JP2013068917A - 光変調器モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、光を導波するための光導波路と、基板の一方の面側に形成され、光の位相を変調する高周波電気信号を印加するための中心導体及び接地導体からなる電極とからなる光変調器と、光変調器の電極に接続され、当該電極を通過した高周波電気信号を終端する電気的終端と、光変調器と電気的終端とを内部に配置する筐体と、を有する光変調器モジュールにおいて、電気的終端は、高周波電気信号が入力される電気的終端用中心導体と、電気的終端用中心導体と並んで形成された電気的終端用接地導体と、電気的終端用中心導体と電気的終端用接地導体とを接続し、入力される高周波電気信号を吸収してジュール熱に変換する抵抗膜とを備え、抵抗膜の幅は電気的終端用接地導体に向かって少なくとも一部が徐々に狭まって形成されている。
【選択図】図1
Description
図11からわかるように、図9に示した従来技術では高周波電気信号26aの伝搬距離zが小さい領域において抵抗膜24aを構成するNiCrなどの材料が熱により破壊されてしまう。
図1に、本発明の第1の実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部について、その模式的な上面図を示す。本発明における第1の実施形態において特徴的な構成は、抵抗膜27aについて高周波電気信号26aの伝搬距離zが延びるとともに(換言すれば、抵抗膜27aが電気的終端用中心導体22から電気的終端用接地導体23へ向かうとともに)抵抗膜27aの幅をW1からW2へと直線的に連続的に狭めていることである。なお、抵抗膜27aについての議論は抵抗膜27bについても同様と言うことができるので、説明を簡単にするために、ここでは図1における左半分(抵抗膜27a)についてのみで議論する。
図3に、本発明の実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部について、第2の実施形態を示す。
図4に、本発明の実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部について、第3の実施形態を示す。
図5に、本発明の実施形態のLN光変調器モジュールにおける電気的終端の抵抗部について、第4の実施形態を示す。
以上においては、進行波電極としてはCPW電極を例にとり説明したが、非対称コプレーナストリップ(ACPS)や対称コプレーナストリップ(CPS)などの各種進行波電極、あるいは集中定数型の電極でも良いことは言うまでもない。そしてDQPSK型の光変調器などマッハツェンダ型光導波路をネスト状に組み合わせた構造や、シングル電極、あるいはDual電極などについても本発明は勿論有効である。また、光導波路としてはマッハツェンダ型光導波路の他に、方向性結合器や直線など、その他の光導波路でも良いことは言うまでもない。
2:光導波路
3a:中心導体
3b、3c:接地導体
4:ドライバー
5:信号源
6:コンデンサ
7:パッケージ(筐体)
8:電気的終端
9:バイアス用端子
10:バイアス抵抗
11、12:高周波用コンデンサ
13:終端抵抗
14:低周波用コンデンサ
15:バイアス電源
16:CPW進行波電極の分布定数表現
17:インダクタンス
18:抵抗
19:キャパシタンス
20:コンダクタンス
21:電気的終端用基板
22:電気的終端用中心導体
23:電気的終端用接地導体
24a、24b、27a、27b、28a、28b、29a、29b、30a、30b:抵抗膜
25、26a、26b:高周波電気信号
50:LN光変調器
100:LN光変調器モジュール
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光の位相を変調する高周波電気信号を印加するための中心導体及び接地導体からなる電極とからなる光変調器と、
前記光変調器の前記電極に接続され、当該電極を通過した高周波電気信号を終端する電気的終端と、
前記光変調器と前記電気的終端とを内部に配置する筐体と、を有する光変調器モジュールにおいて、
前記電気的終端は、
前記高周波電気信号が入力される電気的終端用中心導体と、
前記電気的終端用中心導体と所定間隔を有した位置で前記電気的終端用中心導体を伝搬する前記高周波電気信号の伝搬方向に並んで形成された電気的終端用接地導体と、
前記電気的終端用中心導体と前記電気的終端用接地導体とを接続し、接続された前記電気的終端用中心導体から入力される前記高周波電気信号を吸収してジュール熱に変換する抵抗膜とを備え、
前記抵抗膜の幅は、前記電気的終端用中心導体に接している位置において所定幅を有するとともに、前記電気的終端用中心導体から前記電気的終端用接地導体に向かう途中位置において当該所定幅よりも狭い幅を有してなり、当該抵抗膜の幅は前記電気的終端用中心導体から前記電気的終端用接地導体に向かって少なくとも一部が徐々に狭まって形成されていることを特徴とする光変調器モジュール。 - 前記抵抗膜の幅が、前記電気的終端用中心導体から前記電気的終端用接地導体へ向かって連続的に狭まることを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記抵抗膜の幅が、前記電気的終端用中心導体から前記電気的終端用接地導体へ向かって不連続的に狭まることを特徴とする請求項1に記載の光変調器モジュール。
- 前記抵抗膜の幅が、前記電気的終端用中心導体から前記電気的終端用接地導体へ向かって非線形形状で狭まることを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器モジュール。
- 前記抵抗膜が、前記電気的終端用中心導体の、前記高周波電気信号の伝搬方向と交わる向きにおける両側に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光変調器モジュール。
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JP2011209366A JP2013068917A (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | 光変調器モジュール |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016142855A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 住友大阪セメント株式会社 | 光デバイス |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH1155008A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 高周波用電力抵抗器 |
JP2004226769A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Hitachi Ltd | 光送信装置 |
JP2010147089A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Tdk Corp | 終端抵抗体 |
JP2011027908A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Anritsu Corp | 光変調器モジュール |
-
2011
- 2011-09-26 JP JP2011209366A patent/JP2013068917A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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A977 | Report on retrieval |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131023 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140408 |