CN105467755B - 感光性树脂组合物 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种感光性树脂组合物，其为含有具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)、着色剂(D)及溶剂(S)的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合引发剂(B)包含肟类聚合引发剂(B1)和含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)，所述着色剂(D)包含经环氧树脂被覆处理的炭黑，所述溶剂(S)包含沸点为200℃以上的溶剂(S1)。

Description

感光性树脂组合物

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物。

背景技术

液晶板、尤其是TN方式、STN方式等的液晶板，以及触摸传感器面板(touch sensorpanel)具备用于增强图像的对比度的黑色矩阵层、通常形成有RGB(包括红(R)、绿(G)、蓝(B)各色)的着色层的彩色滤光片。该黑色矩阵层和着色层可通过重复进行下述工序而形成，所述工序为：将分散有黑色或各种颜色的着色剂的感光性树脂组合物涂布在基板上，进行干燥后，将得到的涂膜曝光、显影，形成所期望的图案。

一直以来，黑色矩阵层的形成采用了通过光刻法等将分散有炭黑等黑色颜料的有机树脂膜图案化的方法(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-330209号公报

发明内容

虽然黑色矩阵层的光密度(OD值)可通过增加炭黑等黑色颜料的含量来提高，但存在越增加具有导电性的炭则黑色矩阵层的电阻值越低的问题。

尤其是对于移动用终端而言，由于金属布线与黑色矩阵层直接接触，所以对黑色矩阵层要求高的电阻值。

本发明是鉴于上述情况而完成的，本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物，其是适合用于形成黑色矩阵层的感光性树脂组合物，其中，形成的感光性树脂层的固有体积电阻率值高，形成图案时的光刻特性也优异。

本发明为一种感光性树脂组合物，其含有具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)、着色剂(D)及溶剂(S)，其特征在于，上述光聚合引发剂(B)包含肟类聚合引发剂(B1)和含有氨基的烷基苯酮(alkylphenone)类聚合引发剂(B2)，上述着色剂(D)包含经环氧树脂被覆处理的炭黑，上述溶剂(S)包含沸点为200℃以上的溶剂(S1)。

在本说明书及本权利要求书中，“脂肪族”是相对于芳香族而言的相对概念，其定义如下：是指不具有芳香性的基团、化合物等。

所谓“烷基”，只要没有特别说明，则包含直链状、支链状及环状的一价饱和烃基。

所谓“亚烷基”，只要没有特别说明，则包含直链状、支链状及环状的二价饱和烃基。烷氧基中的烷基亦如此。

“卤代烷基”是烷基的氢原子的一部分或全部被卤素原子取代的基团，作为该卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。

“氟代烷基”或“氟代亚烷基”是指烷基或亚烷基的氢原子的一部分或全部被氟原子取代的基团。

所谓“结构单元”，是指构成高分子化合物(树脂、聚合物、共聚物)的单体单元。

所谓“从丙烯酸酯衍生的结构单元”，是指丙烯酸酯的烯键式双键断裂而构成的结构单元。

“丙烯酸酯”是丙烯酸(CH₂＝CH-COOH)的羧基末端的氢原子被有机基团取代的化合物。

就丙烯酸酯而言，与α位的碳原子键合的氢原子可以被取代基取代。取代该与α位的碳原子键合的氢原子的取代基(R^α)为氢原子以外的原子或基团，例如可举出碳原子数1～5的烷基、碳原子数1～5的卤代烷基、羟基烷基等。需要说明的是，所谓丙烯酸酯的α位的碳原子，只要没有特别说明，则是指羰基所键合的碳原子。

以下，有时将与α位的碳原子键合的氢原子被取代基取代的丙烯酸酯称为α取代丙烯酸酯。此外，有时将丙烯酸酯和α取代丙烯酸酯统称为“(α取代)丙烯酸酯”。

所谓“从羟基苯乙烯或羟基苯乙烯衍生物衍生的结构单元”，是指羟基苯乙烯或羟基苯乙烯衍生物的烯键式双键断裂而构成的结构单元。

所谓“羟基苯乙烯衍生物”，是指包含羟基苯乙烯的α位的氢原子被烷基、卤代烷基等其他取代基取代的产物、以及它们的衍生物的概念。作为它们的衍生物，可举出将α位的氢原子任选被取代基取代的羟基苯乙烯的羟基的氢原子用有机基团取代而得的产物、在α位的氢原子任选被取代基取代的羟基苯乙烯的苯环上键合羟基以外的取代基而得的产物等。需要说明的是，所谓α位(α位的碳原子)，只要没有特别说明，则是指苯环所键合的碳原子。

作为取代羟基苯乙烯的α位的氢原子的取代基，可举出与上述α取代丙烯酸酯中作为α位的取代基而列举的基团相同的基团。

所谓“从乙烯基苯甲酸或乙烯基苯甲酸衍生物衍生的结构单元”，是指乙烯基苯甲酸或乙烯基苯甲酸衍生物的烯键式双键断裂而构成的结构单元。

所谓“乙烯基苯甲酸衍生物”，是指包含乙烯基苯甲酸的α位的氢原子被烷基、卤代烷基等其他取代基取代的产物、以及它们的衍生物的概念。作为它们的衍生物，可举出将α位的氢原子任选被取代基取代的乙烯基苯甲酸的羧基的氢原子用有机基团取代而得的产物、在α位的氢原子任选被取代基取代的乙烯基苯甲酸的苯环上键合羟基及羧基以外的取代基而得的产物等。需要说明的是，所谓α位(α位的碳原子)，只要没有特别说明，则是指苯环所键合的碳原子。

