JP4671993B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光変調器の模式的な斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る光変調器の模式的な上面図である。図3は、図2のA−Aにおける断面図である。図4は、図2のB−Bにおける断面図である。
本発明の第2の実施形態に係る光変調器について、図5を参照して説明する。
尚、LN基板の側面と入出力部の凹部の距離の下限は、ダイシング時に欠けが起きない10μm程度が望ましい。
本発明の第3の実施形態に係る光変調器について、図6〜図8を参照して説明する。
以上の説明においては、光導波路3がマッハツェンダ光導波路により構成される場合について説明したが、光導波路3が方向性結合器などその他の分岐合波型の光導波路により構成されていてもよく、また、3本以上の光導波路により構成されていてもよいし、光導波路が1本の位相変調器により構成されていてもよい。また光導波路3の形成法としてはTi熱拡散法の他に、プロトン交換法など光導波路の各種形成法を適用できるし、バッファ層としてAl2O3等のSiO2以外の各種材料も適用できる。
1a:側面
2:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b:相互作用光導波路
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4c:接地導体
5:導電層
17:変調部
18:入力部
19:出力部
21:エッチング部
22:リッジ部
31〜42:凹部
45〜59:リッジ部
81:z−カットLN基板
82:SiO2バッファ層
83:光導波路
83a、83b:相互作用光導波路
84:進行波電極
84a:中心導体
84b、84c:接地導体
85:導電層
87:変調部
88:入力部
89:出力部
91、92、93:凹部
94、95:リッジ部
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に形成され光を導波するための光導波路と、
前記基板の上面に形成されるバッファ層と、
前記バッファ層の上面に積層される、所定の抵抗率を有する導電層と、
前記導電層の上面に配置され、中心導体と接地導体とを含む進行波電極と、を有し、
前記進行波電極が、前記光導波路を導波する光の位相を変調する変調部と、前記変調部に高周波電気信号を印加するための入力部と、前記変調部を通過した前記高周波電気信号を出力するための出力部とによって構成され、前記変調部及び前記光導波路によって相互作用部が構成される光変調器において、
前記変調部において前記変調部を伝搬する前記高周波電気信号の電界強度が強い領域の前記基板上面の少なくとも一部を掘り下げることにより形成された凹部によってリッジ部が形成されるとともに、前記入力部及び前記出力部において前記中心導体と前記接地導体との間の領域の前記基板上面の少なくとも一部を堀さげることにより凹部が形成され、
前記バッファ層及び前記導電層は、前記基板上面の前記両凹部上を含む、前記変調部、前記入力部及び前記出力部にわたって形成され、
前記基板上に形成された前記導電層の前記所定の抵抗率は、前記中心導体と前記接地導体との間で発生するリーク電流を抑制するとともに前記光変調器の温度ドリフトを抑制する所定値であり、
前記相互作用部における前記導電層の抵抗率と前記入力部及び前記出力部における前記導電層の抵抗率が等しく一様となるように、前記基板上面に前記両凹部が形成されたことを特徴とする光変調器。 - 前記入力部および前記出力部における前記中心導体と前記接地導体との間の領域の前記基板上面に形成された前記凹部は、前記基板の側面にまで開口が形成されるよう配置されることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記基板は、前記入力部および前記出力部における前記中心導体と前記接地導体との間の領域の前記基板上面に形成された前記凹部の一端と、前記中心導体の始点あるいは終点を有している側の前記基板の側面との間に平面領域を有することを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
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