JP2011232583A - 光変調器モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本体基板上に中心導体と接地導体とを有し、中心導体の一端側から10Gbps以上の高周波電気信号が入力され、中心導体の他端側から高周波電気信号が出力される高周波接続配線基板と、電気光学効果を有する変調用基板上に、光導波路と、中心導体と接地導体からなる電極が形成され、高周波接続配線基板から出力された高周波電気信号が入力されるよう、高周波接続配線基板と電気的に接続された光変調器チップと、高周波接続配線基板と光変調器チップとを内部に収納した筐体と、を具備し、高周波接続配線基板の端と光変調器チップの端とが、電気的に接続される部位において所定距離離れて対向配置され、該所定距離が6μm以上であり、かつ700μm以下である。
【選択図】図1
Description
本発明による光変調器モジュールの実施形態の上面図を図1に示す。図では、高周波接続配線基板IIとz−カットLN基板1に形成したLN光変調器の接続部を拡大している。なお、高周波接続配線基板IIに形成する電極としてCPW−CPW変換型の線路を用いているが、これは一例であり、図6のようなマイクロストリップ−CPW変換型などその他の各種線路でもよいことはいうまでもない。17は高周波接続配線基板IIの中心導体、18と19はその接地導体、20は接地導体18、19と筐体5との電気的な導通をとるビアホールである。
以上において、本発明の光変調器モジュールとしてはz−カットLN基板を用いる光変調器について説明したが、x−カットLN基板を用いても良いことはいうまでもないし、他の結晶方位のLN基板や電気光学効果を有するその他の基板でも良いことはいうまでもない。
2:SiO2バッファ層
2´:Si導電層
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b:相互作用光導波路
4:進行波電極(電極)
4a:中心導体
4b、4c:接地導体
5:筺体
6:空洞
7a:光入射用単一モード光ファイバ
7b:光出射用単一モード光ファイバ
8:高周波コネクタ
9:高周波コネクタの芯線
10:高周波接続配線基板の本体基板(基板)
11、17:高周波接続配線基板の基板の中心導体
12、13、18、19:高周波接続配線基板の基板の接地導体
14、20:ビアホール
15、16、16´:ワイヤー
30:LN光変調器チップ
21:高周波接続配線基板IIとLN変調器チップ30の間に設けた空隙
50:光変調器モジュール
I、II:高周波接続配線基板
Claims (5)
- 本体基板上に中心導体と接地導体とを有し、前記中心導体の一端側から10Gbps以上の高周波電気信号が入力され、前記中心導体の他端側から前記高周波電気信号が出力される高周波接続配線基板と、
電気光学効果を有する変調用基板上に、光導波路と、中心導体と接地導体からなる電極が形成され、前記高周波接続配線基板から出力された前記高周波電気信号が入力されるよう、前記高周波接続配線基板と電気的に接続された光変調器チップと、
前記高周波接続配線基板と前記光変調器チップとを内部に収納した筐体と、を具備し、
前記高周波接続配線基板の端と前記光変調器チップの端とが、前記電気的に接続される部位において所定距離離れて対向配置され、
該所定距離が6μm以上であり、かつ100μm以下であることを特徴とする光変調器モジュール。 - 本体基板上に中心導体と接地導体とを有し、前記中心導体の一端側から10Gbps以上の高周波電気信号が入力され、前記中心導体の他端側から前記高周波電気信号が出力される高周波接続配線基板と、
電気光学効果を有する変調用基板上に、光導波路と、中心導体と接地導体からなる電極が形成され、前記高周波接続配線基板から出力された前記高周波電気信号が入力されるよう、前記高周波接続配線基板と電気的に接続された光変調器チップと、
前記高周波接続配線基板と前記光変調器チップとを内部に収納した筐体と、を具備し、
前記高周波接続配線基板の端と前記光変調器チップの端とが、前記電気的に接続される部位において所定距離離れて対向配置され、
該所定距離が6μm以上であり、かつ200μm以下であることを特徴とする光変調器モジュール。 - 本体基板上に中心導体と接地導体とを有し、前記中心導体の一端側から10Gbps以上の高周波電気信号が入力され、前記中心導体の他端側から前記高周波電気信号が出力される高周波接続配線基板と、
電気光学効果を有する変調用基板上に、光導波路と、中心導体と接地導体からなる電極が形成され、前記高周波接続配線基板から出力された前記高周波電気信号が入力されるよう、前記高周波接続配線基板と電気的に接続された光変調器チップと、
前記高周波接続配線基板と前記光変調器チップとを内部に収納した筐体と、を具備し、
前記高周波接続配線基板の端と前記光変調器チップの端とが、前記電気的に接続される部位において所定距離離れて対向配置され、
該所定距離が6μm以上であり、かつ700μm以下であることを特徴とする光変調器モジュール。 - 前記変調用基板がz−カットLN基板であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の光変調器モジュール。
- 前記変調用基板がx−カットLN基板であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の光変調器モジュール。
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- 2010-04-28 JP JP2010103274A patent/JP2011232583A/ja active Pending
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