所谓“苯乙烯衍生物”，是指苯乙烯的α位的氢原子被烷基、卤代烷基等其他取代基取代的产物。

所谓“从苯乙烯衍生的结构单元”、“从苯乙烯衍生物衍生的结构单元”，是指苯乙烯或苯乙烯衍生物的烯键式双键断裂而构成的结构单元。

上述作为α位的取代基的烷基优选为直链状或支链状的烷基，具体可举出碳原子数1～5的烷基(甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基)等。

此外，作为α位的取代基的卤代烷基，具体可举出将上述“作为α位的取代基的烷基”的氢原子的一部分或全部用卤素原子取代而得的基团。作为该卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，特别优选为氟原子。

此外，作为α位的取代基的羟基烷基，具体可举出将上述“作为α位的取代基的烷基”的氢原子的一部分或全部用羟基取代而得的基团。该羟基烷基中的羟基数优选为1～5，最优选为1。

记载为“任选具有取代基”的情况下，包含用一价基团取代氢原子(-H)的情况和用二价基团取代亚甲基(-CH₂-)的情况两者。

“曝光”是指包含所有的放射线照射的概念。

根据本发明，可提供一种感光性树脂组合物，其适合用于形成黑色矩阵层，而且，形成的感光性树脂层的固有体积电阻率值高，形成图案时的光刻特性也优异。

附图说明

图1是说明本发明的实施例中形成的感光性树脂图案的图案角度的图。

附图标记说明

1...基板

2...感光性树脂图案

具体实施方式

<<感光性树脂组合物>>

本发明为一种感光性树脂组合物，其含有具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)、着色剂(D)及溶剂(S)，其特征在于，上述光聚合引发剂(B)包含肟类聚合引发剂(B1)和含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)，上述着色剂(D)包含经环氧树脂被覆处理的炭黑，上述溶剂(S)包含沸点为200℃以上的溶剂(S1)。

[具有Cardo骨架的树脂(A)]

作为具有Cardo骨架的树脂，只要是具有Cardo骨架作为基本骨架的树脂，则没有特别限定，其中，下式(a-1)表示的树脂是优选的。由于具有Cardo结构的树脂的耐热性、耐化学药品性高，因此能够提高感光性树脂组合物的耐热性及耐化学药品性。

<X^a>

上式(a-1)中，X^a表示下式(a-2)表示的基团。下式(a-2)中，*表示键合位点(下文中同样。)。

<R^a1、R^a2>

上式(a-2)中，R^a1各自独立地表示氢原子、碳原子数1～6的烃基、或卤素原子，R^a2各自独立地表示氢原子或甲基，W^a表示单键或下式(a-3)表示的基团。

<Y^a>

此外，上式(a-1)中，Y^a表示从二羧酸酐除去酸酐基(-CO-O-CO-)后的残基。作为二羧酸酐的例子，可举出马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基内亚甲基四氢邻苯二甲酸酐、氯桥酸酐(Chlorendic Anhydride)、甲基四氢邻苯二甲酸酐、戊二酸酐等。

<Z^a>

此外，上式(a-1)中，Z^a表示从四羧酸二酐除去2个酸酐基后的残基。作为四羧酸二酐的例子，可举出均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四甲酸二酐、联苯四甲酸二酐、二苯醚四甲酸二酐等。

此外，上式(a-1)中，m表示0～20的整数。

本发明的感光性树脂组合物所含有的具有Cardo骨架的树脂(A)的比例，相对于固态成分(除去感光性树脂组合物中的后述溶剂(S)后的成分整体)为10～50质量％、优选为15～40质量％、进一步优选为20～35质量％的范围。

此外，树脂(A)的重均分子量(Mw)优选为1000以上、40000以下，更优选为2000以上、30000以下。通过使重均分子量为1000以上，可提高耐热性、膜强度，此外，通过为40000以下，可获得相对于显影液的充分的溶解性。

[光聚合引发剂(B)]

本发明的感光性树脂组合物含有光聚合引发剂(B)。上述光聚合引发剂(B)包含肟类聚合引发剂(B1)和含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)。

〔肟类聚合引发剂(B1)〕

作为该光聚合引发剂，例如可举出2-((苯甲酰基氧基)亚氨基)-1-(4-(苯硫基)苯基)辛烷-1-酮、3-苯甲酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-乙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-丙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、2-乙酰氧基亚氨基戊烷-3-酮、2-乙酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺酰氧基)亚氨基丁烷-2-酮、及2-乙氧基羰基氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮等。

可用作肟类聚合引发剂的化合物的结构如下所示。

作为感光性树脂组合物中的肟类聚合引发剂的含量，相对于光聚合引发剂(B)整体而言，优选为20～90质量％，更优选为30～85质量％，更优选为40～70质量％。

肟化合物可以单独使用一种，也可以并用两种以上。

〔含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)〕

作为含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂，可举出下述通式(B2)-1表示的化合物。

[式(B2)-1中，R^b1表示碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基，R^b2及R^b3各自独立地表示氢原子、碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基、或苄基，R^b4～R^b8各自独立地表示氢原子、卤素原子、碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基、或碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基。]

<R^b1>

R^b1表示碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基。作为R^b1，例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等，其中，R^b1优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等，更优选为乙基。

<R^b2及R^b3>

R^b2及R^b3各自独立地表示氢原子、碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基、或苄基。作为R^b2及R^b3表示的烷基，例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等，其中，R^b2及R^b3各自独立地优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基等，更优选为甲基。

