JP2010536131A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 表面（３）の乾式の洗浄、活性化、被覆、変性及び生物汚染除去のための装置であって、表面障壁放電により流動状の所定のガス雰囲気内に形成される大気圧プラズマを用いており、誘電体又は強誘電体（４）で覆われた高電圧電極（５）、接地された導電性の接触電極（２）、高電圧供給部（７）及びガス供給部（８）、並びにガス出口開口部（１２）を備えたガスノズル（１）を含んでいて、前記誘電体又は強誘電体（４）で覆われた高電圧電極（５）が、接地された導電性の接触電極（２）に接触されている形式のものにおいて、
   ａ） 前記ガスノズル（１）は、前記接地された接触電極（２）内に組み込まれており、又は、
   ｂ） 前記ガスノズル（１）自体が、前記接地された接触電極（２）として作動するようになっており、かつ前記ガス出口開口部（１２）は、流出するガス流を前記接地された接触電極（２）の接触部位に向けるように構成されていることを特徴とする、プラズマ支援式の表面処理のための装置。
2. 追加的に次に述べる少なくとも１つの構成要素を含んでおり、つまり、絶縁部（６）、前記高電圧供給部（１０）のためのケーシング、モータ、有利には電磁石継手（１１）を備えたモータ、継ぎ目縁部（１４）、第２のノズル通路（１５）、吸引部（１６）、前駆物質供給（１７）、ヒンジ（１９）、若しくは、差し込み接続部（２０）を備えた握り部を含んでいる請求項１に記載の装置。
3. 前記ガスノズル（１）として、前記表面（３）の幅程度の長さを有するワイドジェットノズルを用いてあり、該ワイドジェットノズルは０．２〜０．３ｍｍの狭い１つのスリットを有している請求項１又は２に記載の装置。
4. 電圧源（７）として手持ち器具を用いてある請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
5. 前記接地された導電性の接触電極（２）は、
   ａ）滑り接触部又は円筒又はローラ又はブラシ又は刷毛として形成されていて、かつ／又は
   ｂ）金属、又は導電性の別の材料、若しくは導電性のエラストマーから成っている、請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
6. ａ） 処理すべき前記表面（３）は、誘電体で覆われた高電圧電極（５）として用いられ、若しくは、
   ｂ） 前記誘電体で覆われた高電圧電極（５）は、扁平な型として若しくは回転可能な円筒又はドラムとして形成されており、若しくは、
   ｃ） 前記表面（３）は導電性の型によって取り囲まれており、該型は前記誘電体で覆われた高電圧電極（５）を成している請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
7. 前記装置はコンパクトな手持ち器具として形成されており、絶縁体で覆われた１つ若しくは複数の高電圧電極を、金網又は穴あき薄板から成る接地された接触電極と一緒に前記手持ち器具内に組み込んで、前記ガスノズルからのガス出口の平面内に配置してあり、該領域で前記高電圧電極の誘電体の表面に強められた表面放電を形成するようになっている請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
8. 限定された表面面積を有する平らな材料の処理のためのテーブル型装置において、該テーブル型装置は、請求項１から７のいずれか１項に記載の装置を含んでおり、特に前記表面の走査は、光学式のスキャナーの場合と同様に、モータ駆動部を介して行われるようになっていることを特徴とするテーブル型装置。
9. 表面を、請求項１から８のいずれか１項に記載の装置により、乾式の洗浄、活性化、被覆及び生物汚染除去するための方法であって、次の工程を有しており、つまり、
   ａ） 処理すべき材料（３）を、誘電体又は強誘電体（４）で覆われた高電圧電極（５）と、接地された接触電極（２）との間に配置し若しくは該接触電極の接触部位に配置し、
   ｂ） ガスノズル（１）からプロセスガス流を、前記接地された接触電極（２）の接触部位に向け、
   ｃ） 前記プロセスガス流を前記接触部位に向けると同時に又はその直後に電圧を高電圧電極（５）に印加し、
