JP2015148711A - 半導体マッハツェンダ光変調器 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、光変調器20の構成例を示すブロック図である。
201 下部クラッド層
202 コア層
203 下部クラッド層
209,210 コプレーナストリップ線路
211〜216 分散電極
Claims (6)
- 半導体マッハツェンダ光変調器であって、
入力導波路と、
前記入力導波路からの光波を分波器を介して伝搬する第1および第2の光導波路と、
前記第1および第2の導波路からの光波を合波路を介して伝搬する出力導波路と、
前記第1および第2の光導波路上に形成され、各光導波路に対してそれぞれ逆相の電圧を印加するための第1および第2の進行波型電極と
を含み、
前記第1および第2の進行波型電極の各々は、インピーダンス整合、および、マッハツェンダ光変調器内の光波と電気波との速度整合を満たすように、コプレーナストリップ線路を形成するように構成されている
ことを特徴とする半導体マッハツェンダ光変調器。 - 前記第1および第2の進行波型電極のそれぞれから分岐する少なくとも1つの分散電極をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記分散電極の下には、光伝搬されないダミー導波路をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記第1および第2の光導波路、ならびに前記ダミー導波路は、2つのクラッド層と、各クラッド層の間に形成されるノンドープされたコア層とを備えることを特徴とする請求項1ないし3に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記2つのクラッド層は、n型半導体およびp型半導体であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
- 前記2つのクラッド層がともにn型半導体の場合、前記コア層と前記各クラッド層との少なくとも一方の間にp型のクラッド層が形成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の半導体マッハツェンダ光変調器。
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