<R^b4、R^b5、R^b7及R^b8>

R^b4、R^b5、R^b7及R^b8各自独立地表示氢原子、卤素原子、碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基、或碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基。作为卤素原子，例如可举出氯原子、碘原子、溴原子、氟原子等。作为烷基，例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等。作为烷氧基，例如可举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。从在获得良好的线宽灵敏度和宽的DOF界限(DOF margin)的同时提高与支承体的密合性能的方面考虑，R^b4、R^b5、R^b7及R^b8各自独立地优选为氢原子、甲基、乙基，更优选为氢原子。

<R^b6>

R^b6表示氢原子、卤素原子；碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基；经选自羟基及碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基组中的取代基取代的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基；碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基；或经选自羟基及碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基组中的取代基取代的碳原子数2～4的直链状或支链状的烷氧基。

R^b6中，卤素原子、碳原子数1～12的直链状、及支链状或环状的烷基、碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基与R^b4、R^b5、R^b7及R^b8中的卤素原子、碳原子数1～12的直链状、及支链状或环状的烷基、碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基分别同义。

此外，就R^b6中的“经选自羟基及碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基组中的取代基取代的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基”而言，作为碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基，例如可举出与针对上述R^b4、R^b5、R^b7及R^b8中的碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基而示例的基团相同的基团。作为相对于R^b6中的“经取代的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基”而言的取代基，例如，优选为羟基、甲氧基等。作为R^b6中的“被取代的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基”，例如可举出与针对上述R^b4、R^b5、R^b7及R^b8中的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基”而示例的基团相同的基团。R^b6中的“经取代的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基”中，取代基可存在1种以上或1个以上。

此外，就R^b6中的“经选自羟基及碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基组中的取代基取代的碳原子数2～4的直链状或支链状的烷氧基”而言，作为碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基，例如可举出与针对上述R^b4、R^b5、R^b7及R^b8中的“碳原子数1～4的直链状或支链状的烷氧基”而示例的基团相同的基团。作为相对于R^b6中的“经取代的碳原子数2～4的直链状或支链状的烷氧基”而言的取代基，例如，优选为羟基、甲氧基等。作为R^b6中的“被取代的碳原子数2～4的直链状或支链状的烷氧基”，例如可举出乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。R^b6中的“经取代的碳原子数2～4的直链状或支链状的烷氧基”中，取代基可存在1种以上或1个以上。

R^b6优选为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正癸基、正十二烷基、羟基甲基、2-羟基乙基、甲氧基甲基、2-甲氧基乙基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、羟基甲氧基、2-羟基乙氧基、甲氧基甲氧基、2-甲氧基乙氧基等，更优选为氢原子、甲基、乙基。

本发明中，下述情况是优选的，在所述情况下，R^b1为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等，R^b2为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基等，R^b3为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基等，R^b4为氢原子、甲基、乙基，R^b5为氢原子、甲基、乙基，R^b7为氢原子、甲基、乙基，R^b8为氢原子、甲基、乙基，R^b6为甲基、氢原子。

作为上述通式(B2)-1表示的氨基烷基苯酮类化合物的例子，可举出2-苄基-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮(例如，Ciba Specialty Chemicals公司制的IRGACURE 369)、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮(例如，Ciba Specialty Chemicals公司制的IRGACURE379)、2-(4-乙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-正十二烷基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(3，4-二甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-乙氧基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-羟基甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-〔4-(2-羟基乙氧基)苄基〕-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-〔4-(2-甲氧基乙氧基)苄基〕-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-〔(正丁基)(甲基)氨基〕-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-〔(正丁基)(甲基)氨基〕-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)戊烷-1-酮、2-(4-异丁基苄基)-2-〔(正丁基)(甲基)氨基〕〕-1-(4-吗啉基苯基)戊烷-1-酮、2-(4-正丁氧基苄基)-2-〔(正丁基)(甲基)氨基〕-1-(4-吗啉基苯基)戊烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-〔二(正辛基)氨基〕-1-(4-吗啉基苯基)己烷-1-酮、2-(4-正十二烷基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)辛烷-1-酮等。

其中，基于与上文同样的理由，优选2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮。

作为氨基烷基苯酮类聚合引发剂的配合比例，相对于光聚合引发剂(B)整体而言，优选为10～80质量％，更优选为15～70质量％，更优选为30～60质量％。

从提高膜整体(尤其是厚度方向)的聚合反应、光刻特性、在膜整个表面范围内显影后的密合性容易受损时的密合性能的观点考虑，上述肟类聚合引发剂及氨基烷基苯酮类聚合引发剂的组合方案为，肟类聚合引发剂(B1)为2-((苯甲酰基氧基)亚氨基)-1-(4-(苯硫基)苯基)辛烷-1-酮、上述氨基烷基苯酮类聚合引发剂为上述通式(B2)-1表示的化合物〔其中，R^b1为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基，R^b2为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基，R^b3为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基，R^b4为氢原子、甲基、乙基，R^b5为氢原子、甲基、乙基，R^b7为氢原子、甲基、乙基，R^b8为氢原子、甲基、乙基，R^b6为甲基、氢原子。〕的方案。

本发明中，作为肟类聚合引发剂与氨基烷基苯酮类聚合引发剂的含有比率，以肟类聚合引发剂(B1)与氨基烷基苯酮类聚合引发剂(B2)之比((B1)∶(B2))表示时，优选为20∶80～90∶10，更优选为30∶70～85∶15，进一步优选为40∶60～70∶30。

通过为上述范围，可提高直到膜深部的范围内的光敏感度，通过并用上述肟类聚合引发剂和含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂而带来的膜整体的聚合引发效率增高，能够获得高的线宽灵敏度和宽的DOF界限(DOF margin)以及可抑制剥离的发生的密合性，在溶剂溶解性方面也是有利的。

