JP2011124301A5 - - Google Patents

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本発明の二次元フォトニック結晶面発光レーザは、
基板上に、該基板の面に対して垂直方向に、活性層と、フォトニック結晶の構造を有するフォトニック結晶層とが積層された積層構造を備え、
該フォトニック結晶の面内方向に共振モードを有し、該フォトニック結晶の面に対して垂直方向に光を取り出す二次元フォトニック結晶面発光レーザであって、
前記積層構造中に、高屈折率媒質からなる中央部と、該高屈折率媒質よりも屈折率が低い低屈折率媒質からなる周辺部とを備えた屈折率層を有し、
前記屈折率層における低屈折率媒質からなる周辺部が、前記電極と重ならない領域に形成されていることを特徴とする。

Claims (9)

  1. 基板上に、該基板の面に対して垂直方向に、活性層と、フォトニック結晶の構造を有するフォトニック結晶層とが積層された積層構造を備え、
    該フォトニック結晶の面内方向に共振モードを有し、該フォトニック結晶の面に対して垂直方向に光を取り出す二次元フォトニック結晶面発光レーザであって、
    前記積層構造中に、高屈折率媒質からなる中央部と、該高屈折率媒質よりも屈折率が低い低屈折率媒質からなる周辺部とを備えた屈折率層を有し、
    前記屈折率層における低屈折率媒質からなる周辺部が、前記電極と重ならない領域に形成されていることを特徴とする二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  2. 前記積層構造における表面の中央部には、前記活性層にキャリアを注入するための電極が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  3. 前記屈折率層が、前記フォトニック結晶層と前記活性層との間に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  4. 前記屈折率層が、前記活性層を挟んで前記二次元フォトニック結晶の反対側に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  5. 前記電極が、p型電極であることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  6. 前記屈折率層における低屈折率媒質からなる周辺部が、前記中央部側から外周部側に向かうに従って徐々に厚くなる層構成を備えていることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  7. 前記屈折率層における低屈折率媒質からなる周辺部が、前記中央部側から外周部側に向かうに従って徐々に屈折率が低くなる層構成を備えていることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  8. 前記屈折率層における低屈折率媒質が、絶縁媒質からなることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
  9. 前記フォトニック結晶層は、窒化物半導体で構成されていることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の二次元フォトニック結晶面発光レーザ。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1994921A1 (fr) * 2007-05-21 2008-11-26 L'Oreal Composition parfumante comprenant l'association d'un filtre A hydroxyaminobenzophenone, d'un filtre B cinnamate et d'un composé C pipéridinol, benzotriazole ou dibenzoylméthane
JP5183555B2 (ja) 2009-04-02 2013-04-17 キヤノン株式会社 面発光レーザアレイ
JP4975130B2 (ja) * 2009-05-07 2012-07-11 キヤノン株式会社 フォトニック結晶面発光レーザ
JP5627361B2 (ja) 2010-09-16 2014-11-19 キヤノン株式会社 2次元フォトニック結晶面発光レーザ
JP5804690B2 (ja) 2010-11-05 2015-11-04 キヤノン株式会社 面発光レーザ
JP5858659B2 (ja) * 2011-06-21 2016-02-10 キヤノン株式会社 フォトニック結晶面発光レーザおよびその製造方法
US8885683B2 (en) 2011-12-21 2014-11-11 Canon Kabushiki Kaisha Process for forming microstructure of nitride semiconductor, surface emitting laser using two-dimensional photonic crystal and production process thereof
CN103305908A (zh) * 2012-03-14 2013-09-18 东莞市中镓半导体科技有限公司 一种用于GaN生长的复合衬底
US9991669B2 (en) * 2016-07-25 2018-06-05 Hamamatsu Photonics K.K. Semiconductor light-emitting device and manufacturing method for the same
CN110337764B (zh) * 2017-02-27 2021-06-11 国立大学法人京都大学 表面发射激光器和制造表面发射激光器的方法
JP7125867B2 (ja) * 2018-06-20 2022-08-25 浜松ホトニクス株式会社 発光素子
US20240170917A1 (en) * 2021-03-19 2024-05-23 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Photonic crystal surface-emitting laser and method for manufacturing the same
CN113794104B (zh) * 2021-09-29 2023-01-03 中国科学院半导体研究所 光子晶体激光器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3561244B2 (ja) * 2001-07-05 2004-09-02 独立行政法人 科学技術振興機構 二次元フォトニック結晶面発光レーザ
JP2003273456A (ja) 2002-03-14 2003-09-26 Japan Science & Technology Corp 2次元フォトニック結晶面発光レーザ
JP2004063972A (ja) * 2002-07-31 2004-02-26 Hitachi Ltd 半導体レーザおよびその製造方法
JP2006156901A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体発光素子
JP2006165255A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザ素子
US7483466B2 (en) * 2005-04-28 2009-01-27 Canon Kabushiki Kaisha Vertical cavity surface emitting laser device
JP4927411B2 (ja) * 2006-02-03 2012-05-09 古河電気工業株式会社 2次元フォトニック結晶面発光レーザ
JP5224310B2 (ja) * 2006-08-31 2013-07-03 古河電気工業株式会社 垂直共振器型面発光レーザ
US7535946B2 (en) 2006-11-16 2009-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Structure using photonic crystal and surface emitting laser
US7499480B2 (en) 2006-11-16 2009-03-03 Canon Kabushiki Kaisha Photonic crystal structure and surface-emitting laser using the same
JP2008205278A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザ素子およびその製造方法
JP5111161B2 (ja) 2007-04-19 2012-12-26 キヤノン株式会社 フォトニック結晶層を有する構造体、それを用いた面発光レーザ
JP4338211B2 (ja) 2007-08-08 2009-10-07 キヤノン株式会社 フォトニック結晶を有する構造体、面発光レーザ
JP5084540B2 (ja) * 2008-02-06 2012-11-28 キヤノン株式会社 垂直共振器型面発光レーザ
JP4621263B2 (ja) * 2008-02-22 2011-01-26 キヤノン株式会社 面発光レーザおよび画像形成装置
JP4968959B2 (ja) 2008-03-06 2012-07-04 キヤノン株式会社 フォトニック結晶および該フォトニック結晶を用いた面発光レーザ
JP5388666B2 (ja) 2008-04-21 2014-01-15 キヤノン株式会社 面発光レーザ
JP5451280B2 (ja) 2008-10-09 2014-03-26 キヤノン株式会社 ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置

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