JP5421963B2 - 光変調器モジュール - Google Patents
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Description
図1に、本発明における実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部についてその模式的な上面図を示す。ここで、従来と同様の抵抗膜24a’、24b’に加え、新たに抵抗膜28a、28bを設けている。なお、抵抗膜24a’、24b’、28a、28bの材料は、例えばニクロムや窒化タンタルなどをあげることができるが、その他の材料でも良いことは言うまでもない。
図3に、本発明における実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部について、第1の実施形態の変形形態を示す。
以上においては、進行波電極としてはCPW電極を例にとり説明したが、非対称コプレーナストリップ(ACPS)や対称コプレーナストリップ(CPS)などの各種進行波電極、あるいは集中定数型の電極でも良いことは言うまでもない。そしてDQPSK型の光変調器などマッハツェンダ型光導波路をネスト状に組み合わせた構造や、シングル電極、あるいはDual電極などについても本発明は勿論有効である。また、光導波路としてはマッハツェンダ型光導波路の他に、方向性結合器や直線など、その他の光導波路でも良いことは言うまでもない。
2:光導波路
3a:中心導体
3b、3c:接地導体
4:ドライバー
5:信号源
6:コンデンサ
7:パッケージ(筐体)
8:電気的終端
9:バイアス用端子
10:バイアス抵抗
11、12:高周波用コンデンサ
13:終端抵抗
14:低周波用コンデンサ
15:バイアス電源
16:CPW進行波電極の分布定数表現
17:インダクタンス
18:抵抗
19:キャパシタンス
20:コンダクタンス
21:電気的終端用基板
22:電気的終端用中心導体
22a:電気的終端用中心導体22の端部
23:電気的終端用接地導体
24a、24b、24a’、24b’、28a、28b、28c:抵抗膜
25、26a、26b:高周波電気信号
27:反射戻り信号
41:漏れた高周波電気信号
29a、29b、29c:伝搬する漏れた高周波電気信号41
50:LN光変調器
100:LN光変調器モジュール
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光の位相を変調する高周波電気信号を印加するための中心導体及び接地導体からなる電極とからなる光変調器と、
前記光変調器の前記電極に接続され、当該電極を通過した高周波電気信号を終端する電気的終端と、
前記光変調器と前記電気的終端とを内部に配置する筐体と、を有する光変調器モジュールにおいて、
前記電気的終端は、
前記高周波電気信号が一方端から入力される電気的終端用中心導体と、
当該電気的終端用中心導体と抵抗膜を介して接続され、当該電気的終端用中心導体の前記一方端から他方端に向かって伝搬する前記高周波電気信号の伝搬方向に沿って当該電気的終端用中心導体の両側に形成される電気的終端用接地導体とを備え、
前記抵抗膜は、前記電気的終端用中心導体を伝搬する前記高周波電気信号の前記伝搬方向に沿って複数個形成されており、これにより前記電気的終端用中心導体の前記他方端における前記高周波電気信号の反射を抑制することを特徴とする光変調器モジュール。 - 前記抵抗膜が、前記電気的終端用中心導体の、前記高周波電気信号の伝搬方向における両側の略対称位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記基板が半導体基板であることを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器モジュール。
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