由于本发明的感光性树脂组合物含有氨基烷基苯酮类聚合引发剂，因此推测从氨基烷基苯酮类聚合引发剂产生的胺与下文所述的硅烷偶联剂反应，相对于基板的密合性提高。此外，推测通过同时使用肟类聚合引发剂和氨基烷基苯酮类聚合引发剂，还能够实现高敏感度化。

此外，可以在上述光聚合引发剂中组合光引发助剂。

作为上述光引发助剂，例如可举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N，N-二甲基对甲苯胺、4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮(通称米蚩酮(Michler’s ketone))、4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、9，10-二甲氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。上述光引发助剂可以单独使用或组合2种以上使用。

本发明的感光性树脂组合物所含有的光聚合引发剂(B)的比例，相对于固态成分(除去感光性树脂组合物中的后述溶剂(S)后的成分整体)为1～20质量％、优选为1～15质量％、进一步优选为2～7质量％的范围。

此外，上述(B1)与(B2)的总和的比例优选相对于光聚合引发剂(B)整体为80质量％以上，更优选为90～100质量％。

[硅烷偶联剂(C)]

本发明的感光性树脂组合物含有硅烷偶联剂(C)。

本发明中，硅烷偶联剂(C)没有特别限定，但例如优选含有下述通式(C0)表示的化合物。

[上式中，Yc⁰¹为可以被氨基取代的碳原子数1～6的亚烷基，R^c1～R^c3各自独立地为碳原子数1～6的烷氧基、碳原子数1～10的烷基、碳原子数3～7的环烷基、碳原子数6～10的芳基、碳原子数7～10的芳烷基，R^c1～R^c3中的至少1个为烷氧基，R^c4为(C-1)或(C-2)表示的基团，R^c5为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，R^c6为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，*为键合位点。]

<Yc⁰¹>

Yc⁰¹为可以被氨基取代的碳原子数1～6的亚烷基。

作为碳原子数1～6的亚烷基，具体而言，可举出亚甲基[-CH₂-]；-CH(CH₃)-、-CH(CH₂CH₃)-、-C(CH₃)₂-、-C(CH₃)(CH₂CH₃)-、-C(CH₃)(CH₂CH₂CH₃)-、-C(CH₂CH₃)₂-等烷基亚甲基；亚乙基[-CH₂CH₂-]；-CH(CH₃)CH₂-、-CH(CH₃)CH(CH₃)-、-C(CH₃)₂CH₂-、-CH(CH₂CH₃)CH₂-等烷基亚乙基；1，3-亚丙基(亚正丙基)[-CH₂CH₂CH₂-]；-CH(CH₃)CH₂CH₂-、-CH₂CH(CH₃)CH₂-等烷基-1，3-亚丙基1，4-亚丁基[-CH₂CH₂CH₂CH₂-]；-CH(CH₃)CH₂CH₂CH₂-、-CH₂CH(CH₃)CH₂CH₂-等烷基-1，4-亚丁基；1，5-亚戊基[-CH₂CH₂CH₂CH₂CH₂-]等。

本发明中，Yc⁰¹优选为碳原子数1～4的亚烷基，该亚烷基优选为直链状，特别优选为1，3-亚丙基。

此外，本发明中，Yc⁰¹为碳原子数1～6的亚烷基的一部分被氨基取代的基团时，优选为碳原子数1～6的直链状的亚烷基的一部分被氨基取代的基团。

<R^c1～R^c3>

R^c1～R^c3各自独立地为碳原子数1～6的烷氧基、碳原子数1～10的烷基、碳原子数3～7的环烷基、碳原子数6～10的芳基、碳原子数7～10的芳烷基，R^c1～R^c3中的至少1个为烷氧基。

〔碳原子数1～6的烷氧基〕

作为碳原子数1～6的烷氧基，优选为碳原子数1～5的烷氧基，更优选为甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基，最优选为甲氧基、乙氧基。

〔碳原子数1～10的烷基〕

作为碳原子数1～10的烷基，优选为直链状或支链状的烷基，具体而言，可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基、1，1-二甲基乙基、1，1-二乙基丙基、2，2-二甲基丙基、2，2-二甲基丁基等。

〔碳原子数3～7的环烷基〕

作为碳原子数3～7的环烷基，可举出2-甲基-2-金刚烷基、2-乙基-2-金刚烷基、1-甲基-1-环烷基、1-乙基-1-环烷基等，更具体而言，可举出1-甲基环戊基、1-乙基环戊基、1-甲基环己基、1-乙基环己基、2-甲基-2-金刚烷基、2-乙基-2-金刚烷基等。

〔碳原子数6～10的芳基〕

作为碳原子数6～10的芳基，可举出苯基、苄基、甲苯基、邻二甲苯基。

〔碳原子数7～10的芳烷基〕

作为碳原子数7～10的芳烷基，可举出苄基、苯乙基、1-萘基甲基、2-萘基甲基、1-萘基乙基、2-萘基乙基等芳基烷基。

本发明中，R^c1～R^c3中的至少1个为烷氧基。对于本发明而言，优选R^c1～R^c3中的至少1个为碳原子数1～3的烷氧基，其中特别优选为甲氧基。此外，优选R^c1～R^c3中至少2个为甲氧基，特别优选R^c1～R^c3全部为甲氧基。

<R^c4>

R^c4为下述通式(C-1)或(C-2)表示的基团。

[上式中，R^c5为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，R^c6为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，*为键合位点。]

