JP2019200293A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の光変調器の1構成例において、前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間に設けられる容量は、前記第1の信号線路とこれに隣接する前記第1のグランド線路間を下層の誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造、および前記第2の信号線路とこれに隣接する前記第2のグランド線路間を下層の誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなることを特徴とする光変調器。
また、本発明の光変調器の1構成例において、前記第1、第2の信号線路間に設けられる容量は、異なる層に配置された前記第1の信号線路と前記第2の信号線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなり、前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間に設けられる容量は、異なる層に配置された前記第1の信号線路と前記第1のグランド線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造、および異なる層に配置された前記第2の信号線路と前記第2のグランド線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなることを特徴とするものである。
また、本発明の光変調器の1構成例において、前記容量は、前記ワイヤのインダクタンスをL、前記差動駆動マッハツェンダ変調器および前記差動終端器の差動インピーダンスをZdiffとしたとき、L/(Zdiff2)±50%の範囲内の値である。
また、本発明の光変調器の1構成例において、前記差動終端器の終端抵抗は、一端が前記第2の差動高周波線路の第1、第2の信号線路に接続され、他端に前記ドライバICの駆動用電圧が印加され、前記差動終端器の前記第2の差動高周波線路と前記終端抵抗とは、窒化アルミニウムからなる基板上に形成される。
C=L/(Zdiff2)±50%[F] ・・・(1)
Claims (8)
- 光変調のための差動高周波電気信号を生成するドライバICと、
第1の差動高周波線路に入力される前記差動高周波電気信号に応じて入力光を変調する差動駆動マッハツェンダ変調器と、
前記第1の差動高周波線路の終端にワイヤを介して接続された差動終端器とを備え、
前記ドライバICは、差動駆動オープンコレクタ型ドライバICまたは差動駆動オープンドレイン型ドライバICであり、
前記差動駆動マッハツェンダ変調器は、前記入力光を導波する導波路と、入力端に前記ドライバICからの差動高周波電気信号が入力され、この差動高周波電気信号を前記導波路に印加する前記第1の差動高周波線路とを備え、
前記差動終端器は、前記第1の差動高周波線路とワイヤを介して接続された第2の差動高周波線路と、この第2の差動高周波線路の信号線路に接続された終端抵抗とを備え、
前記第1の差動高周波線路と前記第2の差動高周波線路の各々は、並べて配置された第1、第2の信号線路とこの第1、第2の信号線路の両側に配置された第1、第2のグランド線路とを少なくとも備え、
前記第1の差動高周波線路と前記第2の差動高周波線路のうち少なくとも一方は、前記第1、第2の信号線路間、および前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間のうち少なくとも一方の線路間に容量を備えることを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
前記第1、第2の信号線路間に設けられる容量は、前記第1、第2の信号線路間を一定距離を保ったまま容量結合するミアンダ構造からなり、
前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間に設けられる容量は、前記第1の信号線路とこれに隣接する前記第1のグランド線路間を一定距離を保ったまま容量結合するミアンダ構造、および前記第2の信号線路とこれに隣接する前記第2のグランド線路間を一定距離を保ったまま容量結合するミアンダ構造からなることを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間に設けられる容量は、前記第1の信号線路とこれに隣接する前記第1のグランド線路間を下層の誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造、および前記第2の信号線路とこれに隣接する前記第2のグランド線路間を下層の誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなることを特徴とする光変調器。 - 請求項1記載の光変調器において、
前記第1、第2の信号線路間に設けられる容量は、異なる層に配置された前記第1の信号線路と前記第2の信号線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなり、
前記第1、第2の信号線路と前記第1、第2のグランド線路間に設けられる容量は、異なる層に配置された前記第1の信号線路と前記第1のグランド線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造、および異なる層に配置された前記第2の信号線路と前記第2のグランド線路間を誘電体層を介して容量結合する誘電体層構造からなることを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光変調器において、
前記終端抵抗の抵抗値は、設計値±10%以内の値であり、
前記差動駆動マッハツェンダ変調器と前記差動終端器の差動インピーダンスの差分は±20%以内であることを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光変調器において、
前記容量は、前記ワイヤのインダクタンスをL、前記差動駆動マッハツェンダ変調器および前記差動終端器の差動インピーダンスをZdiffとしたとき、L/(Zdiff2)±50%の範囲内の値であることを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光変調器において、
前記第2の差動高周波線路の第1の信号線路とこれに隣接する第1のグランド線路間のピッチ、および前記第2の差動高周波線路の第2の信号線路とこれに隣接する第2のグランド線路間のピッチは、共に一定であることを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光変調器において、
前記差動終端器の終端抵抗は、一端が前記第2の差動高周波線路の第1、第2の信号線路に接続され、他端に前記ドライバICの駆動用電圧が印加され、
前記差動終端器の前記第2の差動高周波線路と前記終端抵抗とは、窒化アルミニウムからなる基板上に形成されることを特徴とする光変調器。
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GB2619055A (en) * | 2022-05-26 | 2023-11-29 | Axenic Ltd | A travelling wave electro-optic modulator |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007225904A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光変調デバイス |
US20080095542A1 (en) * | 2006-10-19 | 2008-04-24 | Jds Uniphase Corporation | Integrated Termination For EO Modulator With RF Signal Monitoring Functionality |
JP2011209456A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2012078759A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-19 | Mitsubishi Electric Corp | 光変調器 |
JP2014164243A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光変調モジュール、半導体光変調素子 |
JP2014199302A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
JP2015129906A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-07-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体マッハツェンダ型光変調器 |
JP2016126054A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP2017173365A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
WO2017208526A1 (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | 三菱電機株式会社 | 光変調器 |
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---|---|---|---|---|
WO2013042753A1 (ja) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | 日本電気株式会社 | 光変調器モジュール及び光信号の変調方法 |
EP2615489B1 (en) * | 2012-01-12 | 2017-09-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mach-zehnder modulator arrangement and method for operating a mach-zehnder modulator arrangement |
JP6136473B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-05-31 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調装置 |
US20160079958A1 (en) * | 2014-05-30 | 2016-03-17 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Acoustic resonator comprising vertically extended acoustic cavity |
JP2016071250A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 電極付き基板 |
JP2016156893A (ja) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュール |
JP6237738B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2017-11-29 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光通信装置、光モジュール、及び、接続方法 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007225904A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光変調デバイス |
US20080095542A1 (en) * | 2006-10-19 | 2008-04-24 | Jds Uniphase Corporation | Integrated Termination For EO Modulator With RF Signal Monitoring Functionality |
JP2011209456A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路素子モジュール |
JP2012078759A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-19 | Mitsubishi Electric Corp | 光変調器 |
JP2014164243A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光変調モジュール、半導体光変調素子 |
JP2014199302A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
JP2015129906A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-07-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体マッハツェンダ型光変調器 |
JP2016126054A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
JP2017173365A (ja) * | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
WO2017208526A1 (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | 三菱電機株式会社 | 光変調器 |
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