JP6126541B2 - 半導体マッハツェンダ光変調器 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 72
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 27
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 57
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 33
- 239000012792 core layer Substances 0.000 claims description 30
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 30
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
図2は、光変調器20の構成例を示すブロック図である。
201 下部クラッド層
202 コア層
203 下部クラッド層
209,210 コプレーナストリップ線路
211〜216 分散電極
Claims (4)
- 半導体マッハツェンダ光変調器であって、
入力導波路と、
前記入力導波路からの光波を分波器を介して伝搬する第1および第2の光導波路と、
前記第1および第2の導波路からの光波を合波器を介して伝搬する出力導波路と、
前記第1および第2の光導波路上に形成され、各光導波路に対してそれぞれ逆相の電圧を印加するための第1および第2の進行波型電極と、
前記第1および第2の進行波型電極のそれぞれから分岐する少なくとも1つの分散電極と、
前記分散電極の下に形成された光伝搬されないダミー導波路と
を含み、
前記第1および第2の進行波型電極の各々は、インピーダンス整合、および、マッハツェンダ光変調器内の光波と電気波との速度整合を満たすように、コプレーナストリップ線路を形成するように構成され、
前記ダミー導波路のコア層は、前記分散電極に所望の素子容量が付加されるように厚さまたは高さが設定される
ことを特徴とする半導体マッハツェンダ光変調器。 - 前記第1および第2の光導波路、ならびに前記ダミー導波路は、2つのクラッド層と、各クラッド層の間に形成されるノンドープされたコア層とを備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記2つのクラッド層は、一方がn型半導体であり、他方がp型半導体であることを特徴とする請求項2に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記2つのクラッド層は、ともにn型半導体であり、前記コア層と前記各クラッド層との少なくとも一方の間にp型のクラッド層が形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021337A JP6126541B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 半導体マッハツェンダ光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014021337A JP6126541B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 半導体マッハツェンダ光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015148711A JP2015148711A (ja) | 2015-08-20 |
JP6126541B2 true JP6126541B2 (ja) | 2017-05-10 |
Family
ID=53892110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014021337A Expired - Fee Related JP6126541B2 (ja) | 2014-02-06 | 2014-02-06 | 半導体マッハツェンダ光変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6126541B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018036399A (ja) | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路及び基板型光変調器 |
JP2018036398A (ja) | 2016-08-30 | 2018-03-08 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路及び基板型光変調器 |
EP3614196B1 (en) * | 2017-04-18 | 2021-12-22 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Semiconductor mach-zehnder modulator |
JP2019049647A (ja) * | 2017-09-11 | 2019-03-28 | 日本電信電話株式会社 | 半導体マッハツェンダ光変調器 |
JP7131425B2 (ja) * | 2019-02-19 | 2022-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5150436A (en) * | 1991-09-06 | 1992-09-22 | The University Of British Columbia | Slow-wave electrode structure |
GB2375614B (en) * | 2000-04-06 | 2003-07-16 | Bookham Technology Plc | Optical modulator with pre-determined frequency chirp |
JP4141798B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2008-08-27 | 富士通株式会社 | 光半導体装置 |
WO2006095776A1 (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-14 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 半導体光変調器 |
US8280201B2 (en) * | 2009-12-08 | 2012-10-02 | COGO Oprtonics, Inc. | Traveling wave Mach-Zehnder optical device |
JP5553151B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-07-16 | 富士通株式会社 | 半導体光変調器及びそれを用いた半導体光送信機 |
-
2014
- 2014-02-06 JP JP2014021337A patent/JP6126541B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015148711A (ja) | 2015-08-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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