<R^c5、R^c6>

R^c5为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，R^c6为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基。

以下，对作为R^c5或R^c6的芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基进行说明。

〔芳香族烃基〕

芳香族烃基为具有芳香环的烃基。

本发明中，芳香族烃基的碳原子数优选为3～30，更优选为5～30，进一步优选为5～20，特别优选为6～15，最优选为6～10。其中，该碳原子数不包含取代基的碳原子数。

作为芳香族烃基具有的芳香环，具体可举出苯、联苯、芴、萘、蒽、菲等芳香族烃环；构成上述芳香族烃环的碳原子的一部分被杂原子取代的芳香族杂环等。作为芳香族杂环中的杂原子，可举出氧原子、硫原子、氮原子等。

作为芳香族烃基，具体可举出从上述芳香族烃环除去1个氢原子而得的基团(芳基)的1个氢原子被亚烷基取代的基团(例如，苄基、苯乙基、1-萘基甲基、2-萘基甲基、1-萘基乙基、2-萘基乙基等从芳基烷基中的芳基再除去1个氢原子而得的基团)；从含有2个以上的芳香环的芳香族化合物(例如联苯、芴等)除去2个氢原子而得的基团等。上述亚烷基(芳基烷基中的烷基链)的碳原子数优选为1～4，更优选为1～2，特别优选为1。

本发明中，作为芳香族烃基，优选为苯基、萘基等。

〔环状的脂肪族烃基〕

环状的脂肪族烃基可以为多环式，也可以为单环式。作为单环式的脂环式烃基，优选为从单环烷烃中除去了1个氢原子的基团。作为该单环烷烃，优选碳原子数3～6的单环烷烃，具体可举出环戊烷、环己烷等。作为多环式的脂环式烃基，优选为从多环烷烃中除去了2个氢原子的基团，作为该多环烷烃，优选碳原子数7～12的多环烷烃，具体可举出金刚烷、降冰片烷、异冰片烷(isobornane)、三环癸烷、四环十二烷等。

〔杂环〕

作为杂环，可举出以下(r-hr-1)～(r-hr-62)所示的杂环式基团。

〔碳原子数1～20的烷基〕

作为碳原子数1～20的烷基，更优选为碳原子数1～10的烷基，特别优选为碳原子数1～5的烷基；优选为直链状或支链状的烷基，具体可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基、1，1-二甲基乙基、1，1-二乙基丙基、2，2-二甲基丙基、2，2-二甲基丁基等。

上述基团中，优选甲基或乙基。

本发明中，作为R^c5或R^c6，优选为氢原子、碳原子数1～5的烷基、杂环式基团或芳香族烃基。

以下记载通式(C0)表示的化合物的具体例。下文中，Me表示甲基。

关于本发明的感光性树脂组合物含有的硅烷偶联剂(C)的量，相对于具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)及着色剂(D)的总量100重量份而言，可以为0.1～10重量份、优选0.2～8重量份、进一步优选0.5～5重量份的范围。

就本发明的感光性树脂组合物而言，通过包含含有下文所述的经环氧树脂被覆处理的炭黑的着色剂，能够使形成的感光性树脂层的体积电阻率值非常高。

另一方面，使用经环氧树脂被覆处理的炭黑时，由环氧基导致的耐水性的降低成为问题。这是因为，由于耐水性降低，使得感光性树脂层的体积电阻率值也降低。

因此，推测通过使本发明的感光性树脂组合物含有上述硅烷偶联剂(C)，能够提高感光性树脂层的耐水性。特别地，推测当上述硅烷偶联剂(C)具有尿素骨架(-N-C(＝O)-N-)时，能够对提高耐水性作出很大贡献。

此外，推测通过含有硅烷偶联剂(C)，能够使相对于基板的密合性也提高，因此，能够防止感光性树脂层在图案化后从基板剥离，耐蚀刻性也提高。

[着色剂(D)]

本发明含有着色剂(D)，上述着色剂(D)包含经环氧树脂被覆处理的炭黑。

环氧树脂相对于炭黑的被覆量，优选相对于炭黑和环氧树脂的总量为1～30wt％。

通过为上述下限值以上，能够获得高于未处理炭黑的分散性、分散稳定性、绝缘性。此外，通过为上述上限值以下，能够使分散性良好。

此外，使用经环氧树脂被覆处理的炭黑作为着色剂(D)时，优选进行调整以使得形成的膜的每1μm膜厚的OD(Optical Density，光密度)值成为3.0以上、优选为3.5以上。若每1μm膜厚的OD值为3.5以上，则在用作为彩色滤光片的黑色矩阵时，能够获得充分的显示对比度，能够获得必要的性能。

将使用本发明的感光性树脂组合物形成的感光性树脂层用作黑色矩阵时，若增加炭黑的含量，则作为黑色矩阵的光密度(OD值)提高。

另一方面，增加具有导电性的炭黑的含量，将成为降低黑色矩阵的固有体积电阻率值的原因。

推测由于本发明采用经环氧树脂被覆处理的炭黑作为向感光性树脂组合物中添加的黑色着色剂，所以在增加形成的感光性树脂层、黑色矩阵的OD值的同时，也能够实现增高固有体积电阻率值。

作为除经环氧树脂被覆处理的炭黑以外的着色剂，例如可举出日本特开昭60-237403号公报、及日本特开平4-310901号公报中记载的颜料或染料。

例如，可举出染料索引(C.I.；The Society of Dyers and Colourists公司发行)中被分类为颜料(Pigment)的化合物，具体可举出被赋予了如下所述的染料索引(C.I.)号的化合物。

