JP2011180586A5 - - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 15
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 10
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 7
- -1 biphenyl compound Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 5
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000001768 cations Chemical group 0.000 claims description 4
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-acid Natural products C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 4
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 150000001450 anions Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims 4
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 claims 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims 2
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical group [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims 2
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical group C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 9,10-anthraquinone Chemical group C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1 RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 claims 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011021767A JP5822477B2 (ja) | 2010-02-05 | 2011-02-03 | 液体吐出装置、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010024681 | 2010-02-05 | ||
| JP2010024681 | 2010-02-05 | ||
| JP2011021767A JP5822477B2 (ja) | 2010-02-05 | 2011-02-03 | 液体吐出装置、及びその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011180586A JP2011180586A (ja) | 2011-09-15 |
| JP2011180586A5 true JP2011180586A5 (enExample) | 2014-03-20 |
| JP5822477B2 JP5822477B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=44355213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011021767A Active JP5822477B2 (ja) | 2010-02-05 | 2011-02-03 | 液体吐出装置、及びその製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8980968B2 (enExample) |
| EP (2) | EP2531890B1 (enExample) |
| JP (1) | JP5822477B2 (enExample) |
| CN (1) | CN102754028B (enExample) |
| RU (1) | RU2526258C2 (enExample) |
| WO (1) | WO2011096195A1 (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5787720B2 (ja) * | 2010-12-16 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | 感光性ネガ型樹脂組成物 |
| JP6120574B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2017-04-26 | キヤノン株式会社 | 感光性ネガ型樹脂組成物、微細構造体、微細構造体の製造方法及び液体吐出ヘッド |
| JP5739497B2 (ja) * | 2012-09-15 | 2015-06-24 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーＲｏｈｍ ａｎｄ Ｈａａｓ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ＬＬＣ | 酸発生剤化合物およびそれを含むフォトレジスト |
| JP6071718B2 (ja) | 2013-04-10 | 2017-02-01 | キヤノン株式会社 | 感光性ネガ型樹脂組成物 |
| JP6278367B2 (ja) * | 2014-05-13 | 2018-02-14 | 東洋合成工業株式会社 | オニウム塩、光酸発生剤、感光性樹脂組成物及びデバイスの製造方法 |
| KR102272225B1 (ko) * | 2016-06-09 | 2021-07-01 | 산아프로 가부시키가이샤 | 술포늄염, 광산 발생제, 경화성 조성물 및 레지스트 조성물 |
| US9938136B2 (en) * | 2016-08-18 | 2018-04-10 | Stmicroelectronics Asia Pacific Pte Ltd | Fluid ejection device |
| US20190056659A1 (en) * | 2017-08-21 | 2019-02-21 | Funai Electric Co., Ltd. | Method for manufacturing mems devices using multiple photoacid generators in a composite photoimageable dry film |
| JP7413039B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2024-01-15 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2021151992A (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 住友化学株式会社 | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
| JP2021175721A (ja) * | 2020-04-22 | 2021-11-04 | 住友化学株式会社 | カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
| JP2023069242A (ja) * | 2021-11-05 | 2023-05-18 | 東京応化工業株式会社 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
| JP7777969B2 (ja) * | 2021-12-02 | 2025-12-01 | 東京応化工業株式会社 | 感光性組成物、積層体の製造方法、硬化パターン形成方法及び積層体 |
Family Cites Families (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1526923A (en) | 1974-09-18 | 1978-10-04 | Ici Ltd | Photopolymerisable compositions |
| IE42085B1 (en) | 1974-09-18 | 1980-06-04 | Ici Ltd | Photopolymerisable compositions |
| JPH0412859A (ja) | 1990-04-28 | 1992-01-17 | Canon Inc | 液体噴射方法、該方法を用いた記録ヘッド及び該方法を用いた記録装置 |
