JP5113102B2 - 光変調デバイス - Google Patents
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Description
図9は、z−カットLN基板を用いて構成した特許文献1に開示された第1の従来技術のLN光変調器についての斜視図であり、図10は図9のA−A'線における断面図である。
第1の従来技術をさらに高性能化するために特許文献3、特許文献4に提案されたリッジ構造を第2の従来技術として図11、図12に示す。ここで、8aは中心導体4aの下のリッジ、8bは接地導体4bの下のリッジ、8cは接地導体4cの下のリッジ、9はSiO2バッファ層である。10aはリッジ8a、8b間の空隙、10bはリッジ8a、8c間の溝部(ここでは、空隙)である。あるいはこうした空隙部10a、10bを凹部とも呼ぶので、リッジ構造はより厳密にはz−カットLN基板1に凹部を有するリッジ構造、あるいはz−カットLN基板1に凹部を設けて形成したリッジ構造とも呼ばれる。
図1に本発明の光変調デバイスに関する実施形態の一つについてその上面図を示す。なお、説明を簡単にするために、進行波電極、リッジ、リッジ間の溝、あるいは温度ドリフト抑圧のためのSi導電層は省略し、光導波路30、相互作用光導波路30a、30bを主体に示している。進行波電極、リッジ、あるいはリッジ間の溝については図2より以降で議論する。
図7に本発明の第2の実施形態についてその上面図を示す。なお、説明を簡単にするために、図1と同じく、進行波電極、リッジ、リッジ間の溝、あるいは温度ドリフト抑圧のためのSi導電層は省略し、光導波路31、相互作用光導波路31a、31bを主体に示している。
2、9:SiO2バッファ層
3、30:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b、30a、30b、31a、31b:相互作用光導波路
4:進行波電極(電極)
4a、40a:中心導体
4b、4c、40b、40c:接地導体
5:Si導電層
6:高周波(RF)電気信号給電線
7:高周波(RF)電気信号出力線
8a:中心導体4aの下のリッジ
8b:接地導体4bの下のリッジ
8c、8c´:接地導体4cの下のリッジ
10a、10b、50a、50b、50c、51a、51b、51c:リッジ間の溝部
11a、11b:電気力線
R:曲率半径
Claims (6)
- 基板と、該基板に形成された光導波路と、前記基板上に設けられた電極と、を備え、
前記光導波路が、入力光導波路と、前記入力光導波路に連続して形成され、前記電極に電圧を印加することにより屈折率が変化する相互作用光導波路と、前記相互作用光導波路に連続して形成された出力光導波路と、を含んで構成されている光変調デバイスにおいて、
前記相互作用光導波路は、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向と交わる方向に突出した蛇行状の部位を複数有して形成され、
前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向に関する、前記相互作用光導波路の幅方向の中心線の微分係数は連続であり、
前記電極は、当該蛇行状に形成されている前記相互作用光導波路と並ぶ蛇行状の部位を有しており、
前記相互作用光導波路と前記電極とが前記蛇行状の部位を有しない場合であって、前記相互作用光導波路と前記電極とが並んでほぼ直線に形成されている場合と比較して、前記相互作用部の長さが長くなっていることを特徴とする光変調デバイス。 - 前記相互作用光導波路は、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向と交わる方向に突出した曲線部を含む形状で前記蛇行状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調デバイス。
- 前記曲線部が、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向に向かって複数連続して形成されているとともに、隣り合う当該曲線部の突出方向が、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを結ぶ直線に対して、該直線の両側に交互に入れ替わっていることを特徴とする請求項2に記載の光変調デバイス。
- 前記曲線部が、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向に向かって複数連続して形成されているとともに、隣り合う当該曲線部の突出方向が、前記入力光導波路と前記出力光導波路とを結ぶ直線に対して、該直線の一方側のみであることを特徴とする請求項2に記載の光変調デバイス。
- 前記相互作用光導波路は、少なくとも一部に前記入力光導波路と前記出力光導波路とを直線的に結ぶ方向に形成された直線部を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光変調デバイス。
- 前記相互作用光導波路の少なくとも一部が、前記基板に凹部を設けて形成されたリッジ構造であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の光変調デバイス。
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