CN113651539A - 玻璃基板的减薄方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种玻璃基板的减薄方法，所述减薄方法包括：提供一玻璃基板，所述玻璃基板具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面的边缘区域固定有COF，所述COF与所述第一表面具有交叠区域；形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；形成包覆所述COF的第二保护膜；基于所述第一保护膜和所述第二保护膜，对所述第二表面进行刻蚀处理，以减薄所述玻璃基板；将所述玻璃基板减薄至所需厚度后，去除所述第一保护膜和所述第二保护膜。应用本发明提供的技术方案，先将玻璃基板和COF进行粘结固定之后，再对玻璃基板进行刻蚀减薄，可以有效避免玻璃基板的碎片概率，并且在减薄的过程中可以保证COF不被腐蚀，从而保证其功能的完整性。

Description

玻璃基板的减薄方法

技术领域

本发明涉及玻璃减薄技术领域，尤其是涉及一种玻璃基板的减薄方法。

背景技术

随着显示技术的日益成熟，显示器件的薄型化成为了当今的主流发展趋势，其中一个方向就是使用超薄玻璃基板作为显示面板的衬底基板。因此，玻璃基板的薄化制程是实现显示装置薄型化的重要环节。

目前，针对中大尺寸的显示器件一般是在玻璃基板减薄后再进行COF Bonding(覆晶薄膜)，但是其对减薄后的玻璃基板厚度有所限制，当玻璃基板厚度低于100um时，会导致COF致损率过高。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种玻璃基板的减薄方法，先将玻璃基板和COF进行粘结固定之后，再对玻璃基板进行刻蚀减薄，可以有效避免玻璃基板碎片概率，并且在减薄的过程中可以保证COF不被腐蚀，从而保证其功能的完整性。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种玻璃基板的减薄方法，所述减薄方法包括：

提供一玻璃基板，所述玻璃基板具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面的边缘区域固定有COF，所述COF与所述第一表面具有交叠区域；

