分离，从而导致柔性面板10仍贴附在刚性基板20上。由于保护膜16与刚性基板20的热膨胀系数不一致，可通过冷却保护膜16，使保护膜16降低黏性并产生翘曲从而脱附刚性基板20。然后，将柔性面板10与刚性基板20彻底分离，并将柔性面板10移交至托盘中。保护膜16恢复常温后会重新变得平整。如此，进行激光剥离制程后，无需使用刀片切开保护膜16与刚性基本之间的胶层便可将柔性面板10与刚性基板20分离，从而实现了快速、无损且无需精确对位的柔性面板10分离方式，同时，也避免了对柔性面板10造成刮伤的危险。

在某些实施方式中，柔性面板10为柔性OLED面板。柔性OLED面板在柔性衬底12上制作显示器件层14，器件层14包括层叠设置的ITO阳极、有机功能层和金属阴极。

在某些实施方式中，在第一面22上形成柔性衬底12，包括：在第一面22上涂布聚酰亚胺液以形成柔性衬底12。

可以理解，聚酰亚胺(PI)是一种有机高分子材料，其力学性能优异、耐高温达400℃以上，长期使用温度范围为-200至300℃，是制作柔性衬底12最常用的材料。因此，由聚酰亚胺液形成的柔性衬底12耐撞击、不易破碎且轻薄。在柔性面板10的制作过程中，柔性衬底12不易受温度变化的影响。

当然，柔性衬底12可以不限于上述实施方式，而在其他实施方式中可以根据需求采用其他合适的材料，例如，聚对萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)。

在某些实施方式中，请参阅图3和图4，提供刚性基板20，包括：使第一面22朝上及第二面24朝下；

从第二面24的一侧进行激光剥离制程以使柔性衬底12与第一面22分离，包括：翻转刚性基板20，使第一面22朝下及第二面24朝上，从第二面24的一侧进行激光剥离制程以使柔性衬底12与第一面22分离。

可以理解，在本发明的实施方式中，在刚性基板20的第一面22上层叠形成有柔性衬底12、器件层14和保护膜16，从刚性基板20的第二面24的一侧进行激光剥离制程，既可使柔性衬底12与第一面22分离，也可减弱激光对器件层14的影响。

在一个实施例中，在进行激光剥离制程时，将刚性基板20翻转使第一面22朝下及第二面24朝上。此时，激光从上往下照射并由刚性基板20穿透至柔性衬底12，柔性衬底12与激光发生化学反应使柔性衬底12脱离刚性基板20。当然，在另一个实施例中，在进行激光剥离制程时，也可不翻转刚性基板20，保持第一面22朝上及第二面24朝下。此时，激光从下往上照射并由刚性基板20穿透至柔性衬底12，柔性衬底12与激光发生化学反应使柔性衬底12脱离刚性基板20。

在某些实施方式中，在冷却保护膜16前，柔性面板10的制作方法包括：翻转刚性基板20，使第一面22朝上及第二面24朝下。

可以理解，在图示的实施方式中，进行激光剥离制程前，翻转了刚性基板20，因此，在冷却保护膜16前，翻转刚性基板20使第一面22朝上和第二面24朝下，方便冷却保护膜16。

在某些实施方式中，请参阅图5，冷却保护膜16，包括：沿保护膜16的边缘喷洒冷冻剂以冷却保护膜16。

如此，沿保护膜16的边缘喷洒冷冻剂来冷却保护膜16，方法简单可行，成本低。

在某些实施方式中，请参阅图6，沿保护膜16的边缘喷洒冷冻剂以冷却保护膜16，包括：沿保护膜16的边缘360度喷洒冷冻剂以冷却保护膜16。

可以理解，可通过喷洒装置40喷洒冷冻剂来冷却保护膜16的边缘，方法简单且容易实现。在本发明实施方式中，喷洒装置40可按图6中虚线轨迹运动，沿保护膜16的边缘360度喷洒冷冻剂以冷却保护膜16使其黏性降低。具体地，喷洒装置40可按图6中虚线轨迹顺时针运动或逆时针运动。如此，皆可实现沿保护膜16的边缘360度喷洒冷冻剂。

进一步地，喷洒装置40的喷头可控制喷洒量和喷洒距离，从而间接控制冷却温度。可以使用多个喷洒装置40同时喷洒冷冻剂进行冷却，从而加快冷却速度。多个可以理解为两个或两个以上。

当然，冷却方式可以不限于上述实施方式，而在其他实施方式中可以根据需求采用其他合适的方式。例如，可以在保护膜16的边缘旁边放置管道，管道360度围绕保护膜16的边缘。进行冷却时，向管道中通入冷冻剂。冷冻剂的温度透过管道传递到保护膜16的边缘，从而冷却保护膜16的边缘。

