JP2012078759A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ10内に導波路12が設けられている。進行波型電極14の入力部14aに、第1のワイヤ18を介して給電ライン20が接続されている。進行波型電極14の出力部14bに、第2のワイヤ22及び終端ライン24を介して終端抵抗26が接続されている。出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも大きい。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態1に係る光変調器を示す上面図である。この光変調器は、半導体を材料とする進行波型マッハツェンダ光変調器である。
Δφ=Δn・L・2π/λ (1)
Zin>Zwg>Ro (2)
ここで、Zinは給電ライン20のインピーダンス(入力インピーダンス)、Zwgは導波路12のインピーダンス、Roは終端抵抗26の抵抗値である。
Zwg〜(Zin+Ro)/2 (3)
Z1>Z2 及び Zwg>Z2 (4)
ここで、Z1は進行波型電極14の入力部14aのインピーダンス、Z2は進行波型電極14の出力部14bのインピーダンスである。
図11は、実施の形態2に係る光変調器を示す上面図である。進行波型電極14の出力部14bの幅は出力端に向かって大きく広がり、出力部14bの面積が入力部14aの面積より大きくなっている。このため、出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも大きい。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。
図12は、実施の形態3に係る光変調器を示す上面図である。出力部14bに第1のスタブ50が接続されている。このため、出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも大きい。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。
図13は、実施の形態4に係る光変調器を示す上面図である。進行波型電極14が実施の形態1のようなGSG型電極になっていない。出力部14bのボンディングパッドの面積は、入力部14aのボンディングパッドの面積の3倍である。これにより、出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも約0.2pF大きくなる。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。なお、出力部14bを半導体チップ10のpn接合と接続させて、電気容量を増加させてもよい。
図14は、実施の形態5に係る光変調器を示す上面図である。進行波型電極14の幅は入力側から出力側に向かうほど広くなる。これにより、伝送路容量が出力側ほど大きくなる。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。
図16は、実施の形態6に係る光変調器を示す上面図である。半導体チップ10上に第1及び第2の絶縁膜52,54が設けられている。進行波型電極14の入力部14aは第1の絶縁膜52上に設けられ、出力部14bは第2の絶縁膜54上に設けられている。そして、第2の絶縁膜54は第1の絶縁膜52より薄く、3分の1程度である。これにより、出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも約0.2pF大きくなる。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。
図17は、実施の形態7に係る光変調器を示す上面図である。出力部14bとグランドライン16の間隔は、入力部14aとグランドライン16の間隔よりも小さい。これにより、出力部14bと接地点の間の電気容量は、入力部14aと接地点の間の電気容量よりも大きくなる。よって、実施の形態1と同様に変調帯域を十分に拡大することができる。
図18は、実施の形態8に係る光変調器を示す上面図である。導波路12のインピーダンスが小さいため、進行波型電極14と給電ライン20を結ぶ第1のワイヤ18で電気反射が生じる。そこで、本実施の形態では、給電ライン20の端に接続された第2のスタブ56を設けている。第2のスタブ56が容量として働いて、第1のワイヤ18のインダクタンス成分を打ち消す。これにより、第1ワイヤ18での電気反射が軽減される。
12 導波路
14 進行波型電極
14a 入力部
14b 出力部
16 グランドライン
18 第1のワイヤ
20 給電ライン
22 第2のワイヤ
26 終端抵抗
50 第1のスタブ
52 第1の絶縁膜
54 第2の絶縁膜
56 第2のスタブ
Claims (7)
- 半導体チップと、
前記半導体チップ内に設けられた導波路と、
入力部と出力部を有し、前記導波路内を通過する光を変調する進行波型電極と、
前記入力部に第1のワイヤを介して接続された給電ラインと、
前記出力部に第2のワイヤを介して接続された終端抵抗とを備え、
前記出力部と接地点の間の電気容量は、前記入力部と接地点の間の電気容量よりも大きいことを特徴とする光変調器。 - 前記出力部の面積は前記入力部の面積より大きいことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記出力部に接続された第1のスタブを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記半導体チップ上に設けられた第1及び第2の絶縁膜を更に備え、
前記入力部は前記第1の絶縁膜上に設けられ、
前記出力部は前記第2の絶縁膜上に設けられ、
前記第2の絶縁膜は前記第1の絶縁膜より薄いことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。 - 前記半導体チップ上で前記進行波型電極の近傍に離間して設けられ、接地されたグランドラインを更に備え、
前記出力部と前記グランドラインの間隔は、前記入力部と前記グランドラインの間隔よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。 - 前記終端抵抗の抵抗値は前記給電ラインのインピーダンスより小さいことを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の光変調器。
- 前記給電ラインに接続された第2のスタブを更に備えることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の光変調器。
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