形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；

形成包覆所述COF的第二保护膜；

基于所述第一保护膜和所述第二保护膜，对所述第二表面进行刻蚀处理，以减薄所述玻璃基板；

将所述玻璃基板减薄至所需厚度后，去除所述第一保护膜和所述第二保护膜。

优选的，在上述的减薄方法中，形成所述第一保护膜的方法包括：

通过覆膜滚轮形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；

其中，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述覆膜滚轮与所述COF无交叠。

优选的，在上述的减薄方法中，所述COF包括相对设置的第三表面和第四表面，所述第三表面与所述第一表面的边缘区域相对固定；

形成所述第二保护膜的方法包括：

剪切与所述COF适配的第二保护膜；

将所述第二保护膜对折包覆所述第三表面和所述第四表面。

优选的，在上述的减薄方法中，所述第二保护膜包括相对设置的基层以及离型层；所述离型层具有中间部分以及包围所述中间部分的边缘部分；

将所述第二保护膜对折包覆所述第三表面和所述第四表面，包括：

将所述边缘部分剥离去除，露出所述基层朝向所述离型层一侧表面的四周边缘区域；

将所述第二保护膜朝向所述离型层的一侧对折，包覆所述COF，所述四周边缘区域相对粘结固定。

优选的，在上述的减薄方法中，所述离型层为油性纸膜材。

优选的，在上述的减薄方法中，覆盖所述第四表面的所述第二保护膜与所述第一保护膜具有交叠部分。

优选的，在上述的减薄方法中，覆盖所述第三表面的所述第二保护膜与所述玻璃基板具有预设间隙；

在对所述第二表面进行刻蚀处理前，还包括：

在所述预设间隙、所述第一保护膜与所述第二保护膜的衔接位置、以及所述第一保护膜与所述玻璃基板的衔接位置进行点胶处理。

优选的，在上述的减薄方法中，对所述第二表面进行刻蚀处理的方法包括：

提供一承载板；

将所述玻璃基板与所述承载板相对固定，所述COF以及所述第一保护膜均与所述承载板粘结固定；

将固定有所述玻璃基板的承载板固定于刻蚀槽内，对所述第二表面进行刻蚀。

优选的，在上述的减薄方法中，所述第一保护膜的厚度不超过100μm，粘度小于0.90N/25mm，

优选的，在上述的减薄方法中，所述第一保护膜朝向所述第一表面的表面具有第一区域以及包围所述第一区域的第二区域；

所述第一区域与所述第一表面之间具有隔离纸，所述第二区域具有粘性，与所述第一表面粘结固定。

通过上述描述可知，本发明技术方案提供的玻璃基板的减薄方法中，先将玻璃基板和COF进行粘结固定之后，再对玻璃基板进行刻蚀减薄，可以有效避免玻璃基板的碎片概率，并且在减薄的过程中可以保证COF不被腐蚀，从而保证其功能的完整性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1-图10为本发明实施例提供的一种玻璃基板的减薄方法的工艺流程图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的实施例进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

现有技术中，针对中大尺寸的显示器件一般是在玻璃基板减薄后再进行COFBonding，COF连接在玻璃基板边缘，以软质附加电路封装芯片。该玻璃基板的减薄方式主要以HF(氢氟酸)浸泡、喷洒、流片等方式进行，并且其对减薄后的玻璃基板厚度有所限制，当玻璃基板厚度低于100um时，会导致COF致损率过高。

另一种方式中，在玻璃基板减薄前将玻璃基板与COF绑定，带着COF进行刻蚀。但是该方式中，COF暴露在HF溶液中，COF存在电路及芯片因其不耐酸性将导致被酸液腐蚀及功能丧失；并且因为COF软质附着于玻璃基板边缘，在常规刻蚀方式中，插篮(玻璃基板通过模具固定后刻蚀)工序及刻蚀过程中COF将受力导致变形破损或脱落。

因此，本发明提供了一种玻璃基板的减薄方法，利用抗酸膜贴覆包裹保护COF后进行点胶封边处理，最后再进行刻蚀减薄，可以保证COF不被腐蚀。所述减薄方法包括：

提供一玻璃基板，所述玻璃基板具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面的边缘区域固定有COF，所述COF与所述第一表面具有交叠区域；

形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；

形成包覆所述COF的第二保护膜；

基于所述第一保护膜和所述第二保护膜，对所述第二表面进行刻蚀处理，以减薄所述玻璃基板；

将所述玻璃基板减薄至所需厚度后，去除所述第一保护膜和所述第二保护膜。

通过上述描述可知，本发明技术方案提供的玻璃基板的减薄方法中，先将玻璃基板和COF进行粘结固定之后，再对玻璃基板进行刻蚀减薄，可以有效避免玻璃基板的碎片概率，并且在减薄的过程中可以保证COF不被腐蚀，从而保证其功能的完整性。

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。

参考图1-图10，图1-图10为本发明实施例提供的一种玻璃基板的减薄方法的工艺流程图。如图1-图10所示，所述减薄方法包括：

步骤S11：如图1和图2所示(图1为本发明实施例提供的一种玻璃基板的切面图，图2为图1所示玻璃基板的第二表面的俯视图)，提供一玻璃基板11，所述玻璃基板11具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面的边缘区域固定有COF 12，所述COF 12与所述第一表面具有交叠区域；

其中，所述玻璃基板11的尺寸可以为1400mm*800mm。

步骤S12：如图3-图5所示，形成覆盖所述第一表面的第一保护膜13；其中，所述第一保护膜13的厚度不超过100μm，如可以为80μm，粘度小于0.90N/25mm。

本发明实施例中，形成所述第一保护膜13的方法，包括：

如图4和图5所示，通过覆膜滚轮21形成覆盖所述第一表面的第一保护膜13；其中，在垂直于所述玻璃基板11的方向上，所述覆膜滚轮21与所述COF 12无交叠。

因COF 12高度高于玻璃基板11高度，常规覆膜滚轮会压坏COF，因此本案覆膜滚轮21避开玻璃基板11第一表面贴合COF 12的位置，可以避免压坏COF 12。COF 12与玻璃基板11第一表面连接的约1mm的位置被第一保护膜13覆盖。