在某些实施方式中，冷冻剂包括液氮。

可以理解，液氮是一种常见且应用比较多的冷冻剂。在常压下，液氮的温度为-196℃。如此，液氮可以迅速冷却保护膜16的边缘。

当然，冷冻剂可以不限于上述实施方式，而在其他实施方式中可以根据需求采用其他合适的冷冻剂。

在某些实施方式中，分离柔性面板10与刚性基板20包括：使用吸盘30吸附保护膜16使柔性面板10与刚性基板20分离。

可以理解，利用吸盘30吸附保护膜16使柔性面板10与刚性基板20分离，方便快捷。在本发明的一个示例中，吸盘30的数量是多个，多个吸盘30均匀间隔地吸附保护膜16。吸盘30利用内外大气压力的差别来吸附物体。多个吸盘30的吸附力更强。在吸盘30吸附保护膜16使柔性面板10与刚性基板20分离的过程中，多个吸盘30吸附保护膜16，确保柔性面板10不易掉落。多个吸盘30可以理解为两个或两个以上，可以根据实际需求选择吸盘30的数量。

在某些实施方式中，吸盘30可为真空吸盘。真空吸盘利用真空原理，即真空负压来吸附保护膜16以达到提起柔性面板10的目的。真空吸盘包括通气口，通气口与真空发生装置连接。当真空发生装置启动后，通气口通气，将吸盘30内部的空气抽走，形成了压力为P2的真空状态。此时，吸盘30内部的压力P2低于吸盘30外部的大气压力P1，即P2<P1，保护膜16在外部压力的作用下被吸附住。吸盘30内部的真空度越高，吸盘30与保护膜16之间贴的越紧。

在某些实施方式中，刚性基板20为玻璃基板、陶瓷基板或石英基板。

可以理解，多种刚性基板20可供选择，当缺少某一类型的刚性基板20时，可以选择另一类型替代。在本发明的实施方式中，优选的刚性基板20为玻璃基板。

在某些实施方式中，柔性衬底12的尺寸小于刚性基板20的尺寸。

如此，确保能够在刚性基板20上制作柔性面板10。

在某些实施方式中，保护膜16覆盖柔性衬底12。

可以理解，保护膜16覆盖柔性衬底12，且器件层14的尺寸小于或等于柔性衬底12的尺寸。如此，保护膜16可以防止空气中的水气和灰尘等杂质污染器件层14和柔性衬底12。

具体地，在图2的示例中，器件层14的尺寸小于柔性衬底12的尺寸，使得柔性衬底12的上表面存在没有器件层14的边缘部位，保护膜16覆盖柔性衬底12，使得保护膜16包覆柔性衬底12的上表面没有器件层14的边缘部位和柔性衬底12的侧面。

在某些实施方式中，吸盘30包括透明软胶吸盘。

可以理解，透明软胶的成本低，其制成的吸盘30吸附力强。具体的，吸盘30将柔性面板10上方的保护膜16吸附住，然后将柔性面板10移交至托盘。吸盘30的吸附力强，可避免柔性面板10掉落。

本发明实施方式的一种柔性面板10采用上述任一实施方式的制作方法制成。

本发明实施方式的柔性面板10，柔性面板10与刚性基板20的分离无需精确对位，且可避免对柔性面板10造成刮伤的风险。

本发明实施方式的一种显示装置，包括上述实施方式的柔性面板10。

本发明实施方式的显示装置，柔性面板10与刚性基板20的分离无需精确对位，且可避免对柔性面板10造成刮伤的风险。

具体地，显示装置包括但不限于手机、平板电脑、带显示功能的可穿戴式电子装置。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种柔性面板的制作方法，其特征在于，包括：

冷却所述保护膜使所述保护膜与所述第一面分离；和

分离所述柔性面板与所述刚性基板。

2.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述在所述第一面上形成柔性衬底，包括：在所述第一面上涂布聚酰亚胺液以形成所述柔性衬底。

3.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述提供刚性基板，包括：使所述第一面朝上及所述第二面朝下；

所述从所述第二面的一侧进行激光剥离制程以使所述柔性衬底与所述第一面分离，包括：翻转所述刚性基板，使所述第一面朝下及所述第二面朝上，从所述第二面的一侧进行激光剥离制程以使所述柔性衬底与所述第一面分离。

4.如权利要求3所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，在冷却所述保护膜前，所述柔性面板的制作方法包括：翻转所述刚性基板，使所述第一面朝上及所述第二面朝下。

5.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述冷却所述保护膜，包括：沿所述保护膜的边缘喷洒冷冻剂以冷却所述保护膜。

6.如权利要求5所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述沿所述保护膜的边缘喷洒冷冻剂以冷却所述保护膜，包括：沿所述保护膜的边缘360度喷洒冷冻剂以冷却所述保护膜。

7.如权利要求5所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述冷冻剂包括液氮。

8.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述分离所述柔性面板与所述刚性基板包括：使用吸盘吸附所述保护膜使所述柔性面板与所述刚性基板分离。

9.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述刚性基板为玻璃基板、陶瓷基板或石英基板。

10.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述柔性衬底的尺寸小于所述刚性基板的尺寸。

11.如权利要求1所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述保护膜覆盖所述柔性衬底。

12.如权利要求8所述的柔性面板的制作方法，其特征在于，所述吸盘包括透明软胶吸盘。

13.一种柔性面板，其特征在于，所述柔性面板采用权利要求1-12任一项所述的制作方法制成。

14.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求13所述的柔性面板。