JP2012056639A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成形材料により成形されて基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体1と、この容器本体1の正面の開口正面部7に嵌め入れられる蓋体と、これら容器本体1の開口正面部7と蓋体との間をシールする圧縮変形可能なガスケットとを備えた基板収納容器であり、容器本体1の開口正面部7をその幅方向外側に張り出させてリム部とするとともに、このリム部の内面をガスケット用のシール面に形成し、容器本体1には、リム部方向に指向する補強リブ4・4Aを形成し、容器本体1のリム部に対する補強リブ4・4Aの対向近接部4aの肉厚を減少させて容器本体1の成形時にリム部のシール面に凹みが生じるのを抑制する。
【選択図】図12
Description
容器本体の開口部をその幅方向外側に張り出させてリム部とするとともに、このリム部の内面をガスケット用のシール面に形成し、容器本体には、リム部方向に指向する補強リブを形成し、容器本体のリム部に対する補強リブの対向部の肉厚を減少させて容器本体の成形時にリム部のシール面に凹みが生じるのを抑制するようにしたことを特徴としている。
また、容器本体のリム部に補強リブの対向部を連結し、この補強リブの対向部に貫通孔を設けることにより、補強リブの対向部の肉厚を減少させることができる。
また、容器本体のリム部に補強リブの対向部を連結し、この補強リブの対向部の肉厚を根元部の肉厚の2/3以下とすることにより、補強リブの対向部の肉厚を減少させることもできる。
さらに、容器本体の底部両側に、搬送用のボトムレールを補強リブを介しそれぞれ形成し、各補強リブの前部を対向部とすることも可能である。
2 ティース
3 ボトムレール
4 補強リブ(リブ)
4A 補強リブ
4a 対向近接部(対向部)
6 装着リブ
7 開口正面部(開口部)
8 内側フランジ(開口部内周)
9 傾斜フランジ(開口部内周)
10 外側フランジ
11 シール面
11a 遠隔箇所
12 係止リブ(リブ)
13 取付リブ
14 開口上面部(開口部)
18 貫通孔
20 蓋体
22 取付部
22A 取付部
25 係止片
30 ガスケット
30a 中央部
30b コーナ部
31 基体
34 シール片
36 接触部
37 第一の突起群
37A 第二の突起群
38 露出側突起
39 通常突起
Claims (6)
- 成形材料により成形されて基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の正面の開口部に嵌め入れられる蓋体と、これら容器本体の開口部と蓋体との間をシールする圧縮変形可能なガスケットとを備えた基板収納容器であって、
容器本体の開口部をその幅方向外側に張り出させてリム部とするとともに、このリム部の内面をガスケット用のシール面に形成し、容器本体には、リム部方向に指向する補強リブを形成し、容器本体のリム部に対する補強リブの対向部の肉厚を減少させて容器本体の成形時にリム部のシール面に凹みが生じるのを抑制するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体のリム部に対して補強リブの対向部を非連続とすることにより、補強リブの対向部の肉厚を減少させた請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体のリム部に補強リブの対向部を連結し、この補強リブの対向部に貫通孔を設けることにより、補強リブの対向部の肉厚を減少させた請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体のリム部に補強リブの対向部を連結し、この補強リブの対向部の肉厚を根元部の肉厚の2/3以下とすることにより、補強リブの対向部の肉厚を減少させた請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の底部底面に、容器本体の前後方向に指向する複数の補強リブを形成し、各補強リブの前部を対向部とした請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器。
- 容器本体の底部両側に、搬送用のボトムレールを補強リブを介しそれぞれ形成し、各補強リブの前部を対向部とした請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器。
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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TW (1) | TWI397489B (ja) |
WO (1) | WO2007138913A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014116490A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2017092229A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP6578551B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-09-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP2020070047A (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 株式会社吉野工業所 | 容器装着用ポンプのノズルヘッド |
WO2022081629A1 (en) * | 2020-10-13 | 2022-04-21 | Entegris, Inc. | Integral seal for container |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007138913A1 (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 基板収納容器 |
JP5385130B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2014-01-08 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェハ収納容器用の再利用可能な弾性クッション |
JP5234741B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-07-10 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP5234742B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-07-10 | Hoya株式会社 | 磁気ディスクの製造方法 |
TWI582024B (zh) | 2008-03-13 | 2017-05-11 | 恩特葛瑞斯股份有限公司 | 於一前開式晶圓儲存盒中提供洗淨氣體具有更加流動特性之方法,前開式晶圓儲存盒,及用於該前開式晶圓儲存盒之改良結構 |
CN101673697B (zh) * | 2008-09-12 | 2011-07-27 | 家登精密工业股份有限公司 | 门上凹陷区域两旁配有晶圆限制件模块的前开式晶圆盒 |
TWI343353B (en) * | 2008-11-04 | 2011-06-11 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container having the snap-fitting constraint module |
TWI485796B (zh) * | 2008-11-21 | 2015-05-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 容置薄板之容器 |
JP2011018771A (ja) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
KR101184583B1 (ko) * | 2010-01-26 | 2012-09-21 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 반도체 웨이퍼 수납용기 |
JP5562178B2 (ja) * | 2010-08-25 | 2014-07-30 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
US20130270152A1 (en) * | 2010-10-19 | 2013-10-17 | Entegris, Inc. | Front opening wafer container with robotic flange |
US9673075B2 (en) | 2010-10-20 | 2017-06-06 | Entegris, Inc. | Wafer container with door guide and seal |
JP5627509B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2014-11-19 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
US9312157B2 (en) | 2011-08-12 | 2016-04-12 | Entegris, Inc. | Wafer carrier |
US9108776B2 (en) * | 2012-03-09 | 2015-08-18 | Wki Holding Company, Inc. | Lid, and container system and lid |
JP5240594B1 (ja) * | 2012-04-12 | 2013-07-17 | Nok株式会社 | ガスケット |
JP2015521377A (ja) * | 2012-05-04 | 2015-07-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | ドア接点シールを有するウェハ容器 |
KR102112659B1 (ko) * | 2012-05-04 | 2020-05-19 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 도어 장착된 선적 쿠션을 갖는 웨이퍼 컨테이너 |
US8955678B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-02-17 | Pelican Products, Inc. | Protective cases for mobile electronic communication devices |
US10134618B2 (en) * | 2013-06-03 | 2018-11-20 | Miraial Co., Ltd. | Substrates storing container |
CN105518529A (zh) * | 2013-09-11 | 2016-04-20 | 信越聚合物株式会社 | 光罩基底衬底收纳容器 |