进一步的，为了便于后续超薄玻璃撕膜，所述第一保护膜13朝向所述第一表面的表面具有第一区域以及包围所述第一区域的第二区域；所述第一区域与所述第一表面之间具有隔离纸，所述第二区域具有粘性，与所述第一表面粘结固定。

需要说明的是，所述覆膜滚轮21朝向所述COF 12的端部可以和COF 12边缘无预设间隙，也可以具有预设间隙，避免覆膜时导致COF 12破碎。

步骤S13：如图6和图7所示，形成包覆所述COF 12的第二保护膜14；

本发明实施例中，所述COF 12包括相对设置的第三表面和第四表面，所述第三表面与所述第一表面的边缘区域相对固定。

其中，形成所述第二保护膜14的方法包括：

首先，如图6所示，剪切与所述COF 12适配的第二保护膜14，然后，如图7所示，将所述第二保护膜14对折包覆所述第三表面和所述第四表面。

其中，覆盖所述第四表面的所述第二保护膜14与所述第一保护膜13具有交叠部分。覆盖所述第三表面的所述第二保护膜14与所述玻璃基板11具有预设间隙15。该预设间隙15不超过5mm，如可以为1mm。

需要说明的是，所述第二保护膜14的剪裁尺寸为：宽取COF 12连接玻璃基板11的长度，长取COF 12宽度的2倍+5cm，以包覆一圈COF 12。

本发明实施例中，所述第二保护膜14包括相对设置的基层和离型层；所述离型层具有中间部分以及包围所述中间部分的边缘部分。

其中，将所述第二保护膜14对折包覆所述第三表面和所述第四表面的方法，包括：

首先，将所述边缘部分剥离去除，露出所述基层朝向所述离型层一侧表面的四周边缘区域；然后，将所述第二保护膜14朝向所述离型层的一侧对折，包覆所述COF 12，所述四周边缘区域相对粘结固定。

进一步的，所述离型层可以为油性纸膜材。

因为第二保护膜14未与COF 12紧密贴覆，第二保护膜14在UV固化下存在高温翘起以及减薄后破损的风险，故此处第二保护膜14选用离型层为油性纸膜材，贴覆时离型层只剥离边缘部分2cm，中间部分保留可有效避免翘曲。其他方式中，也可替换为UV LED冷光源固化，不限于使用离型层为油性纸膜材及其覆膜方式。

步骤S14：如图8和图9所示，基于所述第一保护膜13和所述第二保护膜14，对所述第二表面进行刻蚀处理，以减薄所述玻璃基板11；

本发明实施例中，对所述第二表面进行刻蚀的方法包括：

首先，提供一承载板；所述承载板可以选用5mm厚度的PVC(聚氯乙烯)材质，该承载板内部内铣1mm深度，间隔掏孔，形成网格状。PVC有槽，可用于放置胶带，用于粘结玻璃基板11第一表面的第一保护膜13。

然后，将所述玻璃基板11与所述承载板相对固定，所述COF 12以及所述第一保护膜13均与所述承载板粘结固定；即将玻璃基板11的第一表面与PVC背板的内铣面相贴，背板PVC淘孔处用耐酸胶带固定玻璃基板11，以避免COF 12受力导致变形破损。

最后，将所述固定有所述玻璃基板11的承载板固定于刻蚀槽内，对所述第二表面进行刻蚀，形成如图9所示结构。需要说明的是，所述第一保护膜13与所述第二保护膜14均为抗酸膜。

其中，该刻蚀方式可以以HF(氢氟酸)浸泡、喷洒、流片等方式进行。

需要说明的是，在对所述第二表面进行刻蚀处理前，还包括：如图8所示，在所述预设间隙15、所述第一保护膜13与所述第二保护膜14的衔接位置、以及所述第一保护膜13与所述玻璃基板11的衔接位置进行点胶处理。目的是为了避免刻蚀溶液浸入COF 12和第一表面，以避免第一保护膜13和COF 12被腐蚀。可以使用UV胶进行点胶处理，UV胶耐酸并且固化方便。

