JP7059749B2 - 光導波路素子モジュール - Google Patents
光導波路素子モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP7059749B2 JP7059749B2 JP2018061206A JP2018061206A JP7059749B2 JP 7059749 B2 JP7059749 B2 JP 7059749B2 JP 2018061206 A JP2018061206 A JP 2018061206A JP 2018061206 A JP2018061206 A JP 2018061206A JP 7059749 B2 JP7059749 B2 JP 7059749B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- waveguide element
- via hole
- ground
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/011—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour in optical waveguides, not otherwise provided for in this subclass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0121—Operation of devices; Circuit arrangements, not otherwise provided for in this subclass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
- G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
- G02F1/0316—Electrodes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/127—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode travelling wave
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/20—LiNbO3, LiTaO3
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
(1) 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板とを備え、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容した光導波路素子モジュールにおいて、該制御電極は、信号電極と、該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、該接続基板は、信号線路と、該信号線路を挟むように配置された接地線路と、該接続基板の該接地線路とは反対側の面に配置された裏面接地電極とが設けられ、該接地線路と該裏面接地電極とは、該接続基板を貫通するビアホールを介して電気的に接続され、該接地線路と該接地電極とを電気的に接続する第1及び第2の電気的接続手段を有し、該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該ビアホールの端部からの距離が該ビアホールの直径の1.2倍以下の位置または該ビアホールに充填された導電材であり、該第2の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部よりも該接続基板の光導波路素子側のエッジに近い位置にあることを特徴とする。
本発明の光導波路素子モジュールは、図1に示すように、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子12と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板13とを備え、該光導波路素子と該接続基板とを筐体11内に収容した光導波路素子モジュール10に関する。そして、図3~図5に示すように、該制御電極は、信号電極21と、該信号電極を挟むように配置された接地電極22とから構成され、該接続基板は、信号線路31と、該信号線路を挟むように配置された接地線路32と、該接続基板の該接地線路とは反対側の面に配置された裏面接地電極(不図示)とが設けられ、該接地線路と該裏面接地電極とは、該接続基板を貫通するビアホール33を介して電気的に接続され、該接地線路と該接地電極とを電気的に接続する電気的接続手段42を有し、該電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該接地線路の該ビアホールの近傍(または該ビアホールに充填された導電材35)であることを特徴とする。
第1実施例では、接地電極22と接地線路32とを電気的に接続するワイヤーであって、ビアホール33の近傍に接続されたワイヤー42を有している。ワイヤー42の接地線路側の接続部52は、接続基板13の光導波路素子側のエッジよりもビアホール33に近い位置にあり、また、ビアホール33と該ワイヤー42の接地電極側の接続部51とを結ぶ直線上にある。
より詳細には、光導波路素子の制御電極は、接続基板側のエッジに近いx1の位置(入力端部又は出力端部の位置)では、接地電極間の間隔W1を有する。また、接続基板側のエッジから離れたx2の位置での接地電極間の間隔W2は、x1の位置での間隔W1より小さくなっている。このx2の位置は、制御電極(信号電極)の引き回し開始位置であり、通常は、この位置のインピーダンスが伝送線路の損失及び反射成分を考慮した所望の値に設定されている。ワイヤー42の接地電極側の接続部51は、制御電極の引き回し開始位置に近い部分に形成される。また、ワイヤー42は信号電極21を挟んで2つ形成され、接地電極側における2つのワイヤーの接続部の間隔W3はW2以上且つW1以下となるように構成されている。この場合、接地電極側における2つのワイヤーの接続部の位置は、x2の位置よりも接続基板13側のエッジに近い位置でもよいし、該エッジから遠い位置でもよい。
第2実施例(図4)では、導電性を有する導電材35でビアホール33が充填されており、この導電材35にワイヤー42が接続されている。このような構成により、接地線路側の接続部をビアホールにより近づけることができるので、光導波路素子と接続基板との接続部分での伝送線路特定の劣化を、図3の構成よりも更に効果的に抑制することができる。
11 筐体
12 光導波路素子
13 接続基板
14 光学部品
21 信号電極
22 接地電極
31 信号線路
32 接地線路
33 ビアホール
34 ガードパターン
35 導電材
41,42 ワイヤー
51,52 接続部
F1,F2 光ファイバー
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光導波路素子と、該光導波路素子の外部に設けられ、該制御電極と電気的に接続された配線を有する接続基板とを備え、該光導波路素子と該接続基板とを筐体内に収容した光導波路素子モジュールにおいて、
該制御電極は、信号電極と、該信号電極を挟むように配置された接地電極とから構成され、
該接続基板は、信号線路と、該信号線路を挟むように配置された接地線路と、該接続基板の該接地線路とは反対側の面に配置された裏面接地電極とが設けられ、
該接地線路と該裏面接地電極とは、該接続基板を貫通するビアホールを介して電気的に接続され、
該接地線路と該接地電極とを電気的に接続する第1及び第2の電気的接続手段を有し、
該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該ビアホールの端部からの距離が該ビアホールの直径の1.2倍以下の位置または該ビアホールに充填された導電材であり、
該第2の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部よりも該接続基板の光導波路素子側のエッジに近い位置にあることを特徴とする光導波路素子モジュール。 - 請求項1に記載の光導波路素子モジュールにおいて、
該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該接続基板の光導波路素子側のエッジよりも該ビアホールに近い位置であることを特徴とする光導波路素子モジュール。 - 請求項1又は請求項2に記載の光導波路素子モジュールにおいて、
該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該ビアホールと該第1の電気的接続手段の接地電極側の接続部とを結ぶ直線上にあることを特徴とする光導波路素子モジュール。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、
該接地電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部から離れた位置に、接地電極間の間隔が該入力端部又は該出力端部における間隔よりも小さい部分があり、該部分に該第1の電気的接続手段の接地電極側の接続部を有することを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の光導波路素子モジュールにおいて、
該第1の電気的接続手段の接地線路側の接続部は、該ビアホールの端部からの距離が該ビアホールの直径の0.8倍以下の位置であることを特徴とする光導波路素子モジュール。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018061206A JP7059749B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 光導波路素子モジュール |
CN201910129683.3A CN110320679B (zh) | 2018-03-28 | 2019-02-21 | 光波导元件模块 |
US16/364,449 US10890788B2 (en) | 2018-03-28 | 2019-03-26 | Optical waveguide device module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018061206A JP7059749B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 光導波路素子モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019174587A JP2019174587A (ja) | 2019-10-10 |
JP7059749B2 true JP7059749B2 (ja) | 2022-04-26 |
Family
ID=68056109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018061206A Active JP7059749B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 光導波路素子モジュール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10890788B2 (ja) |
