JP6933959B2 - スクラブ部材の保存容器及びそのパッケージ - Google Patents
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Description
(3)上記(1)または(2)に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記容器本体は、前記スクラブ部材と係合可能な係合溝を有してもよい。
(4)上記(3)に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記容器本体は、前記係合溝の側面を内壁面で形成する環状壁を有し、前記環状壁の外壁面に、前記通気溝が形成されていてもよい。
(5)上記(4)に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記スクラブ部材は、スクラブ面を有する本体部と、前記本体部から前記スクラブ面と反対側に突出する突出部と、を有し、前記突出部が前記係合溝に係合するとき、前記環状壁の頂面は、前記本体部と非接触であってもよい。
(6)上記(5)に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に対し前記係合溝の深さ以下の隙間をあけて、前記容器本体と係合していてもよい。
(7)上記(5)または(6)に記載されたスクラブ部材の保存容器であって、前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に向かって突出する複数の凸部を有してもよい。
図1は、一実施形態に係るスクラブ部材2の保存容器1の断面図である。
図に示すように、保存容器1は、容器本体10と、容器本体10に係合する蓋体20と、を有する。この保存容器1は、容器本体10と蓋体20とによって囲まれた容器内部S1にスクラブ部材2を収容する。なお、以下の説明では、容器内部S1を除いた容器本体10及び蓋体20の外部を、容器外部S2という。
容器本体10は、これらの図に示すように、係合溝11と、環状壁12と、フランジ部13と、を有する。係合溝11は、容器本体10の中心部に形成されている。本実施形態の係合溝11は、有底円筒形状を有している。
蓋体20は、これらの図に示すように、上面部21と、側面部22と、フランジ部23と、を有する。上面部21は、環状壁12の外径と略同じ外径を有する円板状に形成されている。
図に示すように、パッケージ100は、上述したスクラブ部材2の保存容器1と、酸素を吸収する酸素吸収剤102と、さらに酸素を検知する酸素検知剤103と、を一緒に収容したものである。保存容器1は、通気性を有する透明な内袋101に包まれている。また、内袋101に包まれた保存容器1、酸素吸収剤102及び酸素検知剤103は、透明な外袋104に包まれている。外袋104は、内袋101よりも通気性が低いバリア性を有する袋である。
基板洗浄装置31は、例えば、図7に示すようなペンシル型の洗浄モジュール31Bである。この洗浄モジュール31Bは、基板W(例えば半導体基板)を回転させる回転機構90と、基板Wにスクラブ部材2のスクラブ面3aを接触させて回転するペンシル洗浄機構91と、を備える。回転機構90は、基板Wの外周を保持する複数のチャック90a1を備え、基板Wを鉛直方向に延びる軸回りに回転させる回転ステージ90aを備える。回転ステージ90aは、基板Wの下面W2側で、モータ等の電気駆動部と接続されて水平回転する。
Claims (7)
- 容器本体と、前記容器本体に係合する蓋体と、を有し、前記容器本体と前記蓋体とによって囲まれた容器内部にスクラブ部材を収容するスクラブ部材の保存容器であって、
前記容器本体と前記蓋体とが係合する係合面に、前記容器内部と容器外部とを連通させる通気溝が形成されており、
前記容器本体は、前記スクラブ部材と係合可能な係合溝を有する、ことを特徴とするスクラブ部材の保存容器。 - 前記通気溝は、前記係合面に複数形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のスクラブ部材の保存容器。
- 前記容器本体は、前記係合溝の側面を内壁面で形成する環状壁を有し、
前記環状壁の外壁面に、前記通気溝が形成されている、ことを特徴とする請求項1または2に記載のスクラブ部材の保存容器。 - 前記スクラブ部材は、スクラブ面を有する本体部と、前記本体部から前記スクラブ面と反対側に突出する突出部と、を有し、
前記突出部が前記係合溝に係合するとき、前記環状壁の頂面は、前記本体部と非接触である、ことを特徴とする請求項3に記載のスクラブ部材の保存容器。 - 前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に対し前記係合溝の深さ以下の隙間をあけて、前記容器本体と係合している、ことを特徴とする請求項4に記載のスクラブ部材の保存容器。
- 前記蓋体は、前記本体部の前記スクラブ面に向かって突出する複数の凸部を有する、ことを特徴とする請求項4または5に記載のスクラブ部材の保存容器。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載のスクラブ部材の保存容器と、
前記保存容器の容器外部に配置された酸素吸収剤と、を有する、ことを特徴とするスクラブ部材のパッケージ。
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