C.I.颜料黄1(以下，“C.I.颜料黄”相同，仅记载编号。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185；

C.I.颜料橙1(以下，“C.I.颜料橙”相同，仅记载编号。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73；

C.I.颜料紫1(以下，“C.I.颜料紫”相同，仅记载编号。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50；

C.I.颜料红1(以下，“C.I.颜料红”相同，仅记载编号。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265；

C.I.颜料蓝1(以下，“C.I.颜料蓝”相同，仅记载编号。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66；C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿37；

C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25、C.I.颜料棕26、C.I.颜料棕28；C.I.颜料黑1、颜料黑7。

本发明的感光性树脂组合物含有的着色剂(D)的比例，相对于固态成分(感光性树脂组合物中的除下述溶剂(S)以外的成分整体)而言，为30～80质量％、优选为40～75质量％、进一步优选为45～70质量％的范围。

着色剂(D)中的经环氧树脂被覆处理的炭黑的比例，优选为80质量％以上，更优选为90质量％以上，进一步优选为95～100质量％。

通过为上述范围，能够维持作为彩色滤光片的功能，灵敏度良好，固化后的涂膜的耐热性、及耐化学药品性变得良好。

[溶剂(S)]

本发明的感光性树脂组合物含有溶剂(S)，所述溶剂(S)包含沸点为200℃以上的溶剂(S1)。

作为沸点低于200℃的有机溶剂(S2)，优选为选自环己酮(AN)及丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)、乙酸3-甲氧基丁酯(MA)、二丙二醇二甲醚(DMM)及乙酸环己酯(CHXA)中的1种以上。其中，更优选为乙酸3-甲氧基丁酯及丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)。

相对于溶剂(S)整体而言，(S2)的配合量可以为90～99质量％，优选为92～98质量％，更优选为94～97质量％。

本发明中，溶剂(S)含有沸点为200℃以上的溶剂(S1)。

作为沸点为200℃以上的溶剂(S1)，可举出1，4-丁基二甘醇二乙酸酯(1，4-butyldiglycol diacetate)、乙基二甘醇乙酸酯(ethyl diglycol acetate)、γ-丁内酯(GBL)、二丙二醇甲醚乙酸酯(DPMA)、1，3-丁二醇二乙酸酯(1，3-BGA)、二乙二醇单乙醚乙酸酯(EDGAC)、或二乙二醇单丁醚乙酸酯(BDGAC)。

上述溶剂中，1，4-丁基二甘醇二乙酸酯、丁基二甘醇乙酸酯、乙基二甘醇乙酸酯是优选的。这些溶剂可以各自单独使用，或者可以组合2种以上使用。

相对于溶剂(S)整体而言，(S1)的配合量可以为1～10质量％，优选为2～8质量％，更优选为3～6质量％。

溶剂(S)的配合量优选相对于本发明的感光性树脂组合物整体为70质量％～90质量％。即，本发明的感光性树脂组合物的固态成分浓度优选为10质量％～30质量％。

可以认为，通过使本发明的感光性树脂组合物含有沸点为200℃以上的溶剂(S1)，在预烘时溶剂残存于感光性树脂膜中，因此未曝光部的环氧固化反应变慢，不易产生对未曝光部显影液溶解性的阻碍，因此在图案形成时不容易产生残渣。

此外，可以推测，通过含有沸点为200℃以上的溶剂(S1)，使得从上述含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)产生的胺容易扩散，能够有助于基板密合性。

本发明的感光性树脂组合物的体积电阻率值优选为1.0×10¹³(Ω·cm)以上。

体积电阻率值如下算出。

体积电阻率值(Ω·cm)＝炭黑粉体的截面积(cm²)×电阻值(Ω)/炭黑粉体的堆高度(cm)

由于使用本发明的感光性树脂组合物形成的黑色矩阵采用了上述着色剂(D)，所以能够使固有体积电阻率值非常高。尤其是当体积电阻率值为1.0×10¹³(Ω·cm)以上时，对于金属布线直接接触黑色矩阵的移动用终端是有用的。

<任选成分>

本发明的感光性树脂组合物还可以含有光聚合性化合物(E)。

光聚合性化合物是受到紫外线等光的照射而聚合、固化的物质。作为光聚合性化合物，优选为具有烯键式双键的化合物，具体可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、马来酸、富马酸单甲酯、富马酸单乙酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、乙二醇单甲醚丙烯酸酯、乙二醇单甲醚甲基丙烯酸酯、乙二醇单乙醚丙烯酸酯、乙二醇单乙醚甲基丙烯酸酯、丙烯酸甘油酯、甲基丙烯酸甘油酯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸-2-乙基己酯、甲基丙烯酸-2-乙基己酯、丙烯酸苄基酯、甲基丙烯酸苄基酯、二丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、四羟甲基丙烷四丙烯酸酯、四羟甲基丙烷四甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯(DPTA)、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、Cardo环氧基二丙烯酸酯等单体、低聚物类；多元醇类与一元酸或多元酸缩合得到的聚酯预聚物与(甲基)丙烯酸反应得到的聚酯(甲基)丙烯酸酯；多元醇和具有2个异氰酸酯基的化合物反应后与(甲基)丙烯酸反应得到的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯；双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚-novolac型或甲酚-novolac型环氧树脂、resol型环氧树脂、三酚基甲烷型环氧树脂、聚羧酸聚缩水甘油基酯、多元醇聚缩水甘油基酯、脂肪族或脂环式环氧树脂、胺环氧树脂、及二羟基苯型环氧树脂等环氧树脂与(甲基)丙烯酸反应得到的环氧(甲基)丙烯酸酯树脂等。进而，使上述环氧(甲基)丙烯酸酯树脂与多元酸酐反应而得的树脂也可以合适地使用。