JP (1) | JP7059749B2 (ja) |
CN (1) | CN110320679B (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000019473A (ja) | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光モジュールの実装構造 |
JP2002184942A (ja) | 2000-12-13 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | 実装基板 |
JP2003233043A (ja) | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Fujitsu Ltd | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光モジュール |
JP2005050974A (ja) | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Toshiba Corp | 半導体パッケージおよび光通信モジュール並びに半導体装置 |
US20050201653A1 (en) | 2004-03-11 | 2005-09-15 | Avanex Corporation | System for reducing the electrical return loss of a lithium niobate traveling wave optical modulator with low characteristic impedance |
JP2011232583A (ja) | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Anritsu Corp | 光変調器モジュール |
JP2012048121A (ja) | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器モジュール |
WO2013100119A1 (ja) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP5263210B2 (ja) | 2010-03-29 | 2013-08-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
CN206497266U (zh) | 2016-10-31 | 2017-09-15 | 天津领芯科技发展有限公司 | 一种铌酸锂薄膜qpsk光调制器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5494704B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2014-05-21 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP6217268B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
JP5812142B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-11 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP5835392B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-12-24 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2016194600A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器モジュール |
JP6432574B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2018-12-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器、及び光送信装置 |
-
2018
- 2018-03-28 JP JP2018061206A patent/JP7059749B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-21 CN CN201910129683.3A patent/CN110320679B/zh active Active
- 2019-03-26 US US16/364,449 patent/US10890788B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000019473A (ja) | 1998-07-06 | 2000-01-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光モジュールの実装構造 |
JP2002184942A (ja) | 2000-12-13 | 2002-06-28 | Kyocera Corp | 実装基板 |
JP2003233043A (ja) | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Fujitsu Ltd | 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光モジュール |
JP2005050974A (ja) | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Toshiba Corp | 半導体パッケージおよび光通信モジュール並びに半導体装置 |
US20050201653A1 (en) | 2004-03-11 | 2005-09-15 | Avanex Corporation | System for reducing the electrical return loss of a lithium niobate traveling wave optical modulator with low characteristic impedance |
JP5263210B2 (ja) | 2010-03-29 | 2013-08-14 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
JP2011232583A (ja) | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Anritsu Corp | 光変調器モジュール |
JP2012048121A (ja) | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Fujitsu Optical Components Ltd | 光変調器モジュール |
WO2013100119A1 (ja) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 住友大阪セメント株式会社 | 光導波路素子モジュール |
CN206497266U (zh) | 2016-10-31 | 2017-09-15 | 天津领芯科技发展有限公司 | 一种铌酸锂薄膜qpsk光调制器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
CHOREY, C.M. et al.,A high frequency GaAlAs travelling wave electro-optic modulator at 0.82 μm,IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest,米国,IEEE,1988年,pp.735-738,https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=22136,IEL Online(IEEE Xplore), DOI: 10.1109/MWSYM.1988.22136 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10890788B2 (en) | 2021-01-12 |
US20190302490A1 (en) | 2019-10-03 |
JP2019174587A (ja) | 2019-10-10 |
CN110320679B (zh) | 2023-08-08 |
CN110320679A (zh) | 2019-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9366825B2 (en) | Optical waveguide device module | |
JP5812142B2 (ja) | 光導波路素子モジュール | |
US10162201B2 (en) | Optical modulator | |
US9523872B2 (en) | Optical device | |
US10126573B2 (en) | Optical-waveguide-element module | |
JP6327197B2 (ja) | 光変調器 | |
JP6372511B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5276681B2 (ja) | 光変調器 | |
JP5494704B2 (ja) | 光導波路素子モジュール | |
JP7059749B2 (ja) | 光導波路素子モジュール | |
CN110573941B (zh) | 光调制元件 | |
JPH06130338A (ja) | 光導波路デバイス | |
WO2022163724A1 (ja) | 光変調器とそれを用いた光送信装置 | |
JP2016194600A (ja) | 光変調器モジュール | |
US10514561B2 (en) | Optical modulator | |
JP7263972B2 (ja) | 光変調器及びそれを用いた光送信装置 | |
US20220342241A1 (en) | Optical modulator and optical transmission apparatus using same | |
JP3731622B2 (ja) | 光導波路デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210810 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211008 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220328 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7059749 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |