JP2009048087A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】z−カットLN基板1と、該基板に形成された光導波路3と、該基板の上方に形成されるSiO2バッファ層2と、SiO2バッファ層に積層される導電層5と、導電層の上方に配置され、中心導体4aと接地導体4b、4cとを含む進行波電極4と、を有し、進行波電極が、光導波路を導波する光の位相を変調する変調部17と、入力部18と、出力部19とによって構成され、該基板において変調部を伝搬する高周波電気信号の電界強度が強い領域の少なくとも一部を掘り下げることにより設けられた凹部31、32、33により形成されるリッジ部45、46を有する光変調器において、該基板が、入力部および出力部における中心導体と接地導体との間の少なくとも一部を掘り下げることにより形成された凹部34、35を有する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光変調器の模式的な斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る光変調器の模式的な上面図である。図3は、図2のA−Aにおける断面図である。図4は、図2のB−Bにおける断面図である。
本発明の第2の実施形態に係る光変調器について、図5を参照して説明する。
尚、LN基板の側面と入出力部の凹部の距離の下限は、ダイシング時に欠けが起きない10μm程度が望ましい。
本発明の第3の実施形態に係る光変調器について、図6〜図8を参照して説明する。
以上の説明においては、光導波路3がマッハツェンダ光導波路により構成される場合について説明したが、光導波路3が方向性結合器などその他の分岐合波型の光導波路により構成されていてもよく、また、3本以上の光導波路により構成されていてもよいし、光導波路が1本の位相変調器により構成されていてもよい。また光導波路3の形成法としてはTi熱拡散法の他に、プロトン交換法など光導波路の各種形成法を適用できるし、バッファ層としてAl2O3等のSiO2以外の各種材料も適用できる。
1a:側面
2:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b:相互作用光導波路
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4c:接地導体
5:導電層
17:変調部
18:入力部
19:出力部
21:エッチング部
22:リッジ部
31〜42:凹部
45〜59:リッジ部
81:z−カットLN基板
82:SiO2バッファ層
83:光導波路
83a、83b:相互作用光導波路
84:進行波電極
84a:中心導体
84b、84c:接地導体
85:導電層
87:変調部
88:入力部
89:出力部
91、92、93:凹部
94、95:リッジ部
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、
前記基板に形成され光を導波するための光導波路と、
前記基板の上方に形成されるバッファ層と、
前記バッファ層に積層される導電層と、
前記導電層の上方に配置され、中心導体と接地導体とを含む進行波電極と、を有し、
前記進行波電極が、前記光導波路を導波する光の位相を変調する変調部と、前記変調部に前記高周波電気信号を印加するための入力部と、前記変調部を通過した前記高周波電気信号を出力するための出力部とによって構成され、
前記基板において前記変調部を伝搬する高周波電気信号の電界強度が強い領域の少なくとも一部を掘り下げることにより設けられた凹部により形成されるリッジ部を有する光変調器において、
前記基板が、前記入力部および前記出力部における前記中心導体と前記接地導体との間の少なくとも一部を掘り下げることにより形成された凹部を有することを特徴とする光変調器。 - 前記入力部および前記出力部における前記中心導体と前記接地導体との間に設けられた前記凹部は、前記基板の側面にまで開口が形成されるよう配置されることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記基板は、前記入力部および前記出力部における前記中心導体と前記接地導体との間に設けられた前記凹部の一端と、前記中心導体の始点あるいは終点を有している側の前記基板の側面との間に平面領域を有することを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
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