JP6348880B2 - 半導体マッハツェンダ光変調器 - Google Patents
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Description
そこでマイクロ波の伝搬損失を低減可能な構造と、インピーダンスや電気の速度を調整する機構を組み合わせることにより、従来の進行波電極を用いたマッハツェンダ光変調器に比べ、広帯域または低駆動電圧の光変調器を提供することを目的とする。
(第1の実施形態)
以下、本発明の実施形態1の光変調器について説明する。
前述の本発明の実施形態1の接地電極構造を適用すると、進行波型電極における変調電気信号マイクロ波の伝搬損失は、従来構造の半分以下に低減することが可能である。
2 光導波路
3 光分波器
4 進行波型電極
4a シグナル電極
4b 接地電極
4c 接地電極張出部
4d T字型張り出し電極
4e U字型ミアンダ電極
5 光合波器
6、7 光導波路アーム
7a コア層
7b 上部クラッド層
7c 下部クラッド層
7d バリア層
8 変調電気信号源
9 整合抵抗
11 誘電体層
Claims (5)
- 半導体基板上に、第一の半導体クラッド層とノンドープ半導体コア層と第二の半導体クラッド層が順次積層して形成された光導波路を備えた第一及び第二の光導波路アームでマッハツェンダ干渉計が形成された半導体マッハツェンダ光変調器において、
第一及び第二の光導波路アームに沿って、それぞれの一端に変調電気信号が入力される進行波型電極が設けられ、該進行波型電極の接地電極が上下2段から成り、下側の接地電極が、上側の接地電極に比べ、第一及び第二の光導波路に近接している張出部を有することを特徴とする半導体マッハツェンダ光変調器。 - 前記第一の半導体クラッド層と前記第二の半導体クラッド層のうち、どちらか一方がn型半導体で、もう一方がp型半導体であることを特徴とする請求項1に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記第一の半導体クラッド層と前記第二の半導体クラッド層の両方がn型半導体で、前記ノンドープ半導体コア層と前記第一の半導体クラッド層、あるいは、前記第二の半導体クラッド層の少なくともどちらか一方との間にp型の第三の半導体クラッド層が挿入されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記進行波型電極は、光導波路上に設けられたシグナル電極を有し、
該シグナル電極には、キャパシタンスまたは、インダクタンスが装荷されていることを特徴とする請求項1〜3に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。 - 前記ノンドープ半導体コア層の少なくとも一部が多重量子井戸層構造を有することを特徴とする請求項1〜4に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
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