| ES2073614T3 (es) | 1990-04-27 | 1995-08-16 | Canon Kk | Metodo y aparato de impresion. |
| US5639802A (en) * | 1991-05-20 | 1997-06-17 | Spectra Group Limited, Inc. | Cationic polymerization |
| JPH07145346A (ja) | 1993-11-22 | 1995-06-06 | Dainippon Ink & Chem Inc | ソルダーレジストインキ用樹脂組成物 |
| JPH08157510A (ja) | 1994-12-09 | 1996-06-18 | Nippon Kayaku Co Ltd | 光重合開始剤、これを含有するエネルギー線硬化性組成物及びその硬化物 |
| JPH0925393A (ja) | 1995-05-09 | 1997-01-28 | Toray Ind Inc | 繊維強化複合材料用エポキシ樹脂組成物、プリプレグおよび繊維強化複合材料 |
| JPH0912615A (ja) | 1995-06-29 | 1997-01-14 | Nippon Kayaku Co Ltd | エネルギー線硬化性組成物及びその硬化物 |
| US6054501A (en) | 1996-06-12 | 2000-04-25 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Photopolymerization initiator and energy ray curable composition containing the same |
| JPH107680A (ja) * | 1996-06-18 | 1998-01-13 | Nippon Kayaku Co Ltd | 光重合開始剤、これを含有するエネルギー線硬化性組成物及びその硬化物 |
| JPH10152554A (ja) | 1996-11-21 | 1998-06-09 | Nippon Kayaku Co Ltd | エネルギー線硬化性組成物及びその硬化物 |
| JPH10212286A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Nippon Kayaku Co Ltd | 光重合開始剤、これを含有するエネルギー線硬化性組成物及びその硬化物 |
| JPH11322900A (ja) | 1998-03-19 | 1999-11-26 | Nippon Soda Co Ltd | 光硬化性組成物および硬化方法 |
| JP4385437B2 (ja) | 1999-05-10 | 2009-12-16 | Ｊｓｒ株式会社 | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびそれを用いたカラーフィルタ |
| EP1295180B1 (en) | 2000-06-15 | 2013-05-22 | 3M Innovative Properties Company | Process for producing microfluidic articles |
| JP3978601B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2007-09-19 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅レジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP3880912B2 (ja) | 2002-10-10 | 2007-02-14 | ジャパンエポキシレジン株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 |
| KR101197539B1 (ko) | 2003-11-04 | 2012-11-12 | 헨켈 아게 운트 코. 카게아아 | 술포늄염 광개시제 및 그의 용도 |
| JP4593309B2 (ja) | 2005-01-21 | 2010-12-08 | 東京応化工業株式会社 | 精密微細空間の天板部形成方法 |
| JP2006241384A (ja) | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | インク組成物、インクジェット記録方法、印刷物、平版印刷版及びその製造方法 |
| JP2007034153A (ja) | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 感エネルギー線重合性組成物およびそれを用いたネガ型レジストおよびそれを用いた画像パターン形成方法。 |
| US20080292993A1 (en) | 2006-12-22 | 2008-11-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Photo-cationic polymerizable epoxy resin composition, liquid discharge head, and manufacturing method thereof |
| JP4355725B2 (ja) | 2006-12-25 | 2009-11-04 | 信越化学工業株式会社 | ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP4564977B2 (ja) | 2007-04-05 | 2010-10-20 | 東京応化工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、レジストパターンの製造方法、積層体、及びデバイス |
| JP2008292993A (ja) | 2007-04-24 | 2008-12-04 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
| JP5039442B2 (ja) | 2007-06-15 | 2012-10-03 | 東京応化工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、及びパターン形成方法 |
| JP4998112B2 (ja) | 2007-06-27 | 2012-08-15 | 住友化学株式会社 | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 |
| JP2010276623A (ja) | 2008-03-26 | 2010-12-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 立体基板上に透明樹脂構造体を形成させる方法 |
| JP2009244779A (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujifilm Corp | ネガ型レジスト組成物及びパターン形成方法 |
| JP2009258506A (ja) | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Fujifilm Corp | ネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
| JP5208573B2 (ja) | 2008-05-06 | 2013-06-12 | サンアプロ株式会社 | スルホニウム塩、光酸発生剤、光硬化性組成物及びこの硬化体 |
| JP5247396B2 (ja) | 2008-07-02 | 2013-07-24 | 日本化薬株式会社 | Ｍｅｍｓ用感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| KR101486692B1 (ko) | 2009-06-08 | 2015-01-29 | 산요가세이고교 가부시키가이샤 | 감광성 조성물 |
-
2011
- 2011-02-01 EP EP11739545.9A patent/EP2531890B1/en active Active
- 2011-02-01 US US13/576,895 patent/US8980968B2/en active Active
- 2011-02-01 RU RU2012137721/04A patent/RU2526258C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-02-01 WO PCT/JP2011/000549 patent/WO2011096195A1/en not_active Ceased
- 2011-02-01 CN CN201180008124.9A patent/CN102754028B/zh active Active
- 2011-02-01 EP EP16000494.1A patent/EP3064996B1/en not_active Not-in-force
- 2011-02-03 JP JP2011021767A patent/JP5822477B2/ja active Active
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