JP2017502358A - 電気光学変調器 - Google Patents
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Abstract
Description
−少なくとも1つの光導波路と、
−前記光導波路に電圧を印加する電極配置構造(電極装置)であって、
−当該電極配置構造が、第1および第2の電線路ならびに前記第1および第2の電線路を終端する少なくとも2つの終端抵抗体を含み、
−当該電極配置構造が、2つの前記終端抵抗体を容量結合して直流的に分離する少なくとも1つの容量性構造を含む、電極配置構造と、
を備え、
−前記容量性構造が、前記第1および第2の電線路間の位置に物理的に配置されている少なくとも2つの導電層を有し、これら2つの層が、誘電層によって隔てられている、電気光学変調器を提供する。
3 金属層
10 第1の領域
11,12 電線路
20 第2の領域
21,22 終端抵抗体
30 ドライバユニット
31 金属構造
31a,31b キャパシタ
40 さらなるキャパシタ
41,42 トランジスタ
50 可撓性のコプレーナストリップ線路
51,52 電線路
53 基板
100 変調器
111,121 エアブリッジ
112,122 光導波路
113,123 導波路電極
114,124 容量性セグメント
200 変調器装置
311 ベース部位
312 長手部位
313,314,316 金属層
317,318 誘電層
401,402 コレクタ
Claims (15)
- −少なくとも1つの光導波路(112,122)と、
−前記光導波路(112,122)に電圧を印加する電極配置構造(1)であって、
−当該電極配置構造(1)が、第1および第2の電線路(11,12)ならびに前記第1および第2の電線路(11,12)を終端する少なくとも2つの終端抵抗体(21,22)を含み、
−当該電極配置構造(1)が、2つの前記終端抵抗体(21,22)を容量結合して直流的に分離する少なくとも1つの容量性構造(31)を含む、電極配置構造(1)と、
を備える、電気光学変調器において、
前記容量性構造(31)が、前記第1および第2の電線路(11,12)間の位置に物理的に配置されている少なくとも2つの導電層(313,314,316)を有し、これら少なくとも2つの導電層(313,314,316)が、少なくとも1つの誘電層(315,317)によって隔てられていることを特徴とする、電気光学変調器。 - 請求項1に記載の電気光学変調器において、前記容量性構造(31)と前記電線路(11,12)とが、共通の基板に配置されている、電気光学変調器。
- 請求項1または2に記載の電気光学変調器において、前記終端抵抗体(21,22)と前記電線路(11,12)とが、共通の基板に配置されている、電気光学変調器。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記導電層のうちの第1の導電層(313)が前記終端抵抗体のうちの第1の終端抵抗体(21)に接続されており、前記導電層のうちの第2の導電層(314)が前記終端抵抗体のうちの第2の終端抵抗体(22)に接続されている、電気光学変調器。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記容量性構造(31)が3つの導電層(313,314,316)および少なくとも1つの誘電層(317)を有していて、前記導電層のうちの第1および第3の導電層(313,316)が前記誘電層(317)によって隔てられており、前記導電層のうちの第2の導電層(314)と前記第3の導電層(316)とが前記誘電層(317)によって隔てられており、かつ、前記第1の導電層(313)が前記終端抵抗体のうちの第1の終端抵抗体(21)に接続されており、前記第2の導電層(314)が前記終端抵抗体のうちの第2の終端抵抗体(22)に接続されており、前記第3の導電層(316)が接地されている、電気光学変調器。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記第1および第2の電線路(11,12)が、コプレーナストリップ線路を構成している、電気光学変調器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記第1および第2の電線路(11,12)が、互いに容量結合している、電気光学変調器。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記電極配置構造(1)の第1の領域(10)では前記第1および第2の電線路(11,12)が互いから第1の距離をもって延在しており、前記電極配置構造(1)の第2の領域(20)では前記第1および第2の電線路(11,12)が互いから前記第1の距離よりも大きい第2の距離をもって延在しており、かつ、前記電極配置構造(1)の前記第2の領域(20)において前記第1および第2の電線路(11,12)間に、2つの前記終端抵抗体(21,22)が配置されている、電気光学変調器。
- 請求項8に記載の電気光学変調器において、前記容量性構造(31)が、前記電極配置構造(1)の前記第2の領域(20)において前記第1および第2の電線路(11,12)間に少なくとも部分的に配置されている、電気光学変調器。
- 請求項1から9のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、2つの光導波路(112,122)が設けられていて、前記終端抵抗体(21,22)が、当該光導波路(112,122)に対して対称的に配置されている、電気光学変調器。
- 請求項1から10のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記第1および第2の電線路(11,12)が、幾何学的に対称な構造として形成されている、電気光学変調器。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、さらに、
前記容量性構造(31)よりも大きい静電容量を有する少なくとも1つの追加のキャパシタ(40)、
を備え、2つの前記終端抵抗体(21,22)が、前記容量性構造(31)および前記追加のキャパシタ(40)を介して互いに結合している、電気光学変調器。 - 請求項1から12のいずれか一項に記載の電気光学変調器において、前記電極配置構造が、進行波電極構造を有する、電気光学変調器。
- 請求項1から13のいずれか一項に記載の変調器(100)と、
前記電極配置構造(1)に差動電圧信号を供給するドライバユニット(30)と、
を備える、電気光学変調器装置。 - 請求項14に記載の電気光学変調器装置において、前記ドライバユニット(30)が、オープンコレクタモード、終端帰還のオープンコレクタモード、オープンドレインモードまたは終端帰還のオープンドレインモードで動作される、電気光学変調器装置。
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