本发明的感光性树脂组合物含有的光聚合性化合物(E)的比例，相对于固态成分(感光性树脂组合物中的除下述溶剂(S)以外的成分整体)而言，为1～40质量％、优选为3～30质量％、进一步优选为5～25质量％的范围。

此外，还可以在本发明的感光性树脂组合物中添加热聚合抑制剂、消泡剂、表面活性剂等。它们可以单独使用或并用多种。

作为上述热聚合抑制剂，可以是现有已知的热聚合抑制剂，可举出氢醌、氢醌单乙醚等。

作为上述消泡剂，可以是现有已知的消泡剂，可举出聚硅氧烷类、氟类化合物。

作为上述表面活性剂，可以是现有已知的表面活性剂，可举出阴离子类、阳离子类、非离子类等的化合物。

<感光性树脂组合物的制备方法>

本发明的感光性树脂组合物可通过以下方法进行制备。

加入具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)和着色剂(D)、及根据需要添加的有机添加剂等，使用三辊研磨机、球磨机、砂磨机等搅拌机进行混合(分散·混炼)，使用例如5μm膜滤器进行过滤，从而制备感光性树脂组合物。

<遮光层(黑色矩阵)的形成方法>

以下，作为使用本发明的感光性树脂组合物形成遮光层的方法的一种实施方式，说明形成黑色矩阵的方法的例子。

首先，使用辊涂机、逆转辊涂布机(reverse coater)、棒涂机等接触转印型涂布装置、旋转器(旋转式涂布装置)、幕涂机等非接触型涂布装置，将本发明的感光性树脂组合物涂布至基板上。基板可以使用具有光透过性的基板，例如玻璃基板。

涂布上述感光性树脂组合物之后，进行干燥从而除去溶剂。

接下来，经由阴型掩模照射紫外线、准分子激光等活性能量线，部分地进行曝光。曝光可使用高压汞灯、超高压汞灯、氙灯、碳弧灯等发出紫外线的光源。照射的能量线量根据感光性树脂组合物组成的不同而不同，但例如优选为30～2000mJ/cm²左右。

将曝光后的膜用显影液显影，由此形成黑色矩阵。显影方法没有特别限定，例如可使用浸渍法、喷雾法等。此外，也可以采用预湿(Pre-Wet)。图像形成后，为了提高显影液的干燥、抗蚀剂膜的固化的效果，可以采用后烘、后光固化等。作为显影液的具体例，可举出单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有机类显影液，氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、氨、季铵盐等的水溶液。

实施例

以下，通过实施例更具体地说明本发明，但本发明并不限定于以下实施例。

<感光性树脂组合物的制备>

将表1所示的各成分混合并溶解，以(S)成分成为整体的85质量％的方式制备感光性树脂组合物。

[表1]

[表2]

上表中的各缩写具有以下含义。此外，[]内的数值为配合量(质量份)。

·(A)-1：如下所述得到的树脂(A)-1

·(A)-2：下述高分子化合物(A)-2

·(B1)-1：下述化合物(B1)-1

·(B2)-1～(B2)-2：下述化合物(B2)-1～(B2)-2

·(B3)-1～(B3)-2：下述化合物(B3)-1～(B3)-2

·(C)-1～(C)-7：下述化合物(C)-1～(C)-7

·(D)-1：被覆有环氧树脂的炭黑

·(D)-2：炭黑

·(E)-1：二季戊四醇六丙烯酸酯

·(S)-1：乙酸3-甲氧基丁酯/PGMEA/环己酮/1，4-丁二醇二乙酸酯＝55/20/20/5的混合溶剂。

·(S)-2：乙酸3-甲氧基丁酯/PGMEA/环己酮/丁基二甘醇乙酸酯＝55/20/20/5的混合溶剂。

·(S)-3：乙酸3-甲氧基丁酯/PGMEA/环己酮＝60/20/20的混合溶剂。

〔高分子化合物(A)-1的制造〕

首先，在500ml四颈瓶中装入235g双酚芴型环氧树脂(环氧当量为235)、110mg四甲基氯化铵、100mg的2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚、及72.0g丙烯酸，在以25ml/分钟的速度向其中吹入空气的同时，于90～100℃进行加热溶解。接着，在溶液为白浊的状态下缓慢升温，加热至120℃使其完全溶解。此时，溶液逐渐变成透明粘稠，在该状态下持续搅拌。在此期间，对酸值进行测定，持续加热搅拌直至酸值变得小于1.0mgKOH/g。到酸值达到目标值为止需要12小时。然后，冷却至室温，得到无色透明的固体状的下式(a-4)表示的双酚芴型环氧丙烯酸酯。

接下来，向307.0g如上所述得到的上述双酚芴型环氧丙烯酸酯中加入600g的乙酸3-甲氧基丁酯并进行溶解后，混合80.5g二苯甲酮四甲酸二酐及1g四乙基溴化铵，缓慢地升温，于110～115℃下反应4小时。确认到酸酐基消失后，混合38.0g的1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸酐，于90℃下反应6小时，得到树脂(A)-1。酸酐基的消失通过IR光谱进行确认。需要说明的是，该树脂(A)-1相当于上式(a-1)表示的树脂。

