JP4922086B2 - 光変調器 - Google Patents
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特許文献1に開示された、z−カットLN基板を用いて構成した、いわゆるリッジ型LN光変調器を第1の従来技術の光変調器として図7にその斜視図を示す。なお、図8は図7のA−A’線における断面図である。
この第1の従来技術の問題点を解決するために、特許文献2に開示された第2の従来技術の相互作用部における断面図を図9に示す。図9からわかるように、リッジ部8bの上に形成された接地導体4b´と外周部10bの上に形成された接地導体4b´´の厚みは厚いが、凹部9cに形成された接地導体4b´´´の厚みを50nm〜3μm以下と薄くしている。このように凹部9cにおける接地導体4b´´´の厚みを薄くすることにより、広い面積を有する接地導体4b´´がリッジ部8bへ与える応力を小さくすることができるので、温度安定性を改善できるという考え方である。
図1に本発明の第1の実施形態についてその相互作用部の断面図を示す。図8に示した第1の従来技術における接地導体4bは本実施形態では接地導体11、12、及び13として分割して構成されている。ここで、14は接地導体12の上の空隙部である。また、中心導体4aの幅Sは7μm、中心導体4aと接地導体4c、もしくは接地導体11とのギャップWは15μm、外周部10bの上に設けた空隙部14のギャップGは10μm、中心導体4aなどの厚みは20μmとした。また空隙部14における接地導体12の厚みは2μmである。空隙部14を設けることにより外周部10bの上にある接地導体13からの熱膨張や熱収縮に起因する応力が接地導体11へ印加されるのを防いでいる。
図4に本発明の第2の実施形態についてその相互作用部の断面図を示す。この第2の実施形態においては、図1における第1の実施形態の外周部10aに凹部9dを形成することにより新たにリッジ部8cが導入され、かつリッジ部8cの上に接地導体15、16、及び17が形成されている。10cは新たな外周部である。18は外周部10cの上方に形成された空隙部である。第2の実施形態ではリッジ部8aの中心線に対して対称な形となっている。また、凹部9d(つまり、リッジ部8c)を設けず、空隙部18を形成しても良い。
図5に本発明の第3の実施形態についてその相互作用部の断面図を示す。この第3の実施形態においては、図1に示した本発明の第1の実施形態において、接地導体13の厚みを薄くし、図5において新たに接地導体19としている。そして、20を空隙部と定義する。この実施形態は言わば図1に示した第1の実施形態において空隙部14が極めて広がった形となっている。
図6に本発明の第4の実施形態についてその相互作用部の断面図を示す。この第4の実施形態においては、図4に示した本発明の第2の実施形態における接地導体13と接地導体17の厚みを薄くしている。これらは図6では各々接地導体19、接地導体21として示している。また、20と22を空隙部と定義している。この実施形態は言わば図4に示した第2の実施形態において空隙部14と18が極めて広がった形となっている。あるいは、空隙部20、22の部分の接地導体19、21の厚みを最初からゼロとしても良いし、ある程度のところからゼロとしても良い。こうした実施形態も本発明に属する。なお、この考え方は第4の実施形態に限らず、第3の実施形態や本発明におけるその他の全ての実施形態に適用できる。
分岐光導波路の例としてマッハツェンダ光導波路を用いたが、方向性結合器などその他の分岐合波型の光導波路にも本発明を適用可能であることは言うまでもなく、考え方は3本以上の光導波路にも適用可能であるし、光導波路が1本の位相変調器にも適用できる。また光導波路の形成法としてはTi熱拡散法の他に、プロトン交換法など光導波路の各種形成法を適用できるし、バッファ層としてAl2O3等のSiO2以外の各種材料も適用できる。
2、14、15:SiO2バッファ層
3:マッハツェンダ光導波路
3a、3b:マッハツェンダ光導波路を構成する相互作用光導波路
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4c、11、12、13、15、16、17、19、21:接地導体
5:Si導電層
6:高周波(RF)電気信号給電線
7:高周波(RF)電気信号出力線
8a:リッジ部(中心導体用リッジ部)
8b、8c:リッジ部(接地導体用リッジ部)
9a、9b、9c、9d:凹部
10a、10b、10c、10d:外周部
14、18、20、22:空隙部
Claims (4)
- 電気光学効果を有する基板と、前記基板の上に形成されたバッファ層と、該バッファ層の上方に配置された中心導体と接地導体からなる進行波電極と、前記進行波電極を伝搬する高周波電気信号の電界強度が強い領域における前記基板の少なくとも一部を掘り下げることにより設けた複数の凹部により形成されるリッジ部とを具備し、該リッジ部は前記中心導体が上方に形成された中心導体用リッジ部と、前記接地導体が上方に形成された接地導体用リッジ部とからなり、また前記基板には前記複数の凹部を間に挟んだ両側に外周部が形成され、少なくとも前記中心導体用リッジ部に光導波路を有する光変調器において、
前記接地導体は、前記接地導体用リッジ部の上方から前記中心導体用リッジ部側とは反対側の前記外周部の上方に渡って所定の厚みで形成されるとともに、当該所定の厚みよりも厚みの薄い箇所が当該外周部に形成されていることを特徴とする光変調器。 - 前記外周部における厚みが薄く形成された前記接地導体にパターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記基板が半導体からなることを特徴とする請求項1と請求項2のいずれか一つに記載の光変調器。
- 前記基板がリチウムナイオベートからなることを特徴とする請求項1と請求項2のいずれか一つに記載の光変調器。
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