JP2011517128A5

JP2011517128A5 -

Info

Publication number: JP2011517128A5
Application number: JP2011504368A
Authority: JP
Filing date: 2009-04-14
Publication date: 2012-06-07
Anticipated expiration: 2029-04-14

Claims

（ａ）回転式交換デバイス（ＲＥＤ）の第１のアーム上に、第１のレチクルを保持する第１のベースプレートを受け取ることと、
（ｂ）前記ＲＥＤの第２のアームによって支持される第２のベースプレートをバッファリングすることと、
を含み、
前記第１および第２のベースプレートは、前記ＲＥＤの回転軸から実質的に等距離に配置される、方法。
（ｃ）前記ＲＥＤの第３のアームによって支持される第３のベースプレートによって保持される第３のレチクルをアライメントすることをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）エンコーダを有するモータシステムによって前記ＲＥＤを回転させることをさらに含み、
前記モータシステムは、前記モータシステムからのガス放出および粒子汚染が実質的に排除されるように真空チャンバ内に密封される、請求項１に記載の方法。
（ｃ）前記ＲＥＤから前記第１のベースプレートをアンロードすることを含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）第２のレチクルを、前記第２のベースプレートからレチクルステージに移動させることをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）第２のレチクルを、レチクルステージから前記第２のベースプレートに移動させることをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）前記ＲＥＤを回転させて前記第１のベースプレートを、前記第１のレチクルのプリアライメントを可能にする位置に動かすことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）前記ＲＥＤを回転させて前記第１のベースプレートを、前記第１のレチクルをレチクルステージに移動させることを可能にする位置に動かすことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）前記ＲＥＤを回転させて前記第１のベースプレートを、前記第１のベースプレートのバッファリングを可能にする位置に動かすことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
（ｃ）前記ＲＥＤを回転させて前記第１のベースプレートを、前記第１のベースプレートを前記ＲＥＤから外すよう移動させることを可能にする位置に動かすことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
回転軸を有する回転式サポートデバイスと、
前記回転式サポートデバイスに接続され、第１のベースプレートを、前記第１のベースプレートによって保持される第１のレチクルを受け取ることを可能にする第１の位置において支持する第１のベースプレートサポートと、
前記回転式サポートデバイスに接続され、第２のベースプレートを、前記第２のベースプレートによって保持される第２のレチクルのバッファリングを可能にする第２の位置において支持する第２のベースプレートサポートと、
を含み、
前記第１および第２のベースプレートサポートは、前記回転軸から実質的に等距離に位置付けられ、かつユニゾンで回転するように構成される、システム。
前記回転式サポートデバイスに接続され、第３のベースプレートを、前記第３のベースプレートのバッファリングを可能にする第３の位置において支持する第３のベースプレートサポートをさらに含む、請求項１１に記載のシステム。
エンコーダを有するモータシステムを、前記モータシステムからのガス放出および粒子汚染が実質的に排除されるように密封する真空チャンバをさらに含み、前記モータシステムは、前記回転式サポートデバイスを回転させるように構成される、請求項１１に記載のシステム。
前記回転軸に沿って前記回転式サポートデバイスを並進させるアクチュエータをさらに含む、請求項１１に記載のシステム。
（ａ）第１のベースプレートを有する第１のレチクルを第１の位置にロードすることと、
（ｂ）第２のベースプレートによって支持される第２のレチクルを第２の位置においてプリアライメントすることと、
（ｃ）第３のベースプレートを第３の位置においてバッファリングすることと、
を含み、
前記ステップ（ａ）、（ｂ）、および（ｃ）は、実質的に同時に行われる、方法。