   ｄ） 前記ガスノズル（１）を備える前記接触電極（２）と前記処理すべき材料（３）とを互いに相対的に運動させ、前記処理すべき材料（３）の、前記ガスノズル（１）を備える前記接地された接触電極（２）が配置されている表面上で、前記プロセスガス流内に表面障壁放電を生ぜしめることを特徴とする、表面処理のための方法。
10. プロセスガスとして希ガス、有利にはアルゴンを単体で又は別のガスとの混合気として用いる請求項９に記載の方法。
11. １１．１） 前記処理すべき材料（３）は、誘電体又は強誘電体で覆われた平らな高電圧電極（５）の絶縁体層上に載せられ、かつ、ワイドジェットノズル（１）と連結されかつ接地された導電性の前記接触電極（２）は、前記処理すべきプラスチック表面上を滑り案内され、且つ／又は、
    １１．２） 限定された表面面積（例えば、ドイツ工業規格のDIN A6 〜 DIN A0）を有する平らな材料の処理のために、前記表面の走査を、光学式のスキャナーの場合と同様に、モータ駆動部によって行い、且つ又は、
    １１．３） 長尺の帯状材料又はプレートの有利な処理のために、平らな高電圧電極の代わりに、回転可能なローラ又はドラムとして形成されかつ誘電体又は強誘電体で覆われた高電圧電極を用いて、かつ適切な送り装置により、前記処理すべき材料は、前記回転可能な高電圧電極と、前記材料の表面に沿って摺動する接地された接触電極として形成されているワイドジェット形ガスノズル、若しくは接地された接触電極として形成されていて前記材料の表面に沿って転動するワイドジェット形ガスノズルとの間を通して運動させられるようになっている請求項９又は１０に記載の方法。
12. ａ） プラスチックから成る中空体を処理するために、該中空体に導電性の物質、又は鋼綿、若しくは導電性及び塑性の材料又は導電性の液体を充填し、該導電性の物質、又は鋼綿、若しくは導電性及び塑性の材料又は導電性の液体は、高電圧に接続されて、前記プラスチック製の中空体と一緒に、誘電体で覆われた高電圧電極として作動し、若しくは、
    ｂ） 瓶の内側の表面を乾式洗浄若しくは生物汚染除去するために、該瓶は、高電圧電位にある導電性の１つの型の２つの型半部によって密接に取り囲まれ、前記型は、前記瓶の瓶壁と一緒に、誘電体で覆われた高電圧電極として作動し、前記瓶の内部に、導電性の材料から成りかつ前記瓶の前記内側の表面と密接する剛毛を備えた瓶ブラシを配置し、該瓶ブラシは、ガスノズルに連結されていて、接地された接触電極として作動する請求項１１に記載の方法。
13. 絶縁被覆された線材を濡れ性の改善の目的で表面処理するために、前記処理すべき線材は、誘電体で覆われた高電圧電極として用いられ、かつ、前記処理すべき線材に密接する２つの細い線材から成っていて接地された導電性の接触電極と一緒に、絶縁材料から成る１つの管内に配置されている請求項１１に記載の方法。
14. 内側の表面又は外側の表面の被覆のために、プロセスガスに、直接に又は別のノズルを介してSiO _x 層の形成のための前駆物質、有利には珪素有機化合物若しくはHMDSO 又はTEOSから成る前駆物質を混合する請求項９から１３のいずれか１項に記載の方法。
15. 高電圧として連続的な交流電圧、又はパルス化された交流電圧、又はパルス化された直流電圧、又は個別の高電圧パルスを用い、有利には正弦波、方形波又は三角波の交流電圧を用いる請求項９又は１４に記載の方法。
16. 請求項１から８のいずれか１項に記載の装置の使用法、若しくは請求項９から１５のいずれか１項に記載の方法を用いる方法において、次の処置のために用い、つまり、
    ａ） 手術室内の表面を処理するため、又は
    ｂ） 食品加工領域内の表面を処理するため、又は
    ｃ） 金属表面を処理するため、又は、
    ｄ） プラスチック表面を処理するため、又は
    ｅ） 階段の手摺りを洗浄及び消毒するため、又は
    ｆ） 表面における分離剤又は剥離剤の残滓の除去のため、又は
    ｇ） 被覆絶縁された線材の表面の処理のため、又は
    ｈ） 医療用の機器又は器具内に用いられるチューブ又はホースの乾式洗浄、消毒、及び生物汚染除去のため、又は
    ｉ） 管又はチューブの内側の表面の処理又は被覆のため、又は
    ｊ） プラスチックから成るシート又はプレートを、殊に該シート又はプレートの材料上への接着膜又は印刷インキの付着の改善のためにプラズマ処理するために、前記装置若しくは前記方法を用いることを特徴とする、装置の使用法、若しくは方法を用いる方法。