步骤S15：如图10所示，将所述玻璃基板11减薄至所需厚度后，去除所述第一保护膜13和所述第二保护膜14。

通过本发明提供的覆膜保护及蚀刻方案，可实现带COF的玻璃基板蚀刻，可实现COF不被腐蚀、保证其功能的完整性，为下游工序提供工艺的多样选择性；针对大尺寸超薄显示器件的制备，可以避免超薄产品减薄后邦定COF破片率高等问题。

通过上述描述可知，本发明技术方案提供的玻璃基板的减薄方法中，先将所述玻璃基板11和所述COF 12进行粘结固定之后，再对玻璃基板11进行刻蚀减薄，可以有效避免玻璃基板11的碎片概率，并且在减薄的过程中可以保证COF 12不被刻蚀溶液腐蚀，从而保证其功能的完整性。

以下为工艺改善后投产验证数据：

其中，0.5为初始厚度，产品厚度是减薄后的厚度，COF衔接位置30个中有一个漏酸。

本说明书中各个实施例采用递进、或并列、或递进和并列结合的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括上述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种玻璃基板的减薄方法，其特征在于，包括：

提供一玻璃基板，所述玻璃基板具有相对的第一表面和第二表面；所述第一表面的边缘区域固定有COF，所述COF与所述第一表面具有交叠区域；

形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；

形成包覆所述COF的第二保护膜；

基于所述第一保护膜和所述第二保护膜，对所述第二表面进行刻蚀处理，以减薄所述玻璃基板；

将所述玻璃基板减薄至所需厚度后，去除所述第一保护膜和所述第二保护膜。

2.根据权利要求1所述的减薄方法，其特征在于，形成所述第一保护膜的方法包括：

通过覆膜滚轮形成覆盖所述第一表面的第一保护膜；

其中，在垂直于所述玻璃基板的方向上，所述覆膜滚轮与所述COF无交叠。

3.根据权利要求1所述的减薄方法，其特征在于，所述COF包括相对设置的第三表面和第四表面，所述第三表面与所述第一表面的边缘区域相对固定；

形成所述第二保护膜的方法包括：

剪切与所述COF适配的第二保护膜；

将所述第二保护膜对折包覆所述第三表面和所述第四表面。

4.根据权利要求3所述的减薄方法，其特征在于，所述第二保护膜包括相对设置的基层以及离型层；所述离型层具有中间部分以及包围所述中间部分的边缘部分；

将所述第二保护膜对折包覆所述第三表面和所述第四表面，包括：

将所述边缘部分剥离去除，露出所述基层朝向所述离型层一侧表面的四周边缘区域；

将所述第二保护膜朝向所述离型层的一侧对折，包覆所述COF，所述四周边缘区域相对粘结固定。

5.根据权利要求4所述的减薄方法，其特征在于，所述离型层为油性纸膜材。

6.根据权利要求3所述的减薄方法，其特征在于，覆盖所述第四表面的所述第二保护膜与所述第一保护膜具有交叠部分。

7.根据权利要求3所述的减薄方法，其特征在于，覆盖所述第三表面的所述第二保护膜与所述玻璃基板具有预设间隙；

在对所述第二表面进行刻蚀处理前，还包括：

在所述预设间隙、所述第一保护膜与所述第二保护膜的衔接位置、以及所述第一保护膜与所述玻璃基板的衔接位置进行点胶处理。

8.根据权利要求1所述的减薄方法，其特征在于，对所述第二表面进行刻蚀处理的方法包括：

提供一承载板；

将所述玻璃基板与所述承载板相对固定，所述COF以及所述第一保护膜均与所述承载板粘结固定；

将固定有所述玻璃基板的承载板固定于刻蚀槽内，对所述第二表面进行刻蚀。

9.根据权利要求1所述的减薄方法，其特征在于，所述第一保护膜的厚度不超过100μm，粘度小于0.90N/25mm。

10.根据权利要求1所述的减薄方法，其特征在于，所述第一保护膜朝向所述第一表面的表面具有第一区域以及包围所述第一区域的第二区域；

所述第一区域与所述第一表面之间具有隔离纸，所述第二区域具有粘性，与所述第一表面粘结固定。

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