<感光性树脂图案的形成>

使用旋转涂布机(TR25000：东京应化(株)制)将实施例及比较例中制备的感光性树脂组合物涂布在玻璃基板(100mm×100mm)上，于100℃下进行120秒的预烘，形成膜厚为1.0μm的涂膜。接着，使用镜面投影对准曝光器(mirror projection aligner)(制品名：TME-150RTO，株式会社TOPCON制)，将曝光间隙设为50μm，经由掩模向涂膜照射紫外线。将曝光量设为100mJ/cm²。使用26℃的0.04质量％KOH水溶液将曝光后的涂膜显影40秒后，于230℃下进行20分钟的后烘，由此形成包含线宽为10μm的线的感光性树脂图案(黑色矩阵)。然后，使用230℃-20min循环式烘箱进行后烘。制成的各感光性树脂图案的膜厚为1.0μm。

此外，对制成的各感光性树脂图案进行下述评价。结果示于表3。

[OD值的测定]

使用OD测定装置D-200II(GretagMacbeth公司制)进行了测定。

[耐水性试验]

针对上述得到的感光性树脂图案，进一步实施PCT试验(Pressure Cooker Test，压力锅试验)，即，于120℃下在湿度100％-2气压的环境中放置36小时。

然后恢复至室温，在感光性树脂图案表面划上交叉切割痕(宽1mm的格子状的切痕)，进行JIS Z 1522中规定的胶带试验，确认感光性树脂图案有无剥离。将完全没有剥离的情况评价为5B，将剥离为5％以下的情况评价为4B，将剥离大于5％且为15％以下的情况评价为3B，将剥离大于15％且为35％以下的情况评价为2B，将剥离大于35％且为65％以下的情况评价为1B，将剥离大于65％的情况评价为0B，记载在表3中。

[体积电阻率值]

体积电阻率值如下算出。

体积电阻率值(Ω·cm)＝炭黑粉体的截面积(cm²)×电阻值(Ω)/炭黑粉体的堆高度(cm)

[残渣]

利用测长SEM(扫描型电子显微镜，加速电压800V，商品名：S-9220，日立制作所公司制)，观察上述得到的感光性树脂图案，确认有无残渣。

将在SEM上不能观察到残渣的情况评价为○，将在SEM上观察到了些微残渣的情况评价为△，将在SEM上观察到了残渣的情况评价为×，记载在表3中。

[图案直线行进性]

利用测长SEM(扫描型电子显微镜，加速电压800V，商品名：S-9220，日立制作所公司制)，观察上述得到的感光性树脂图案，对图案直线行进性(掩模忠实性)进行评价。

将按照掩模原样地形成了良好的图案的情况评价为良好，将图案没有良好地形成的情况评价为不好，记载在表3中。

[图案剥离]

利用测长SEM(扫描型电子显微镜，加速电压800V，商品名：S-9220，日立制作所公司制)，观察上述得到的感光性树脂图案，将没有图案剥离的情况评价为○，将每10条线中有1～2条剥离的情况评价为△，将每10条线中有5～10条剥离的情况评价为×，记载在表3中。

[图案形状]

利用测长SEM(扫描型电子显微镜，加速电压800V，商品名：S-9220，日立制作所公司制)，观察上述得到的感光性树脂图案，对图案的截面形状进行评价。将图案的矩形性非常良好的情况评价为◎，将图案的矩形性良好的情况评价为○，将图案的矩形性不好的情况评价为△，将图案的矩形性非常差的情况评价为×，记载在表3中。

[图案角度]

如图1所示那样，测定基板1与图案2所成的角θ的角度。结果示于表3。

如上述结果所示，使用本发明的感光性树脂组合物形成的感光性树脂图案的固有体积电阻率值高，形成图案时的光刻特性优异。

Claims (7)

1.一种感光性树脂组合物，含有具有Cardo骨架的树脂(A)、光聚合引发剂(B)、硅烷偶联剂(C)、着色剂(D)及溶剂(S)，其特征在于，

所述光聚合引发剂(B)包含肟类聚合引发剂(B1)和含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)，

所述着色剂(D)包含经环氧树脂被覆处理的炭黑，

所述溶剂(S)包含沸点为200℃以上的溶剂(S1)，

在100质量份所述光聚合引发剂(B)中，所述肟类聚合引发剂(B1)的配合比例为20～90质量份，所述含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的配合比例为10～80质量份，

所述肟类聚合引发剂(B1)与所述含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的含有比率即(B1):(B2)为20:80～90:10。

2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述硅烷偶联剂(C)含有下述通式(C0)表示的化合物，

式(C0)中，

Yc⁰¹为可以被氨基取代的碳原子数1～6的亚烷基，

R^c1～R^c3各自独立地为碳原子数1～6的烷氧基、碳原子数1～10的烷基、碳原子数3～7的环烷基、碳原子数6～10的芳基、碳原子数7～10的芳烷基，R^c1～R^c3中的至少1个为烷氧基，

R^c4为下式(C-1)或(C-2)表示的基团，R^c5为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，

R^c6为氢原子、芳香族烃基、环状的脂肪族烃基、杂环、或碳原子数1～20的烷基，

＊为键合位点，

3.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，体积固有电阻率值为1.0×10¹³(Ω·cm)以上。

4.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在100质量份光聚合引发剂(B)中，含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的配合比例为10～60质量份。

5.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在肟类聚合引发剂(B1)与含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的总计100质量份中，含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的配合比例为10～60质量份。

6.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在肟类聚合引发剂(B1)与含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的总计100质量份中，含有氨基的烷基苯酮类聚合引发剂(B2)的配合比例为30～60质量份。

7.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，在100质量份溶剂(S)中，沸点为200℃以上的溶剂(S1)的配合比例为1～10质量份。

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