US20150214084A1 (en) | 2014-01-30 | 2015-07-30 | Infineon Technologies Ag | Frame cassette |
WO2015145629A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
WO2016046985A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
TWM508112U (zh) * | 2015-04-30 | 2015-09-01 | Chung King Entpr Co Ltd | 用於太陽能電池之基板載具 |
JP6539355B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2019-07-03 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
JP6572466B2 (ja) * | 2016-05-27 | 2019-09-11 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
DE102016215154A1 (de) * | 2016-08-15 | 2018-02-15 | Festo Ag & Co. Kg | Abdichtungssystem |
US9831905B1 (en) | 2016-10-12 | 2017-11-28 | Pelican Products, Inc. | Control feature of a protective case for engaging a switch of an electronic device |
JP7088182B2 (ja) * | 2017-06-01 | 2022-06-21 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
WO2019009065A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
TWM565877U (zh) * | 2017-08-25 | 2018-08-21 | 中勤實業股份有限公司 | Wafer box |
JP6933959B2 (ja) * | 2017-11-14 | 2021-09-08 | 株式会社荏原製作所 | スクラブ部材の保存容器及びそのパッケージ |
US11635577B2 (en) * | 2020-01-08 | 2023-04-25 | Clearfield, Inc. | Gasket for a sealed optical fiber terminal |
TWI803860B (zh) * | 2020-04-30 | 2023-06-01 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 光罩盒密封 |
CN114148607B (zh) * | 2021-11-23 | 2022-08-16 | 江林(贵州)高科发展股份有限公司 | 一种防止果皮白霜破损的生物可降解气调保鲜盒 |
CN114743904A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-07-12 | 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司 | 一种半导体晶圆收纳容器 |
TWI828272B (zh) * | 2022-08-11 | 2024-01-01 | 家登精密工業股份有限公司 | 具強化結構之載板傳送盒 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10184924A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Komatsu Kasei Kk | ガスケットと同ガスケットによる容器の密閉構造 |
JP2002299428A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器及びその製造方法 |
JP2004214269A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Miraial Kk | 薄板支持容器 |
JP2005320028A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | リテーナ及び基板収納容器 |
WO2006120866A1 (ja) * | 2005-05-06 | 2006-11-16 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 基板収納容器及びその製造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5009036A (en) * | 1989-09-21 | 1991-04-23 | Pennsylvania Rail Car Company | Box car door seal |
US5112065A (en) * | 1991-03-14 | 1992-05-12 | Westinghouse Electric Corp. | Double directional gasket |
DE19622384C2 (de) * | 1996-06-04 | 2001-04-19 | Klinger Ag Zug | Dichtungsring für axial gegeneinander zu verspannende Teile |
JP3527080B2 (ja) * | 1997-12-26 | 2004-05-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 板状部材収納容器 |
JP3280305B2 (ja) | 1998-04-13 | 2002-05-13 | 信越半導体株式会社 | 精密基板輸送容器 |
US6354601B1 (en) * | 1999-01-06 | 2002-03-12 | Fluoroware, Inc. | Seal for wafer containers |
JP2000289795A (ja) * | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板収納・輸送容器 |
JP3916342B2 (ja) * | 1999-04-20 | 2007-05-16 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP3556519B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法 |
JP3556185B2 (ja) | 2000-06-13 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | シール部材、密封容器及びそのシール方法 |
TWI259501B (en) * | 2000-12-07 | 2006-08-01 | Shinetsu Polymer Co | Seal and substrate container using same |
US7413099B2 (en) | 2001-06-08 | 2008-08-19 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Sealing element with a protruding part approximately obliquely outward and a hermetic container using the same |
JP4233392B2 (ja) * | 2003-06-12 | 2009-03-04 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP4664610B2 (ja) * | 2004-03-11 | 2011-04-06 | ミライアル株式会社 | シール部材 |
JP4667769B2 (ja) | 2004-06-11 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
WO2007138913A1 (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 基板収納容器 |
JP4714699B2 (ja) * | 2007-01-16 | 2011-06-29 | 内山工業株式会社 | ガスケット |
-
2007
- 2007-05-21 WO PCT/JP2007/060375 patent/WO2007138913A1/ja active Application Filing
- 2007-05-21 CN CN2007800201954A patent/CN101460378B/zh not_active Expired - Fee Related
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-
2011
- 2011-12-05 JP JP2011265822A patent/JP5214013B2/ja active Active
-
2012
- 2012-09-05 US US13/603,497 patent/US20120325708A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10184924A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Komatsu Kasei Kk | ガスケットと同ガスケットによる容器の密閉構造 |
JP2002299428A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器及びその製造方法 |
JP2004214269A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Miraial Kk | 薄板支持容器 |
JP2005320028A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | リテーナ及び基板収納容器 |
WO2006120866A1 (ja) * | 2005-05-06 | 2006-11-16 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 基板収納容器及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014116490A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP2017092229A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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